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초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치, 그 물성 변화 방법 및 그 방법에 의해 물성이 변화된 무기물 나노 구조체

  • 기술번호 : KST2015132950
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 의하면, 초점 전자빔을 이용하여 나노 구조체의 특정 부위에 전자빔을 조사하여 무기물 나노 구조체의 상태를 유지하면서 특정 부분에서의 나노 규모의 광학적 물성을 정량적으로, 그리고 정성적으로 개질할 수 있으며, 나노 구조체에 교번적으로 초점 전자빔을 조사하여 광발광 특성에 기반한 나노 바코드를 제조할 수 있다. 이를 위해 특히, 본 발명의 일 실시예는 무기물 나노 구조체; 무기물 나노 구조체에 초점이 맺히도록 나노 규모 전자빔을 조사하는 초점 전자빔 조사부; 및 무기물 나노 구조체의 나노 규모의 광학적 물성을 부분적으로 변화시키기 위해 나노 규모 전자빔의 조사 위치를 제어하는 초점 전자빔 제어부;를 포함하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치를 포함한다.
Int. CL B82B 3/00 (2006.01) B01J 19/12 (2006.01)
CPC B82B 3/0066(2013.01) B82B 3/0066(2013.01) B82B 3/0066(2013.01) B82B 3/0066(2013.01)
출원번호/일자 1020110037757 (2011.04.22)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1310802-0000 (2013.09.13)
공개번호/일자 10-2012-0119655 (2012.10.31) 문서열기
공고번호/일자 (20130925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.22)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주진수 대한민국 서울특별시 중랑구
2 홍영기 대한민국 서울특별시 성북구
3 박동혁 대한민국 서울특별시 성북구
4 조성기 대한민국 인천광역시 남동구
5 이석호 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0301340-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.04.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.05.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0039990-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0106677-29
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0326568-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0326552-89
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0591083-62
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
무기물 나노 구조체;상기 무기물 나노 구조체에 초점이 맺히도록 나노 규모 전자빔을 조사하는 초점 전자빔 조사부; 및상기 무기물 나노 구조체의 나노 규모의 광학적 물성을 부분적으로 변화시키기 위해 상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치를 제어하는 초점 전자빔 제어부;를 포함하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 나노선 또는 나노 박막인 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 티타늄 디옥사이드(TiO2) 또는 징크 옥사이드(ZnO) 또는 실리콘 디옥사이드(SiO2)로 형성된 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 초점 전자빔 조사부는 주사전자 현미경, 투과전자 현미경 및 전자빔 리소그래피 장치 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
5 5
제 1항에 있어서,상기 전자빔의 직경은 0 을 초과하고 1000 nm 이하로 초점화된 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
6 6
삭제
7 7
제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 나노선이고,상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노선을 따라 교대로 상기 전자빔이 조사되는 부분과 조사되지 않는 부분이 형성되도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
8 8
제 1항에 있어서,상기 무기물 나노 구조체는 나노 박막이고,상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노 박막에 상기 전자빔이 조사되어 2차원 패턴을 형성하도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 장치
9 9
기판상에 무기물 나노 구조체가 제공되는 단계(S10);초점 전자빔 조사부가 상기 무기물 나노 구조체에 초점이 맺히도록 나노 규모 전자빔을 조사하는 단계(S20); 및초점 전자빔 제어부가 상기 무기물 나노 구조체의 부분적인 나노 규모의 광학적 물성 변화에 대응하는 1 차원 또는 2 차원의 패턴을 형성하기 위해 상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치를 제어하는 단계(S30);를 포함하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법
10 10
삭제
11 11
제 9항에 있어서,상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치 제어단계(S30)에서,상기 무기물 나노 구조체는 나노선이고, 상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노선을 따라 교대로 상기 전자빔이 조사되는 부분과 조사되지 않는 부분으로 형성된 상기 1 차원 패턴을 형성하도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법
12 12
제 9항에 있어서,상기 나노 규모 전자빔의 조사 위치 제어단계(S30)에서,상기 무기물 나노 구조체는 나노 박막이고, 상기 초점 전자빔 제어부는 상기 나노 박막에 상기 전자빔이 조사되어 상기 2차원 패턴을 형성하도록 상기 조사 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 초점 전자빔을 이용한 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법
13 13
제 9항의 무기물 나노 구조체의 물성 변화 방법에 의해 나노 규모의 광학적 물성이 변화된 무기물 나노 구조체
지정국 정보가 없습니다
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1 KR101122675 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101268443 KR 대한민국 FAMILY
3 US08541480 US 미국 FAMILY
4 US20110282021 US 미국 FAMILY

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