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실리콘 기판상에 소스, 드레인 및 게이트를 형성하여 MOSFET 구조를 형성하는 단계 및상기 게이트의 절연막상에 게이트 전극으로 자유자성층/비자성층/고정자성층 순으로 또는 그 역순으로 적층하여 스핀발진기를 형성하는 단계를 포함하여,발진 기능의 스핀발진기와 증폭 기능의 트랜지스터를 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 스핀발진기에 전압원을 인가하는 경우에, 상기 게이트 절연막상의 자유자성층 또는 고정자성층과 접지 사이에 바이패스 저항을 형성하여 스핀 전류를 바이패스하여 게이트 전압이 생성되도록 하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기 제조방법
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제1항에 있어서,상기 스핀발진기에 전류원을 인가하는 경우에, 상기 게이트 절연막상의 자유자성층 또는 고정자성층에 인가할 수 있도록 전극패드를 형성하고, 스핀발진기의 타단은 접지와 연결하여 스핀발진기 자체저항에 의하여 게이트 전압이 생성되도록 하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기 제조방법
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실리콘 기판상에 에미터, 베이스 및 콜렉터를 형성하여 BJT 구조를 형성하는 단계 및상기 베이스상에 베이스 전극으로 자유자성층/비자성층/고정자성층 순으로 또는 그 역순으로 적층하여 스핀발진기를 형성하는 단계를 포함하여,발진 기능의 스핀발진기와 증폭 기능의 트랜지스터를 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기 제조방법
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실리콘 기판상에 자성반도체를 증착하여 에미터, 베이스 및 콜렉터를 형성하여 BJT 구조를 형성하는 단계 및상기 베이스상에 베이스 전극으로 비자성층/고정자성층 순으로 또는 그 역순으로 적층하여 스핀발진기를 형성하는 단계를 포함하여,발진 기능의 스핀발진기와 증폭 기능의 트랜지스터를 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 스핀발진기는 기둥(pillar) 또는 점접촉(point contact) 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기 제조방법
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스핀발진기와 트랜지스터를 결합하여 일체로 직접화한 것으로서,상기 트랜지스터의 게이트 또는 베이스의 전극과 스핀발진기의 출력 전극을 하나의 전극으로 일체화하여 집적되는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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8
제7항에 있어서,상기 스핀발진기는 발진 기능을 하고,상기 트랜지스터는 상기 스핀발진기의 발진 신호를 증폭하는 기능을 하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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9
제7항에 있어서,상기 스핀발진기는 자유자성층(free layer)/비자성층(spacer)/고정자성층(pinned layer)의 순서 또는 그 역순으로 적층되어 형성된 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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10
제7항에 있어서,상기 스핀발진기는 TMR(tunneling magnetoresistance)구조인 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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11
제7항에 있어서,상기 스핀발진기는 GMR(giant magnetoresistance)구조인 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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12
제7항에 있어서,상기 스핀발진기는 자구벽(magnetic domain wall)형인 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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13
제7항에 있어서,상기 스핀발진기는 자기소용돌이(magnetic vortex)형인 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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14
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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15
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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제7항에 있어서,상기 스핀발진기에 전압원을 인가하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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제16항에 있어서,상기 트랜지스터가 MOSFET일 경우 바이패스 저항을 사용하여 스핀전류를 바이패스시켜 게이트 전압을 생성하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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제7항에 있어서,상기 스핀발진기에 전류원을 인가하는 것을 특징으로 하는 고출력 스핀발진기
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