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탄소나노튜브를 이용하여 투명 전소성 필름을 제작하는 방법 및 그 방법을 이용하여 생성된 투명 전도성 필름

  • 기술번호 : KST2014056230
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법 및 그 방법을 이용하여 생성된 투명 전도성 필름이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법은, 기판의 표면에 대해 자외선과 오존을 이용한 전처리를 수행하는 단계; 상기 기판 위에 탄소나노튜브가 분산된 용액을 균일하게 도포하여 투명 전도성 필름을 제작하는 단계; 상기 제작된 투명 전도성 필름을 질산이 포함된 혼합 용액을 이용하여 후처리를 수행하는 단계를 포함한다.투명 전도성 필름, 탄소나노튜브
Int. CL H01B 1/04 (2006.01.01) H01B 1/24 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01) H01B 13/30 (2006.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01) C08J 5/18 (2006.01.01) C08J 5/00 (2006.01.01)
CPC H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01) H01B 1/04(2013.01)
출원번호/일자 1020090044083 (2009.05.20)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1197336-0000 (2012.10.29)
공개번호/일자 10-2010-0125068 (2010.11.30) 문서열기
공고번호/일자 (20121102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.20)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박규창 대한민국 서울 광진구
2 손병택 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세중 대한민국 서울시 강남구 테헤란로 ***, **** (역삼동. 성지하이츠 Ⅱ)(해오름국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 월드빔솔루션 서울특별시 동대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0302945-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.08.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0049260-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0174189-19
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0402244-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0500276-40
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0500277-96
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0056340-18
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0256620-86
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0345462-23
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0433157-00
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0433160-37
13 등록결정서
Decision to grant
2012.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0633229-71
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄소나노튜브를 정제하는 단계;상기 정제된 탄소나노튜브에 대해 분산 처리를 수행하는 단계;기판의 표면에 대해 자외선과 오존을 이용한 전처리를 수행하는 단계; 상기 기판 위에 탄소나노튜브가 분산된 용액을 균일하게 도포하여 투명 전도성 필름을 제작하는 단계; 및상기 제작된 투명 전도성 필름을 질산이 포함된 혼합 용액을 이용하여 후처리를 수행하는 단계를 포함하고,상기 탄소나노튜브를 정제하는 단계는, 상기 탄소나노튜브를 360℃에서 건식 산화(Dry Oxidation)하는 단계; 상기 건식 산화된 탄소나노튜브를 질산 용액에 섞은 뒤 수조 타입의 초음파 발생기에서 초음파 처리(Ultrasonication)를 수행하는 단계; 상기 초음파 처리가 수행된 탄소나노튜브가 포함된 용액으로부터 진공 필터링 방식에 의해 버키 페이퍼(Bucky Paper)를 이용하여 탄소나노튜브를 추출하는 단계를 포함하며,상기 분산 처리를 수행하는 단계는, 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출한 탄소나노튜브를 DCB(1,2-dichlorobenzene) 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행함으로써 분산 처리를 수행하거나, 상기 버키 페이퍼를 PVP와 DI(Deionized Water)의 혼합 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 1차 분산을 수행하는 단계; 상기 1차 분산이 수행된 혼합 용액으로부터 진공 필터링을 이용하여 상기 PVP를 제거함으로써 버키 페이퍼를 생성하는 단계; 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출된 탄소나노튜브를 에탄올에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 2차 분산을 수행하는 단계; 상기 2차 분산에 의해 생성된 용액을 일정 시간 방치하여 불순물들을 하부로 침전시킨 후에 상부에 남은 용액을 상기 투명 전도성 필름을 제작하는데 사용하는 단계를 포함하고,상기 전처리를 수행하는 단계는, 상기 기판으로부터 일정 거리에서 단일 파장의 자외선 광으로 일정 시간 동안 조사하는 단계; 및 상기 조사에 의해 발생한 오존을 제거하는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은, 유리 기판, 플라스틱 기판, 투명박막이 코팅된 유리기판, 및 투명박막이 코팅된 플라스틱 기판 중 하나를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 투명 전도성 필름을 제작하는 단계는, 상기 탄소나노튜브가 분산된 용액을 상기 기판 위에 떨어뜨리는 단계; 상기 분산된 용액이 상기 기판 위에서 균일하게 퍼지면 상기 기판의 회전 속도를 변경하면서 회전시키는 단계; 상기 분산된 용액에 의해 코팅된 기판을 30 내지 100 ℃의 온도에서 일정 시간 동안 건조시키는 단계; 상기 기판이 일정 수준의 투과도를 얻을 때까지 상기 회전시키는 단계 및 상기 건조시키는 단계를 반복 수행하는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
5 5
탄소나노튜브를 정제하는 단계;상기 정제된 탄소나노튜브에 대해 분산 처리를 수행하는 단계;기판의 표면에 대해 자외선과 오존을 이용한 전처리를 수행하는 단계; 상기 기판 위에 탄소나노튜브가 분산된 용액을 균일하게 도포하여 투명 전도성 필름을 제작하는 단계; 및상기 제작된 투명 전도성 필름을 질산이 포함된 혼합 용액을 이용하여 후처리를 수행하는 단계를 포함하고,상기 탄소나노튜브를 정제하는 단계는, 상기 탄소나노튜브를 360℃에서 건식 산화(Dry Oxidation)하는 단계; 상기 건식 산화된 탄소나노튜브를 질산 용액에 섞은 뒤 수조 타입의 초음파 발생기에서 초음파 처리(Ultrasonication)를 수행하는 단계; 상기 초음파 처리가 수행된 탄소나노튜브가 포함된 용액으로부터 진공 필터링 방식에 의해 버키 페이퍼(Bucky Paper)를 이용하여 탄소나노튜브를 추출하는 단계를 포함하며,상기 분산 처리를 수행하는 단계는, 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출한 탄소나노튜브를 DCB(1,2-dichlorobenzene) 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행함으로써 분산 처리를 수행하거나, 상기 버키 페이퍼를 PVP와 DI(Deionized Water)의 혼합 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 1차 분산을 수행하는 단계; 상기 1차 분산이 수행된 혼합 용액으로부터 진공 필터링을 이용하여 상기 PVP를 제거함으로써 버키 페이퍼를 생성하는 단계; 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출된 탄소나노튜브를 에탄올에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 2차 분산을 수행하는 단계; 상기 2차 분산에 의해 생성된 용액을 일정 시간 방치하여 불순물들을 하부로 침전시킨 후에 상부에 남은 용액을 상기 투명 전도성 필름을 제작하는데 사용하는 단계를 포함하고,상기 투명 전도성 필름을 제작하는 단계는, 상기 탄소나노튜브가 분산된 용액을 나노미터 단위의 두께를 조절할 수 있는 슬릿을 이용하여 코팅하는 단계; 상기 분산된 용액에 의해 코팅된 기판을 30 내지 100 ℃의 온도에서 일정 시간 동안 건조시키는 단계; 및 상기 기판이 일정 수준의 투과도를 얻을 때까지 상기 코팅하는 단계 및 상기 건조시키는 단계를 반복 수행하는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
6 6
탄소나노튜브를 정제하는 단계;상기 정제된 탄소나노튜브에 대해 분산 처리를 수행하는 단계;기판의 표면에 대해 자외선과 오존을 이용한 전처리를 수행하는 단계; 상기 기판 위에 탄소나노튜브가 분산된 용액을 균일하게 도포하여 투명 전도성 필름을 제작하는 단계; 및상기 제작된 투명 전도성 필름을 질산이 포함된 혼합 용액을 이용하여 후처리를 수행하는 단계를 포함하고, 상기 탄소나노튜브를 정제하는 단계는, 상기 탄소나노튜브를 360℃에서 건식 산화(Dry Oxidation)하는 단계; 상기 건식 산화된 탄소나노튜브를 질산 용액에 섞은 뒤 수조 타입의 초음파 발생기에서 초음파 처리(Ultrasonication)를 수행하는 단계; 상기 초음파 처리가 수행된 탄소나노튜브가 포함된 용액으로부터 진공 필터링 방식에 의해 버키 페이퍼(Bucky Paper)를 이용하여 탄소나노튜브를 추출하는 단계를 포함하며,상기 분산 처리를 수행하는 단계는, 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출한 탄소나노튜브를 DCB(1,2-dichlorobenzene) 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행함으로써 분산 처리를 수행하거나, 상기 버키 페이퍼를 PVP와 DI(Deionized Water)의 혼합 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 1차 분산을 수행하는 단계; 상기 1차 분산이 수행된 혼합 용액으로부터 진공 필터링을 이용하여 상기 PVP를 제거함으로써 버키 페이퍼를 생성하는 단계; 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출된 탄소나노튜브를 에탄올에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 2차 분산을 수행하는 단계; 상기 2차 분산에 의해 생성된 용액을 일정 시간 방치하여 불순물들을 하부로 침전시킨 후에 상부에 남은 용액을 상기 투명 전도성 필름을 제작하는데 사용하는 단계를 포함하고,상기 후처리를 수행하는 단계는,상기 제작된 투명 전도성 필름을 IPA(isopropyl alcohol)와 HNO3가 혼합된 용액에 담그는 단계; 및 상기 제작된 투명 전도성 필름을 상기 IPA를 이용하여 세척한 후에 상온에서 상기 IPA를 증발시키는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 담그는 단계는, 상기 IPA와 상기 HNO3가 3:1 내지 100:1의 체적비로 혼합된 용액에 20 분 내지 120 분 동안 담그는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
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삭제
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삭제
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삭제
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삭제
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탄소나노튜브를 정제하는 단계;상기 정제된 탄소나노튜브에 대해 분산 처리를 수행하는 단계;기판의 표면에 대해 자외선과 오존을 이용한 전처리를 수행하는 단계; 상기 기판 위에 탄소나노튜브가 분산된 용액을 균일하게 도포하여 투명 전도성 필름을 제작하는 단계;상기 제작된 투명 전도성 필름을 질산이 포함된 혼합 용액을 이용하여 후처리를 수행하는 단계; 및상기 후처리 공정이 수행된 투명 전도성 필름을 포토리소그라피 공정과 디벨로퍼(developer)를 이용한 공정에 의해 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 탄소나노튜브를 정제하는 단계는, 상기 탄소나노튜브를 360℃에서 건식 산화(Dry Oxidation)하는 단계; 상기 건식 산화된 탄소나노튜브를 질산 용액에 섞은 뒤 수조 타입의 초음파 발생기에서 초음파 처리(Ultrasonication)를 수행하는 단계; 상기 초음파 처리가 수행된 탄소나노튜브가 포함된 용액으로부터 진공 필터링 방식에 의해 버키 페이퍼(Bucky Paper)를 이용하여 탄소나노튜브를 추출하는 단계를 포함하며,상기 분산 처리를 수행하는 단계는, 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출한 탄소나노튜브를 DCB(1,2-dichlorobenzene) 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행함으로써 분산 처리를 수행하거나, 상기 버키 페이퍼를 PVP와 DI(Deionized Water)의 혼합 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 1차 분산을 수행하는 단계; 상기 1차 분산이 수행된 혼합 용액으로부터 진공 필터링을 이용하여 상기 PVP를 제거함으로써 버키 페이퍼를 생성하는 단계; 상기 버키 페이퍼를 이용하여 추출된 탄소나노튜브를 에탄올에 담근 후에 초음파 처리를 수행하는 2차 분산을 수행하는 단계; 상기 2차 분산에 의해 생성된 용액을 일정 시간 방치하여 불순물들을 하부로 침전시킨 후에 상부에 남은 용액을 상기 투명 전도성 필름을 제작하는데 사용하는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 포토리소그라피 공정은,상기 투명 전도성 필름의 전면에 포토 레지스트(PR)를 도포한 후, 마스크를 이용하여 패턴을 형성할 부분에만 UV를 조사하는 단계;상기 UV가 조사된 필름을 디벨로퍼(developer)에 현상시키고 레지스터를 고착화(hard baking)한 후, 산소 플라즈마를 이용하여 잔여 탄소나노튜브를 제거하는 단계;스트리퍼를 이용하여 상기 포토레지스트를 제거하여 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
14 14
제 12 항에 있어서, 상기 디벨로퍼를 이용한 공정은, 상기 투명 전도성 필름의 전면에 포토 레지스트(PR)를 도포한 후, 마스크를 이용하여 패턴을 형성할 부분에만 UV를 조사하는 단계;상기 UV가 조사된 필름을 디벨로퍼(developer)에 현상시킨 후, 세척(washing)에 의해 탄소나노튜브를 상기 기판에서 제거하는 단계;스트리퍼를 이용하여 상기 포토 레지스트를 제거하여 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법
15 15
제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 내지 제 7 항 및 제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 탄소나노튜브를 이용하여 투명 전도성 필름을 제작하는 방법을 이용하여 생성되는 투명 전도성 필름으로서, 자외선과 오존을 이용하여 전처리가 수행된 기판; 상기 기판 위에 코팅되어 있으며 정제 공정과 분산 공정을 거친 탄소나노튜브층을 포함하는, 투명 전도성 필름
16 16
제 15 항에 있어서, 상기 투명 전도성 필름은, IPA(isopropyl alcohol)와 HNO3가 3:1 내지 100:1의 체적비로 혼합된 용액에 20분 내지 120분 동안 담긴 후에 상기 IPA가 증발되는 후처리 공정을 수행하는, 투명 전도성 필름
17 17
제 15 항에 있어서, 상기 기판은, 유리 기판, 플라스틱 기판, 투명박막이 코팅된 유리기판, 및 투명박막이 코팅된 플라스틱 기판 중 하나를 포함하는, 투명 전도성 필름
18 18
제 15 항에 있어서, 상기 정제 공정은, 탄소나노튜브를 360℃에서 건식 산화(Dry Oxidation)한 후에 질산 용액에 섞어 초음파 처리(Ultrasonication)를 수행하고, 상기 초음파 처리가 수행된 탄소나노튜브가 포함된 용액으로부터 진공 필터링 방식에 의해 버키 페이퍼(Bucky Paper)를 이용하여 탄소나노튜브를 추출함으로써 수행되는, 투명 전도성 필름
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 분산 공정은, 상기 버키 페이퍼를 DCB(1,2-dichlorobenzene) 용액 또는 PVP와 DI(Deionized Water)의 혼합 용액에 담근 후에 초음파 처리를 수행함으로써 수행되는, 투명 전도성 필름
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.