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격자판을 이용한 빔의 폭 측정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015113657
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이 발명은 레이저 등의 빔의 폭을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 이 발명의 장치는, 반사물질로 구성되어 반사영역을 형성하는 반사면과, 투과물질로 구성되어 투과영역을 형성하는 투과면이 주기적으로 배열되어 격자 형태로 구성되는 격자판과; 격자판을 직립 상태로 세워 지지한 상태에서 반사면과 투과면의 주기적 배열방향으로 격자판을 직선 이동시키는 직선 이동수단과; 격자판의 표면과 수직한 방향으로 광섬유의 단부를 위치시킨 상태에서 직선 이동수단에 의해 직선 이동하는 격자판의 표면에 광섬유를 통해 수직한 광을 조사하는 광조사부와; 격자판에서 반사되는 반사광을 수신하여 검출하는 광검출부; 및 광검출부에서 검출한 일정 시간마다의 반사광의 출력신호와, 직선 이동수단에 의한 격자판의 직선이동 속도를 이용해 연산하고 그래프화하여 광빔의 폭을 측정하는 제어수단으로 구성된다. 이 발명은 반사면과 투과면이 주기적으로 형성된 격자판에 광섬유의 가이드를 이용해 광을 조사한 후 반사되는 광량을 수신하고 이를 이용하므로, 간단하면서도 저렴한 방법으로 빔의 폭을 측정할 수 있는 장점이 있다.광섬유, 격자판, 반사면, 투과면, 빔
Int. CL G01J 3/00 (2006.01) G01J 4/00 (2006.01)
CPC G01J 4/04(2013.01) G01J 4/04(2013.01) G01J 4/04(2013.01) G01J 4/04(2013.01)
출원번호/일자 1020090052935 (2009.06.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1124607-0000 (2012.02.29)
공개번호/일자 10-2010-0134351 (2010.12.23) 문서열기
공고번호/일자 (20120328) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김천곤 대한민국 대전광역시 유성구
2 이연관 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0360336-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0045626-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0567300-64
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0850773-50
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0850771-69
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0351839-30
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0501460-13
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0501462-15
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0695058-67
11 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2012.02.29 수리 (Accepted) 2-1-2012-0108650-42
12 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2012.02.29 접수중 (On receiving) 2-1-2012-0108554-67
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반사물질로 구성되어 반사영역을 형성하는 반사면과, 투과물질로 구성되어 투과영역을 형성하는 투과면이 주기적으로 배열되어 격자 형태로 구성되는 격자판과;상기 격자판을 직립 상태로 세워 지지한 상태에서 상기 반사면과 상기 투과면의 주기적 배열방향으로 상기 격자판을 직선 이동시키는 직선 이동수단과;상기 격자판의 표면과 수직한 방향으로 광섬유의 단부를 위치시킨 상태에서 상기 직선 이동수단에 의해 직선 이동하는 상기 격자판의 표면에 상기 광섬유를 통해 수직한 광을 조사하는 광조사부와;상기 격자판에서 반사되는 반사광을 수신하여 검출하는 광검출부; 및상기 광검출부에서 검출한 일정 시간마다의 반사광의 출력신호와, 상기 직선 이동수단에 의한 상기 격자판의 직선이동 속도를 이용해 연산하고 그래프화하여 광빔의 폭을 측정하는 제어수단을 포함하며, 상기 반사면의 폭과 상기 투과면의 폭이 상기 광섬유를 통해 조사되는 광빔의 직경보다 크며, 상기 격자판은 상기 반사면과 상기 투과면이 직사각형 형태로 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 장치
2 2
반사물질로 구성되어 반사영역을 형성하는 반사면과, 투과물질로 구성되어 투과영역을 형성하는 투과면이 주기적으로 배열되어 격자 형태로 구성되는 격자판과;상기 격자판을 직립 상태로 세워 지지한 상태에서 상기 반사면과 상기 투과면의 주기적 배열방향으로 상기 격자판을 직선 이동시키는 직선 이동수단과;상기 격자판의 표면과 수직한 방향으로 광원을 위치시킨 상태에서 상기 직선 이동수단에 의해 직선 이동하는 상기 격자판의 표면에 수직한 광을 직접 조사하는 광조사부와;상기 격자판을 투과하는 투과광을 수신하여 검출하는 광검출부; 및상기 광검출부에서 검출한 일정 시간마다의 투과광의 출력신호와, 상기 직선 이동수단에 의한 상기 격자판의 직선이동 속도를 이용해 연산하고 그래프화하여 광빔의 폭을 측정하는 제어수단을 포함하며, 상기 반사면의 폭과 상기 투과면의 폭이 상기 광조사부에서 직접 조사되는 광빔의 직경보다 크며, 상기 격자판은 상기 반사면과 상기 투과면이 직사각형 형태로 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 장치
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삭제
4 4
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
5 5
청구항 4에 있어서,상기 격자판에서 반사되는 반사광은 상기 광섬유를 거쳐 상기 광검출부로 수신되고, 상기 광섬유의 수직 절단면의 단부에는 상기 광섬유로 반사되는 반사광의 광량을 증가시키기 위해 평행광을 만들어주는 시광기(collimator)가 더 장착되는 것을 특징으로 하는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 장치
6 6
반사물질로 구성되어 반사영역을 형성하는 반사면과, 투과물질로 구성되어 투과영역을 형성하는 투과면이 주기적으로 배열되어 격자 형태로 구성되는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 방법으로서,상기 격자판을 직립 상태로 세워 지지한 상태에서 상기 반사면과 상기 투과면의 주기적 배열방향으로 상기 격자판을 직선 이동시키는 단계와;상기 격자판의 표면과 수직한 방향으로 광섬유의 단부를 위치시킨 상태에서 상기 직선 이동하는 상기 격자판의 표면에 상기 광섬유를 통해 수직한 광을 조사하는 단계와;상기 격자판에서 반사되는 반사광을 수신하여 검출하는 단계; 및검출한 일정 시간마다의 상기 반사광의 출력신호와, 상기 격자판의 직선이동 속도를 이용해 연산하고 그래프화하여 광빔의 폭을 측정하는 단계를 포함하며, 상기 반사면의 폭과 상기 투과면의 폭이 상기 광섬유를 통해 조사되는 광빔의 직경보다 크며, 상기 격자판은 상기 반사면과 상기 투과면이 직사각형 형태로 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 방법
7 7
반사물질로 구성되어 반사영역을 형성하는 반사면과, 투과물질로 구성되어 투과영역을 형성하는 투과면이 주기적으로 배열되어 격자 형태로 구성되는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 방법으로서,상기 격자판을 직립 상태로 세워 지지한 상태에서 상기 반사면과 상기 투과면의 주기적 배열방향으로 상기 격자판을 직선 이동시키는 단계와;상기 격자판의 표면과 수직한 방향으로 광원을 위치시킨 상태에서 상기 직선 이동하는 상기 격자판의 표면에 수직한 광을 직접 조사하는 단계와;상기 격자판을 투과하는 투과광을 수신하여 검출하는 단계; 및검출한 일정 시간마다의 투과광의 출력신호와, 상기 격자판의 직선이동 속도를 이용해 연산하고 그래프화하여 광빔의 폭을 측정하는 단계를 포함하며, 상기 반사면의 폭과 상기 투과면의 폭이 상기 광원에서 직접 조사되는 광빔의 직경보다 크며, 상기 격자판은 상기 반사면과 상기 투과면이 직사각형 형태로 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 격자판을 이용한 빔의 폭 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.