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기판에 박막을 제조하는 방법으로, 세라믹 분말과 상기 세라믹 분말보다 녹는점이 낮은 필러 분말을 혼합하여 원료 분말을 생성하는 단계, 상기 세라믹 분말과 필러 분말을 에어로졸화한 후 기판에 분사시켜서 박막을 형성하는 단계, 그리고 상기 박막이 형성된 기판을 상기 세라믹 분말의 녹는점보다 낮고 상기 유리 분말의 녹는점보다 높은 온도로 가열시킨 후 냉각시키는 단계를 포함하는 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 필러 분말은 유리 분말 또는 에폭시나 폴리이미드 계열의 고분자 재료를 포함하는 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 냉각시키는 단계 이후에 상기 필러 분말을 상기 박막 위에 도포하는 단계, 그리고 상기 기판을 상기 온도로 가열시킨 후 냉각시키는 단계를 더 포함하는 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 생성하는 단계는, 상기 필러 분말을 1~5wt%의 비율로 상기 세라믹 분말과 혼합하는 단계를 포함하는 박막 제조 방법
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제1항에서, 상기 기판은 방열판을 포함하는 박막 제조 방법
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방열판, 그리고 상기 방열판 위에 형성되며, 세라믹 분말과 상기 세라믹 분말보다 녹는점이 낮은 필러 분말이 혼합된 에어로졸용 원료 분말을 에어로졸 증착법으로 상기 방열판에 증착시킨 후 상기 필러 분말의 녹는점의 온도로 가열시켜 형성되는 박막을 포함하는 방열 기판
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제6항에서, 상기 필러 분말은 유리 분말 또는 에폭시나 폴리이미드 계열의 고분자 재료를 포함하는 방열 기판
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제6항에서, 상기 온도는 상기 방열판의 녹는점보다 낮은 온도를 포함하는 방열 기판
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