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다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치 및 조명 발생 방법

  • 기술번호 : KST2015113414
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 입사광을 발생 및 확대하는 광원부; 광원부에서 발생된 입사광을 복수의 다중광으로 분리하고, 복수의 다중광을 피드백 제어신호에 기초하여 능동적으로 제어하는 입사광 제어부; 및 입사광 제어부에서 입사되는 다중광의 간섭을 이용하여 소정의 형상과 크기의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 생성하는 멀티스팟 생성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치 및 조명 발생 방법을 구현한바, 다양한 크기와 모양의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 별도의 프리즘 또는 회절격자를 제조하지 않고 생성할 수 있는 효과가 있다. 이로 인해, 다양한 3차원 멀티스팟 조명을 편리하고 빠르게 제공할 수 있는 효과가 있다. 또한, 다양한 크기와 모양의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 조사하여 리소그래피 공정 시 마스크(Mask)를 대체할 수 있는 효과가 있다. 이러한 멀티스팟의 형상은 능동적으로 편리하게 조절이 가능하므로 다양한 마스크를 대신하여 사용할 수 있는 효과가 있다. 광원, 멀티스팟, 조명, 장치, 방법
Int. CL H05B 37/02 (2006.01)
CPC F21V 14/04(2013.01) F21V 14/04(2013.01) F21V 14/04(2013.01)
출원번호/일자 1020090017416 (2009.03.02)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1016207-0000 (2011.02.14)
공개번호/일자 10-2010-0098765 (2010.09.10) 문서열기
공고번호/일자 (20110225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.02)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박효준 대한민국 전라북도 남원시
2 유장우 대한민국 대전광역시 유성구
3 김수현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2009-0125898-28
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0308764-72
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0597472-09
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0597469-61
5 등록결정서
Decision to grant		 2010.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0591193-72
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
입사광(150)을 발생 및 확대하는 광원부(100); 상기 광원부(100)에서 발생된 상기 입사광(150)을 복수의 다중광으로 분리하고, 상기 복수의 다중광을 피드백 제어신호에 기초하여 분리된 상기 복수의 다중광의 반사각도를 제어하는 입사광 제어부(200); 및 상기 입사광 제어부(200)에서 입사되는 다중광의 간섭을 이용하여 소정의 형상과 크기의 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 생성하는 멀티스팟 생성부(300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광원부(100)는, 상기 입사광(150)을 발생하는 광원(110); 및 상기 광원(110)에서 발생된 상기 입사광(150)을 확대하는 입사광 확대부(120);를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 광원(110)은 가간섭성이 있는 레이저 발생장치, LED 또는 LD인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 입사광 제어부(200)는, 상기 광원부(100)에서 입사되는 상기 입사광(150)을 복수의 다중광으로 입사광 분리부(210); 및 상기 복수의 다중광을 반사하는 반사면(220);을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 입사광 분리부(210)는 각도 조절이 가능한 거울, 빔 스플리터 또는 빔 분할기인 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
6 6
제 4항에 있어서, 상기 반사면(220)은 각도 조절이 가능한 반사경 또는 프리즘인 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
7 7
제 1항에 있어서, 상기 멀티스팟 생성부(300)에서 생성된 조명의 수정 및 변경을 위해 상기 입사광 제어부(200)에 상기 피드백 제어신호(550)를 제공하기 위한 신호처리 제어부(500)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 멀티스팟 생성부(300)와 상기 신호처리 제어부(500) 사이에는 상기 멀티스팟 생성부(300)에서 발생하는 멀티스팟 신호(350)에 의해 상기 멀티스팟 생성부(300)에서 생성된 조명을 측정하는 측정부(400)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명장치
9 9
광원(110)에서 입사광(150)을 조사하는 제 1 단계(S100); 입사광 분리장치에서 상기 입사광(150)을 복수의 다중광으로 분할하는 제 2 단계(S200); 상기 분할된 복수의 다중광의 반사각도를 조절하여 멀티스팟 생성부(300)로 조사하는 제 3 단계(S300); 및 상기 멀티스팟 생성부(300)에서 입사된 다중광의 간섭을 이용하여 3차원 멀티스팟 형태의 조명을 생성하는 제 4 단계(S400);를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명 발생 방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 제 2 단계(S200)는 입사광(150)에서 굴절되지 않는 기준광(250) 및 소정의 각도로 굴절되는 복수의 제어광(255)으로 분할되는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명 발생 방법
11 11
제 9항에 있어서, 상기 제 4 단계(S400) 후에 상기 멀티스팟 생성부(300)에서 생성된 조명을 멀티스팟 신호(350)에 의해 측정하는 제 5 단계(S500)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명 발생 방법
12 12
제 11항에 있어서, 상기 제 5 단계(S500) 후에는 상기 측정된 조명을 수정하거나 변경하기 위한 피드백 제어신호(550)를 발생하는 제 6 단계(S600)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명 발생 방법
13 13
제 12항에 있어서, 상기 제 3 단계(S300)는 상기 제 5 단계(S500)에서 발생되는 상기 피드백 제어신호(550)에 따라 상기 복수의 다중광의 굴절각도를 재조정하는 것을 특징으로 하는 다중광 간섭을 이용한 능동형 3차원 멀티스팟 조명 발생 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.