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BaSnO3와 LaInO3 계면에서의 2차원 전자 가스

  • 기술번호 : KST2021001930
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자로서, 상기 전자 소자는, 비-SrTiO3 재질의 금속 산화물로 이루어진 기판; 상기 기판 상에 배치되고, BaSnO3 재질로 형성된 제1 버퍼 레이어; 상기 제1 버퍼 레이어의 적어도 일부분에 배치되고, (Ba1-x,Lax)SnO3 재질로 형성되는 BLSO 레이어 - 상기 x는 0 이상 1 이하의 값을 가짐 -; 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어의 적어도 일부분에 배치되어 상기 BLSO 레이어와의 사이에 계면(interface)을 이루고, LaInO3 재질로 형성된 LIO 레이어; 및 적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어와 상기 LIO 레이어 사이의 계면과 접촉하고, 적어도 2개 이상의 분리된 부분으로 형성되는, 제1 전극 레이어;를 포함하는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자가 제공된다.
Int. CL H01L 29/778 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC H01L 29/778(2013.01) H01L 29/66462(2013.01) H01L 21/02172(2013.01) H01L 21/28008(2013.01) H01L 2924/01012(2013.01) H01L 2924/01056(2013.01) H01L 2924/0105(2013.01) H01L 2924/01057(2013.01) H01L 2924/01049(2013.01)
출원번호/일자 1020190113028 (2019.09.11)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0031272 (2021.03.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차국린 서울특별시 관악구
2 김영모 서울특별시 관악구
3 김유정 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0937903-94
2 보정요구서
Request for Amendment
2019.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0152616-32
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0979285-48
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자로서, 상기 전자 소자는,비-SrTiO3 재질의 금속 산화물로 이루어진 기판;상기 기판 상에 배치되고, BaSnO3 재질로 형성된 제1 버퍼 레이어;상기 제1 버퍼 레이어의 적어도 일부분에 배치되고, (Ba1-x,Lax)SnO3 재질로 형성되는 BLSO 레이어 - 상기 x는 0 이상 1 이하의 값을 가짐 -;적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어의 적어도 일부분에 배치되어 상기 BLSO 레이어와의 사이에 계면(interface)을 이루고, LaInO3 재질로 형성된 LIO 레이어; 및적어도 일부분이 상기 BLSO 레이어와 상기 LIO 레이어 사이의 계면과 접촉하고, 적어도 2개 이상의 분리된 부분으로 형성되는, 제1 전극 레이어; 를 포함하는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 기판은 MgO 재질로 형성되는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 전자 소자는, 상기 LIO 레이어 위에 배치되고, 상기 제1 전극 레이어와 접촉하지 않는, 제2 전극 레이어;를 더 포함하고,상기 기판은 MgO 재질로 형성되는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
4 4
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 전자 소자는, 상기 기판과 상기 제1 버퍼 레이어 사이에 배치되고, BaHfO3 재질로 형성된 제2 버퍼 레이어;를 더 포함하는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
5 5
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 LIO 레이어는 적어도 16 옹스트롬(Angstrom) 이상의 두께를 가지는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
6 6
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 LIO 레이어는 15 내지 17 옹스트롬의 두께를 가지는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
7 7
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 전자 소자는, 상기 기판과 상기 제1 버퍼 레이어 사이에 배치되고, BaHfO3 재질로 형성된 제2 버퍼 레이어;를 더 포함하고,상기 LIO 레이어는 적어도 16 옹스트롬(Angstrom) 이상의 두께를 가지는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
8 8
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 전자 소자는, 상기 기판과 상기 제1 버퍼 레이어 사이에 배치되고, BaHfO3 재질로 형성된 제2 버퍼 레이어;를 더 포함하고,상기 LIO 레이어는 15 내지 17 옹스트롬의 두께를 가지는, BaSnO3와 LaInO3 계면을 이용한 전자 소자
9 9
제2항에 있어서,상기 제1 전극 레이어는 (Ba1-x,Lax)SnO3 재질로 형성되고, 상기 x는 0
10 10
제3항에 있어서,상기 제1 전극 레이어 및 상기 제2 전극 레이어 중의 적어도 하나 이상은 (Ba1-x,Lax)SnO3 재질로 형성되고, 상기 x는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.