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반도체 패키지 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2023008441
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 개시의 일 구현예에 따르면, 베이스, 상기 베이스 상에 형성되고 내부에 수용부가 형성되는 바디, 상기 수용부 내의 베이스 상에 배치되는 반도체 칩, 상기 반도체 칩의 측면으로부터 열을 전달받아 상기 베이스로 전달하는 방열구조, 상기 바디에 결합되고 상기 반도체칩과 전기적으로 연결되어 외부로 신호를 전달하는 리드, 및 상기 바디와 결합되어 상기 수용부를 덮는 캡을 포함하는, 반도체 패키지 및 그 제조방법을 제공하여, 방열구조를 통해 반도체 칩에서 발생하는 열을 더 잘 방출할 수 있다.
Int. CL H01L 23/433 (2006.01.01) H01L 23/367 (2006.01.01) H01L 23/498 (2006.01.01) H01L 23/047 (2006.01.01) H01L 21/48 (2006.01.01)
CPC H01L 23/433(2013.01) H01L 23/367(2013.01) H01L 23/498(2013.01) H01L 23/047(2013.01) H01L 21/4882(2013.01) H01L 21/4803(2013.01)
출원번호/일자 1020220038396 (2022.03.28)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0139712 (2023.10.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.03.28)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동수 경기도 성남시 분당구
2 육종민 경기도 성남시 분당구
3 류제인 서울특별시 서초구
4 윤홍선 경기도 성남시 중원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 청운특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층 (서초동, 장생빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2022.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2022-0334702-85
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2022.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2022-0631734-79
3 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2023.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2023-5062703-94
4 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2023.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2023-5067768-12
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2023.03.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
베이스; 상기 베이스 상에 형성되고 내부에 수용부가 형성되는 바디;상기 수용부 내의 베이스 상에 배치되는 반도체 칩;상기 반도체 칩의 측면으로부터 열을 전달받아 상기 베이스로 전달하는 방열구조;상기 바디에 결합되고 상기 반도체칩과 전기적으로 연결되어 외부로 신호를 전달하는 리드; 및 상기 바디와 결합되어 상기 수용부를 덮는 캡을 포함하는, 반도체 패키지
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 방열구조는 상기 반도체 칩의 일 측면과 이격되는 방열부; 및 상기 방열부와 상기 반도체 칩의 측면 사이에 형성되어, 상기 방열부와 상기 반도체 칩을 고정하는 고정부를 포함하는, 반도체 패키지
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 반도체 칩과 이격되고 상기 수용부 내에 배치되는 하나 이상의 수동소자를 더 포함하고,상기 방열구조는 상기 반도체 칩의 일 측면과 인접하여 형성되되, 상기 수동소자로부터 이격되어 배치되는, 반도체 패키지
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 반도체 칩과 상기 방열구조는 일체로 형성되어, 상기 베이스 상에 배치되는, 반도체 패키지
5 5
베이스; 상기 베이스 상에 형성되고 내부에 수용부가 형성되며, 광이 통과하는 오픈부가 형성되는 바디;상기 수용부 내의 베이스 상에 배치되고 광방출면으로 광을 방출하는 광학소자인 반도체 칩;상기 반도체 칩의 측면으로부터 열을 전달받아 상기 베이스로 전달하며, 상기 반도체 칩에서 광이 방출하는 방향을 노출하도록 형성되는 방열구조;상기 바디에 결합되고 상기 반도체칩과 전기적으로 연결되어 외부로 신호를 전달하는 리드; 및 상기 바디와 결합되어 상기 수용부를 덮는 캡을 포함하는, 반도체 패키지
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 방열구조는 상기 반도체 칩의 측면과 이격되는 방열부; 및 상기 방열부와 상기 반도체 칩의 측면 사이에 형성되어, 상기 방열부와 상기 반도체 칩을 고정하는 고정부를 포함하는, 반도체 패키지
7 7
청구항 5에 있어서, 상기 반도체 칩의 동작을 보조하고 상기 수용부 내에 배치되는 하나 이상의 보조 회로부를 더 포함하는, 반도체 패키지
8 8
청구항 5에 있어서, 상기 반도체 칩과 상기 방열구조는 일체로 형성되어, 상기 베이스 상에 배치되는, 반도체 패키지
9 9
베이스 상에 수용부가 형성된 바디를 결합하는 제1 단계;상기 수용부 내의 베이스 상에 반도체 칩과 일체로 형성된 방열구조를 배치하는 제2 단계;상기 바디에 리드를 결합하는 제3 단계; 및 상기 수용부를 커버하는 캡을 상기 바디에 결합하는 제4 단계를 포함하는, 반도체 패키지 제조방법
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 제2 단계 이전에, 방열구조를 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 방열구조를 형성하는 단계는 금속 재질의 시트를 준비하는 단계;상기 시트에 반도체 칩이 배치될 캐비티를 형성하는 단계;상기 캐비티에 반도체 칩을 배치하는 단계;상기 반도체칩의 상면을 커버하도록 절연층을 형성하는 단계;상기 반도체칩과 상기 시트를 커버하는 고정부를 형성하는 단계;상기 고정부의 상면 일부를 제거하여 상기 절연층을 노출시키는 단계;상기 절연층을 제거하여 상기 반도체 칩의 상면을 노출시키는 단계; 및 상기 시트를 절단하여 반도체 칩의 일 측면에 배치되는 방열부를 형성하고, 상기 반도체 칩과 일체로 형성되는 방열구조를 각각 분리하는 단계를 포함하는, 반도체 패키지 제조방법
11 11
청구항 9에 있어서, 상기 제2 단계 이전에, 방열구조를 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 반도체 칩은일 측면으로 광을 방출하는 광학소자이고, 상기 방열구조를 형성하는 단계는 금속 재질의 시트를 준비하는 단계;상기 시트에 반도체 칩이 배치될 캐비티를 형성하는 단계;상기 반도체 칩의 광방출면 방향으로 상기 캐비티에 절연 시트를 배치하는 단계;상기 캐비티에 상기 광방출면이 절연 시트와 마주보도록 반도체 칩을 배치하는 단계;상기 반도체칩의 상면과 상기 절연 시트의 상면을 커버하도록 절연층을 형성하는 단계;상기 반도체칩과 상기 시트를 커버하는 고정부를 형성하는 단계;상기 고정부의 상면 일부를 제거하여 상기 절연층을 노출시키는 단계;상기 절연층 및 절연 시트를 제거하여 상기 반도체 칩의 상면과 광방출면을 노출시키는 단계; 및 상기 시트를 절단하여 반도체 칩의 일 측면에 배치되는 방열부를 형성하고, 상기 반도체 칩과 일체로 형성되는 방열구조를 각각 분리하는 단계를 포함하는, 반도체 패키지 제조방법
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1 중소벤처기업부 알에프머트리얼즈(주) 수요기반 기술이전 광대역 고주파 특성을 가지는 광통신 모듈용 고방열/고신뢰성 패키지 기술 개발