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파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법

  • 기술번호 : KST2014012358
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 간섭계의 비선형 오차가 최소화되도록 파장판을 재정렬함으로써 비선형 오차를 보상하기 위한 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법에 관한 것이다. 이를 달성하기 위한 수단으로, 제 1 편광광선분할기를 포함하며 더블패스방식의 간섭부를 통해 입사된 빛을 간섭시켜 주고, 간섭된 빛을 제 2, 3 편광광선분할기 및 반파장판과 사분파장판이 조합된 신호검출부를 통해 간섭신호를 얻는 간섭계의 비선형 오차 보상방법에 있어서, 제 1, 2, 3 편광광선분할기의 광학적 특성을 측정하여 행렬형태로 얻는 제1단계; 반파장판 및 사분파장판의 회전행렬을 구하는 제 2 단계; 제 1, 2, 3 편광광선분할기의 행렬과, 반파장판 및 사분파장판의 회전행렬을 이용하여 비선형오차를 구하는 제 3 단계; 반파장판 및 사분파장판의 각 회전각에 대한 비선형오차로부터 반파장판 및 사분파장판의 최소 각도정렬값을 계산하는 제 4 단계; 및 최소 각도정렬값만큼 반파장판 및 사분파장판을 최소 각도정렬값으로 보상하여 회전시켜 주는 제 5 단계;를 포함하여 이루어진 것이 특징이다. 본 발명에 의하면 비선형 오차 보상을 통해 높은 분해능 및 정확도를 갖는 간섭계 구성이 가능하다. 호모다인 간섭계, 광학간섭계, 비선형 오차보상, 파장판 정렬
Int. CL G02B 27/10 (2006.01) G02B 27/52 (2006.01)
CPC G02B 27/283(2013.01) G02B 27/283(2013.01) G02B 27/283(2013.01) G02B 27/283(2013.01)
출원번호/일자 1020080027914 (2008.03.26)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0898327-0000 (2009.05.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090520) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.26)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안정호 대한민국 대전 유성구
2 김재완 대한민국 대전 유성구
3 김종안 대한민국 대전 유성구
4 김수현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0219275-97
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.02.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0008758-32
4 등록결정서
Decision to grant		 2009.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0182348-56
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 편광광선분할기(PBS1)를 포함하며 더블패스방식의 간섭부(100)를 통해 입사된 빛을 간섭시켜 주고, 상기 간섭된 빛을 제 2, 3 편광광선분할기(PBS2, PBS3) 및 반파장판(HWP)과 사분파장판(QWP)이 조합된 신호검출부(200)를 통해 간섭신호를 얻는 간섭계의 비선형 오차 보상방법에 있어서, 상기 제 1, 2, 3 편광광선분할기(PBS1)의 광학적 특성을 측정하여 행렬형태로 얻는 제 1 단계(S100); 상기 반파장판(HWP) 및 상기 사분파장판(QWP)의 회전행렬을 구하는 제 2 단계(S200); 상기 제 1, 2, 3 편광광선분할기(PBS1, PBS2, PBS3)의 행렬과, 상기 반파장판(HWP) 및 상기 사분파장판(QWP)의 회전행렬을 이용하여 비선형오차를 구하는 제 3 단계(S300); 상기 반파장판(HWP) 및 상기 사분파장판(QWP)의 각 회전각에 대한 비선형오차로부터 상기 반파장판(HWP) 및 상기 사분파장판(QWP)의 최소 각도정렬값을 계산하는 제 4 단계(S400); 및 상기 최소 각도정렬값만큼 상기 반파장판(HWP) 및 상기 사분파장판(QWP)을 상기 최소 각도정렬값으로 보상하여 회전시켜 주는 제 5 단계(S500);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 각 편광광선분할기(PBS1,PBS2,PBS3)의 광학적 특성은, 광원(30')으로부터 발생되어 회전하는 제 1 편광기(10)를 투과한 빛이 광선분할기(NPBS)로부터 반사된 빛을 측정하는 제 1 측정수단(M1)과; 상기 광선분할기(NPBS)로부터 투과된 빛을 측정대상인 상기 제 1, 2, 3 편광광선분할기(PBS1,PBS2,PBS3)로부터 반사된 빛을 측정하는 제 2 측정수단(M2)과; 상기 제 1, 2, 3 편광광선분할기(PBS1,PBS2,PBS3)로부터 투과된 빛을 회전하는 제 2 편광기(20)를 투과한 빛을 측정하는 제 3 측정수단(M3);으로부터 측정된 편광비율을 이용하여 얻은 투과 및 반사에 따른 존스행렬인 것을 특징으로 하는 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 존스행렬은, 반사(R) 및 투과(T)에 따라 다음의 [수학식 8] 에 따르는 행렬인 것을 특징으로 하는 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 사분파장판(QWP) 및 상기 반파장판(HWP)의 회전행렬은 각각 다음의 [수학식 9] 및 [수학식 10]을 따르는 존스행렬이고, 여기서, 는 각도 정렬오차인 것을 특징으로 하는 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 간섭계는 호모다인 간섭광학계, 상변위간섭광학계 또는 헤테로다인 간섭광학계인 것을 특징으로 하는 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 최소 각도정렬값은 에 따라 계산되고, 여기서, Enonlinear는 비선형오차를, ψQWP1은 기준팔(reference arm)의 사분파장판의 회전각도를, ψQWP2는 측정팔(measurement arm)의 사분파장파의 회전각도를, ψQWP3은 검출부의 사분파장판의 회전각도를, 그리고 ψHWP 는 검출부의 반파장판의 회전각도를 각각 나타내는 것을 특징으로 하는 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.