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레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 이를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015133637
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적에 효율적으로 나노스케일의 패턴을 형성할 수 있는 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 이를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법을 위하여, 레이저 광원, 상기 레이저 광원으로부터 조사된 레이저 빔의 노이즈를 제거하고 동시에 빔 사이즈를 확장시키는 공간필터, 상기 공간필터로부터 확장된 레이저 빔이 조사될 수 있으며, 웨이퍼 홀더 및 반사 거울이 부가된, 웨이퍼 스테이지 및 상기 웨이퍼 홀더 상에 위치하며, 상기 공간필터로부터 바로 입사되는 제 1 평행광 및 상기 반사 거울에 의하여 입사하는 제 2 평행광이 입사될 수 있는, 가변밀도필터를 포함하는, 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치를 제공한다.
Int. CL G03H 1/08 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) B82Y 20/00 (2011.01)
CPC G03H 1/08(2013.01) G03H 1/08(2013.01) G03H 1/08(2013.01) G03H 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020140070028 (2014.06.10)
출원인 서울대학교산학협력단, 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1527396-0000 (2015.06.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150609) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.10)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
2 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전헌수 대한민국 서울특별시 관악구
2 정현호 대한민국 서울특별시 관악구
3 김한빛 대한민국 서울특별시 관악구
4 이규백 대한민국 서울특별시 성북구
5 이동현 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
2 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0540642-99
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0095691-52
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
6 등록결정서
Decision to grant		 2015.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0333425-79
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 광원;상기 레이저 광원으로부터 조사된 레이저 빔의 노이즈를 제거하고 동시에 빔 사이즈를 확장시키는 공간필터;상기 공간 필터로부터 확장된 레이저 빔이 조사될 수 있으며, 웨이퍼 홀더 및 반사 거울이 부가된, 웨이퍼 스테이지; 및상기 웨이퍼 홀더 상에 위치하며, 상기 공간필터로부터 바로 입사되는 제 1 평행광 및 상기 반사 거울에 의하여 입사하는 제 2 평행광이 입사될 수 있는, 가변밀도필터; 를 포함하는, 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치
2 2
제 1 항에 있어서
3 3
제 2 항에 있어서
4 4
제 1 항에 있어서
5 5
제 1 항에 있어서
6 6
제 1 항에 있어서,상기 공간필터는 렌즈 및 핀 홀을 포함하는, 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 레이저 광원은 He-Cd 레이저 광원, gas 레이저 광원, solid-state 레이저 광원 또는 반도체 레이저 광원을 포함하는, 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치
8 8
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 의한 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치를 준비하는 단계;상기 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치의 웨이퍼 홀더에 감광막이 형성된 웨이퍼를 배치하는 단계;상기 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치의 레이저 광원으로부터 공간필터에 레이저 빔을 조사하는 단계;상기 레이저 광원으로부터 조사된 레이저 빔이 공간필터를 통과하여 노이즈가 제거되고 상기 레이저 빔의 사이즈가 확장되는 단계;상기 확장된 레이저 빔 중에서 일부인 제 1 평행광은 상기 가변밀도필터에 바로 입사하고, 나머지 일부인 제 2 평행광은 상기 반사 거울에 반사되어 상기 가변밀도필터에 입사하는 단계; 및상기 가변밀도필터를 통과한 상기 제 1 평행광과 상기 제 2 평행광의 간섭광을 상기 웨이퍼 상에 조사함으로써 상기 웨이퍼 상에 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴을 형성하는 단계;를 포함하는, 레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 나노바이오시스(주) 산업융합원천기술개발사업 복합구배(나노구조구배-농도구배) 기술을 이용한 줄기세포 최적 배양조건 초고속 자동 스크리닝 시스템 시제품 개발