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펩타이드 기반의 물질을 포함하는 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조 방법(FIELD EFFECT TRANSISTOR INCLUDING PEPRIDE BASED MATERIAL AND A METHOD OF MANUFACTURING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2018005502
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조 방법을 개시한다. 실시예에 따른 전계 효과 트랜지스터는 기판, 기판 상에 형성되고 게이트 전극, 게이트 전극 상에 형성되는 유전체층, 유전체층 상에 형성되는 소스 또는 드레인 전극 및 소스 전극과 드레인 전극 사이에 형성되고 반도체층을 포함하고, 상기 상기 게이트 전극, 상기 유전체층, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 상기 게이트 전극 및 상기 반도체층 중 적어도 하나는 펩타이드 기반의 물질로 구성되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 51/05 (2006.01.01) H01L 29/772 (2006.01.01) H01L 29/417 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC H01L 51/0541(2013.01) H01L 51/0541(2013.01) H01L 51/0541(2013.01) H01L 51/0541(2013.01) H01L 51/0541(2013.01) H01L 51/0541(2013.01)
출원번호/일자 1020160145324 (2016.11.02)
출원인 연세대학교 산학협력단, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0048132 (2018.05.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.02)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권장연 대한민국 서울특별시 강남구
2 남기태 대한민국 서울특별시 강남구
3 이윤식 대한민국 경기도 안양시 동안구
4 남궁석 대한민국 대전광역시 유성구
5 성태훈 대한민국 인천광역시 연수구
6 이재훈 대한민국 경기도 용인시 수지구
7 김영오 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-1072688-81
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0092832-10
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0020641-54
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.04.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0326646-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0326622-60
7 등록결정서
Decision to grant
2018.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0436965-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 상에 형성되는 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 형성되는 유전체층;상기 유전체층 상에 형성되는 소스 전극; 상기 유전체층 상에 형성되는 드레인 전극; 및상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에 형성되는 반도체층을 포함하고,상기 게이트 전극, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 열처리 공정을 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하며,상기 반도체층은 상기 열처리 공정, π-π 접합(conjugation) 공정 및 금속 촉매를 이용하는 크로스-링킹(Cross-linking) 공정 중 적어도 어느 하나를 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하고,상기 유전체층은 펩타이드 기반의 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서,상기 게이트 전극은펩타이드 결합이 하나 이상 있는 티로신(tyrosine) 기반의 펩타이드에 상기 열처리 공정을 수행하여 획득되는 막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
3 3
제1항에 있어서,상기 소스 전극 또는 상기 드레인 전극 중 적어도 어느 하나는펩타이드 결합이 하나 이상 있는 티로신(tyrosine) 기반의 펩타이드에 상기열처리 공정을 수행하여 획득되는 막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
4 4
제1항에 있어서,상기 반도체층은펩타이드 결합이 하나 이상 있는 티로신(tyrosine) 기반의 펩타이드에 상기열처리 공정을 수행하여 획득되는 막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 유전체층은펩타이드 결합이 하나 이상 있는 티로신(tyrosine) 기반의 펩타이드의 막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
7 7
삭제
8 8
제2항에 있어서,상기 게이트 전극은102[S/cm] 이상의 전기전도도를 가지는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
9 9
제3항에 있어서,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 102[S/cm] 이상의 전기전도도를 가지는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
10 10
제4항에 있어서,상기 반도체층은 10-4[S/cm] 내지 102[S/cm]의 전기전도도를 가지는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
11 11
삭제
12 12
제1항에 있어서,상기 금속 촉매는망간(Mn), 철(Fe), 구리(Cu), 크롬(Cr), 바나듐(V), 코발트(Co), 세륨(Ce), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 아연(Zn), 루테늄(Ru) 및 지르코늄(Zr) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
13 13
기판;상기 기판 상에 형성되는 소스 전극;상기 기판 상에 형성되는 드레인 전극;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 상에 형성되는 반도체층;상기 반도체층 상에 형성되는 유전체층; 및상기 유전체층 상에 형성되는 게이트 전극을 포함하고,상기 게이트 전극, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 열처리 공정을 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하며,상기 반도체층은 상기 열처리 공정, π-π 접합(conjugation) 공정 및 금속 촉매를 이용하는 크로스-링킹(Cross-linking) 공정 중 적어도 어느 하나를 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하고,상기 유전체층은 펩타이드 기반의 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터
14 14
게이트 전극을 기판 상에 형성하는 단계;유전체층을 상기 게이트 전극 상에 형성하는 단계;소스 전극을 상기 유전체층 상에 형성하는 단계; 드레인 전극을 상기 유전체층 상에 형성하는 단계; 및반도체층을 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에 형성하는 단계을 포함하고,상기 게이트 전극, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 열처리 공정을 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하며,상기 반도체층은 상기 열처리 공정, π-π 접합(conjugation) 공정 및 금속 촉매를 이용하는 크로스-링킹(Cross-linking) 공정 중 적어도 어느 하나를 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하고,상기 유전체층은 펩타이드 기반의 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터의 제조 방법
15 15
소스 전극을 기판 상에 형성하는 단계;드레인 전극을 상기 기판 상에 형성하는 단계;반도체층을 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 상에 형성하는 단계;유전체 층을 상기 반도체층 상에 형성하는 단계; 및게이트 전극을 상기 유전체층 상에 형성하는 단계를 포함하고,상기 게이트 전극, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 열처리 공정을 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하며,상기 반도체층은 상기 열처리 공정, π-π 접합(conjugation) 공정 및 금속 촉매를 이용하는 크로스-링킹(Cross-linking) 공정 중 적어도 어느 하나를 통해 전기전도도가 증가된 펩타이드 기반의 막을 포함하고,상기 유전체층은 펩타이드 기반의 막을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.