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제 1 시트의 일영역에 제 1 캐비티를 형성하며, 상기 제 1 캐비티의 양측에 상호 이격된 한 쌍의 인덕턴스 보상용 금속 단자를 각기 인쇄하고, 제 1 시트의 하면에 접지면을 형성하여 제 1 시트 구조체를 형성하는 단계; 상기 제 1 캐비티 형상과 동일한 형상의 제 2 캐비티를 별도의 제 2 시트 일영역에 형성하고, 상기 제 2 캐비티 양측에 급전선을 인쇄하여 제 2 시트 구조체를 형성하는 단계; 상기 제 2 캐비티 영역을 포함하는 크기로 제 3 캐비티를 별도의 제 3 시트 일영역에 형성하고, 이와 동시에 또는 각기 제 3 캐비티의 양측에 각기 제 4 캐비티를 형성하여 제 3 시트 구조체를 형성하는 단계; 상기 각 단계를 통해 형성한 제 1, 2, 3 시트 구조체를 순차적으로 적층하여 합체시키는 단계; 상기 단계에 따라 합체된 제 1 시트의 접지면을 둘레가 도금된 금속체와 접합시키는 단계로 이루어지는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치 제조 방법
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둘레가 도금된 금속체; 그 하면과 일영역에 접지면과 제 1 캐비티가 각기 형성되고, 상기 접지면이 상기 금속체 상면과 접합된 제 1 시트 구조체; 상기 제 1 캐비티의 영역에 대응되는 위치에 제 2 캐비티가 형성되고, 상기 제 2 캐비티 양측에 급전선이 형성되어 상기 제 1 시트 구조체 상부에 적층된 제 2 시트 구조체; 상기 제 2 캐비티를 포함하는 영역과 상기 급전선의 영역에 대응되는 위치의 일부에 각기 제 3 캐비티와 제 4 캐비티가 형성된 제 3 시트 구조체로 이루어지되, 상기 제 1 시트 구조체의 제 1 캐비티 양측에는 상호 이격된 한 쌍의 인덕턴스 보상용 금속 단자가 각기 형성되고, 상기 제 2 시트 구조체의 급전선은, 상기 제 2 시트 구조체의 상면 중에서, 상기 인덕턴스 보상용 금속 단자가 형성된 영역에 대응되는 상면 일부에 연속적으로 길게 형성되는 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 인덕턴스 보상용 금속 단자는; 그 길이가 50㎛ ~ 500㎛이고, 그 선폭이 급전선 선폭보다 2배 ~ 6배정도 넓은 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 인덕턴스 보상용 금속 단자는; 금, 은, 구리 중에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제 1, 2, 3 시트 구조체는; 세라믹 그린 시트가 사용된 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 금속체는; 그 둘레가 Ni 또는 Au 중에서 선택된 어느 하나 또는 두 종이 혼합된 것으로 도금된 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 금속체는; 그 둘레가 Ni 또는 Au 중에서 선택된 어느 하나 또는 두 종이 혼합된 것으로 도금된 것을 특징으로 하는, 고주파 통신 모듈의 패키징 장치
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