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제1 전극과,
상기 제1 전극의 표면에 자기조립되어 있는 제1 말단과, 양이온성 또는 음이온성 기(group)를 가지는 제2 말단을 가지는 분자들로 이루어지는 유기 유전박막과,
상기 유기 유전박막 위에 양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 적층되어 있고 고리화합물을 포함하는 전기활성 작용기를 가지는 기능성 분자 활성층과,
상기 기능성 분자 활성층 위에 형성된 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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제1항에 있어서,
상기 유기 유전박막은 티올 유도체 또는 실란 유도체를 포함하는 화합물이 상기 티올 유도체 또는 실란 유도체를 정착기로 하여 상기 제1 전극의 표면에 자기조립 방식에 의해 선택적으로 결합되어 형성된 분자층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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3 |
3
제2항에 있어서,
상기 유기 유전박막은 단일 분자층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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4 |
4
제1항에 있어서,
상기 유기 유전박막은 다음의 화학식 1 및 화학식 2에서 선택되는 어느 하나의 구조를 가지는 분자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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5 |
5
제1항에 있어서,
상기 기능성 분자 활성층은 상호 반대의 전하를 가지는 제1 분자 활성층 및 제2 분자 활성층을 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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6 |
6
제1항에 있어서,
상기 기능성 분자 활성층은
상기 유기 유전박막의 제2 말단의 전하와 반대인 제1 전하를 가지고 상기 유기 유전박막의 제2 말단의 바로 위에 양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 적층되어 있는 제1 분자 활성층과,
상기 제1 분자 활성층의 제1 전하와 반대인 제2 전하를 가지고 상기 제1 분자 활성층 위에 양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 적층되어 있는 제2 분자 활성층을 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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7 |
7
제6항에 있어서,
상기 기능성 분자 활성층의 제2 말단은 양이온성 말단기를 가지고,
상기 제1 분자 활성층은 음이온성 분자로 이루어지고,
상기 제2 분자 활성층은 양이온성 분자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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8
제6항에 있어서,
상기 기능성 분자 활성층의 제2 말단은 음이온성 말단기를 가지고,
상기 제1 분자 활성층은 양이온성 분자로 이루어지고,
상기 제2 분자 활성층은 음이온성 분자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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9 |
9
제1항에 있어서,
상기 기능성 분자 활성층은 제1 전하를 가지는 복수의 제1 분자 활성층과, 상기 제1 전하와 반대인 제2 전하를 가지는 복수의 제2 분자 활성층이 1 층씩 교대로 적층된 다층막 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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10 |
10
제9항에 있어서,
상기 복수의 제1 분자 활성층은 각각 양이온성 분자로 이루어지고,
상기 복수의 제2 분자 활성층은 각각 음이온성 분자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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11 |
11
제9항에 있어서,
상기 복수의 제1 분자 활성층은 각각 음이온성 분자로 이루어지고,
상기 복수의 제2 분자 활성층은 각각 양이온성 분자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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12
제9항에 있어서,
상기 복수의 제1 분자 활성층 및 복수의 제2 분자 활성층은 각각 PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene) doped with poly(4-styrenesulonate)), 로즈벤갈, 금속-터피리딘 착화합물, 금속-바이피리딘 착화합물, 포피린 (porphyrin), 페로신 (ferrocene), 및 아미노 메탄노플러린 (amino methanofullerene)으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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13
제1항에 있어서,
상기 제1 전극 및 제2 전극은 각각 절연막 위에 형성되어 있고,
상기 절연막과 상기 제2 전극과의 사이에 형성된 소수성 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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14
제13항에 있어서,
상기 소수성 박막은 상기 절연막의 표면에 자기조립되어 있는 단일 분자층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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15
제14항에 있어서,
상기 소수성 박막은 알킬트리클로로실란 (alkyltrichlorosilane)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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16
제1항에 있어서,
상기 제1 전극은 1종의 금속으로 이루어지는 단일층, 또는 적어도 2종의 서로 다른 금속이 차례로 적층된 다중층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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17
제1항에 있어서,
상기 제2 전극의 금속 전극층은 1종의 금속으로 이루어지는 단일층, 또는 적어도 2종의 서로 다른 금속이 차례로 적층된 다중층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자
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18
기판상의 절연막의 상면 중 일부인 제1 영역에 제1 전극을 형성하는 단계와,
상기 절연막의 상면 중 상기 제1 전극으로 덮이지 않은 제2 영역에 소수성 박막을 형성하는 단계와,
정착기를 가지는 제1 말단과, 양이온성 또는 음이온성 기를 가지는 제2 말단을 가지는 분자들을 상기 제1 전극의 표면에 접촉시켜 상기 제1 전극의 표면에 유기 유전박막을 형성하는 단계와,
양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 적층되어 있고, 고리화합물을 포함하는 전기활성 작용기를 가지는 기능성 분자 활성층을 상기 유기 유전박막 위에 형성하는 단계와,
상기 기능성 분자 활성층 위에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
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19
제18항에 있어서,
상기 소수성 박막을 형성하는 단계에서, 상기 절연막의 상면 중 상기 제2 영역에 알킬트리클로로실란으로 이루어지는 분자층을 형성하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
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20
제18항에 있어서,
상기 유기 유전박막을 형성하는 단계에서, 상기 제1 말단에 있는 티올 또는 실란 유도체를 정착기로 하여 상기 분자들이 상기 제1 전극 위에 자기조립되는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
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21
제18항에 있어서,
상기 기능성 분자 활성층을 형성하는 단계는
상기 유기 유전박막의 표면의 전하와 반대인 제1 전하를 가지는 제1 분자 활성층을 양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 상기 유기 유전박막의 표면 위에 형성하는 제1 단계와,
상기 제1 전하와 반대인 제2 전하를 가지는 제2 분자 활성층을 양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 상기 제1 분자 활성층의 표면 위에 형성하는 제2 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
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제21항에 있어서,
상기 제2 단계 후, 상기 제1 전하를 가지는 제1 분자 활성층을 양이온과 음이온과의 선택적 자기조립 방식에 의해 상기 제2 분자 활성층의 표면 위에 형성하는 제3 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
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제22항에 있어서,
상기 제3 단계 후, 상기 제2 단계 및 제3 단계를 교대로 복수 회 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 전자 소자의 제조 방법
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