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경사각 측정 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015113506
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 의한 경사각 측정 센서는, 상면이 평평한 베이스 기판, 서로 이격되도록 베이스 기판의 상면에 결합되는 복수의 전극, 복수의 전극 위에 배치되고 둥글게 굽은 내면을 가지며 유전체로 이루어진 수용체, 수용체의 내부에 수용되어 수용체가 기울어질 때 수용체의 둥근 내면을 따라 구르는 금속 구슬, 복수의 전극에 전원을 공급하고 복수의 전극 사이의 커패시턴스를 측정하기 위한 회로기판을 포함한다. 본 발명에 의한 경사각 측정 센서는 금속 구슬의 움직임에 따른 커패시턴스 변화를 측정 파라미터로 이용하므로, 종래 경사각 측정 센서에 비해 구조가 간단하다.
Int. CL G01C 9/10 (2006.01) G01C 9/06 (2006.01)
CPC G01C 9/10(2013.01) G01C 9/10(2013.01) G01C 9/10(2013.01) G01C 9/10(2013.01)
출원번호/일자 1020090066408 (2009.07.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0008865 (2011.01.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.21)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승섭 대한민국 대전 유성구
2 이창화 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0444111-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2010-0067991-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0090087-13
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0366378-34
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상면이 평평한 베이스 기판; 서로 이격되도록 상기 베이스 기판의 상기 상면에 결합되는 복수의 전극; 상기 복수의 전극 위에 배치되고, 둥글게 굽은 내면을 가지며, 유전체로 이루어진 수용체; 상기 수용체의 내부에 수용되어 상기 수용체가 기울어질 때 상기 수용체의 둥근 내면을 따라 구르는 금속 구슬; 및 상기 복수의 전극에 전원을 공급하고, 상기 복수의 전극 사이의 커패시턴스를 측정하기 위한 회로기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 전극은 일측 방향으로 차례로 배치된 한 쌍의 전극을 포함하고, 상기 수용체의 내면은 적어도 일부가 원호형으로 이루어지며, 상기 수용체는 상기 원호형 내면의 최하부가 상기 한 쌍의 전극 사이의 중앙에 위치하도록 상기 한 쌍의 전극 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 수용체의 내부에는 상기 금속 구슬이 이동 가능하게 수용되고, 상기 원호형 내면으로부터의 높이가 일정한 통로가 마련되는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 수용체는 중공의 튜브형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 전극은 X축 방향으로 2열 및 Y축 방향으로 2열씩 배치된 네 개의 전극을 포함하고, 상기 수용체의 내면은 적어도 일부가 구면형으로 이루어지며, 상기 수용체는 상기 구면형 내면의 최하부가 상기 네 개의 전극의 중앙에 위치하도록 상기 네 개의 전극 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 수용체의 내부에는 상기 금속 구슬이 이동 가능하게 수용되고, 상기 구면형 내면으로부터의 높이가 일정한 통로가 마련되는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 금속 구슬의 직경이 상기 각 전극의 폭 이하인 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서
8 8
(a) 상면이 평평한 베이스 기판을 준비하는 단계; (b) 상기 베이스 기판의 상면에 도전성 박막을 적층하는 단계; (c) 상기 도전성 박막을 패터닝하여 복수의 전극을 마련하는 단계; (d) 둥글게 굽은 내면을 갖고, 유전체로 이루어진 수용체를 준비하는 단계; (e) 상기 수용체를 상기 복수의 전극 상부에 배치하는 단계; 및 (f) 금속 구슬을 준비하여 상기 수용체에 수용하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 수용체의 내면은 적어도 일부가 원호형으로 이루어지며, 상기 (c) 단계는 한 쌍의 전극을 일측 방향으로 차례로 배치되도록 형성하는 단계를 포함하고, 상기 (e) 단계는 상기 수용체를 상기 원호형 내면의 최하부가 상기 한 쌍의 전극 사이의 중앙에 위치하도록 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서의 제조방법
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 수용체의 내면은 적어도 일부가 구면형으로 이루어지며, 상기 (c) 단계는 네 개의 전극을 X축 방향으로 2열 및 Y축 방향으로 2열씩 배치되도록 형성하는 단계를 포함하고, 상기 (e) 단계는 상기 수용체를 상기 구면형 내면의 최하부가 상기 네 개의 전극의 중앙에 위치하도록 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서의 제조방법
11 11
제 8 항에 있어서, 상기 (b) 단계는 e-beam 증착법이 이용되는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서의 제조방법
12 12
제 8 항에 있어서, 상기 (c) 단계는 포토리소그라피 공정이 이용되는 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서의 제조방법
13 13
제 8 항에 있어서, 상기 (e) 단계와 상기 (f) 단계의 순서가 서로 바뀐 것을 특징으로 하는 경사각 측정 센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.