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나노입자의 집속 패터닝에 의한 나노입자 구조체의 제조방법 및 이에 의해 얻어진 나노입자 구조체
- 기술번호 : KST2015135139
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 나노입자의 집속 패터닝에 의한 나노입자 구조체의 제조방법 및 상기 방법에 의해 얻어진 나노입자 구조체에 관한 것으로서, 본 발명의 방법은 스파크 방전에 의해 양극성(bipolar)으로 하전된 나노입자 및 이온을 동시에 발생시킨 후, 한 극성의 하전된 나노입자만을 선택하여 기판의 나노패턴으로 유도하고 나노패턴에 집속적으로 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명의 방법에 의하면, 2차원 또는 3차원 형상의 다양한 구조의 정밀한 나노입자 구조체를 효율적으로 제조할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | B82B 3/00 (2017.01.01) B01J 19/08 (2015.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) B82Y 10/00 (2017.01.01) B82Y 5/00 (2017.01.01) |
| CPC | B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090000248 (2009.01.05) |
| 출원인 | 서울대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1412652-0000 (2014.06.20) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0089787 (2009.08.24) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140626) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020080014775 | 2008.02.19
|
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2013.07.24) |
| 심사청구항수 | 13 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 최만수 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 |
| 2 | 이희철 | 대한민국 | 경상북도 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 제일특허법인(유) | 대한민국 | 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩) |
| 2 | 장성구 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유)) |
| 3 | 김선장 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***(대치동) 삼성대세빌딩 *층(주식회사젠센) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 서울특별시 관악구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.01.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0001857-93 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2009.01.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0004243-88 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2009.01.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0042406-10 |
| 4 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2009.01.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0060011-12 |
| 5 | [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2010.01.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0013554-14 |
| 6 | [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2010.01.08 | 무효 (Invalidation) | 1-1-2010-0013564-60 |
| 7 | 보정요구서 Request for Amendment |
2010.01.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0004676-57 |
| 8 | 무효처분통지서 Notice for Disposition of Invalidation |
2010.02.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0015927-70 |
| 9 | [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2010.03.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0159438-05 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 12 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2013.07.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0666622-62 |
| 13 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.04.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0295444-10 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.05.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0443651-02 |
| 15 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0376203-57 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 1) 패턴층에 의해 형성된 나노패턴을 갖는 기판을 반응기 내부에 위치시킨 후 전기장을 형성하는 단계; 2) 나노입자 전구물질을 스파크 방전시켜 양극성(bipolar)으로 하전된 나노입자 및 이온을 형성하는 단계; 및3) 상기 양극성으로 하전된 나노입자 및 이온을 상기 반응기에 도입하여, 이들 중 한 극성의 하전된 나노입자만을 선택하여 상기 반응기 내에 위치된 기판의 나노패턴에 집속적으로 증착하는 단계를 포함하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 단계 2)의 스파크 방전이 스파크 방전 챔버에 5 kV 내지 10 kV 범위의 전압을 인가하여 발생되는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 단계 3)에서 한 극성의 하전된 나노입자가 기판의 나노패턴에 증착되기에 앞서, 상기 한 극성의 하전된 나노입자와 동일한 극성을 갖는 이온이 패턴층의 표면에 축적되는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 단계 2)가 팁과 플레이트 형상으로 제작된 나노입자 전구물질이 장착된 스파크 방전 챔버내에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 나노입자 전구물질이 전도성 물질, 부도체 물질로 코팅된 전도성 물질 또는 반도체 물질인 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 단계 1)에서, 반응기 내부에 -5 kV 내지 5 kV 범위의 전압을 인가하여 전기장을 형성하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 단계 2)에서 발생된 하전된 나노입자 및 이온을 질소(N2), 헬륨(He2) 및 아르곤(Ar2) 중에서 선택된 운반 기체를 이용하여 상기 단계 3)의 반응기에 주입하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 단계 3)에서 하전된 나노입자 및 이온을 반응기에 도입하기 전에, 불활성 기체이온을 이용하여 상기 패턴층의 표면위에 나노입자와 동일한 극으로 전하를 축적시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 9 |
9 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된, 2차원 또는 3차원 형상의 나노입자 구조체 |
| 10 |
10 제 9 항에 있어서,상기 나노입자 구조체가 도트, 라인, 기둥, 반구, 벽, 꽃, 네잎클로버 또는 버섯 형상인 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체 |
| 11 |
11 제 9 항에 있어서,상기 나노입자 구조체가 어레이의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체 |
| 12 |
12 제 9 항에 있어서,상기 나노입자 구조체가 단일 나노입자 또는 2종 이상의 복합 나노입자로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체 |
| 13 |
13 삭제 |
| 14 |
14 제 9 항에 있어서,상기 나노입자 구조체가 1: 0 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1412652-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090105 출원 번호 : 1020090000248 공고 연월일 : 20140626 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140530 청구범위의 항수 : 13 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 나노입자의 집속 패터닝에 의한 나노입자 구조체의 제조방법 및 이에 의해 얻어진 나노입자 구조체 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 276,000 원 | 2014년 06월 23일 | 납입 |
| 제 4 - 6 년분 | 금 액 | 650,370 원 | 2016년 02월 24일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 297,000 원 | 2020년 06월 19일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.01.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0001857-93 |
| 2 | 보정요구서 | 2009.01.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0004243-88 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2009.01.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0042406-10 |
| 4 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2009.01.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0060011-12 |
| 5 | [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.01.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0013554-14 |
| 6 | [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.01.08 | 무효 (Invalidation) | 1-1-2010-0013564-60 |
| 7 | 보정요구서 | 2010.01.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0004676-57 |
| 8 | 무효처분통지서 | 2010.02.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2010-0015927-70 |
| 9 | [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.03.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0159438-05 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 12 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2013.07.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0666622-62 |
| 13 | 의견제출통지서 | 2014.04.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0295444-10 |
| 14 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.05.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0443651-02 |
| 15 | 등록결정서 | 2014.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0376203-57 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345086721 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R31-2008-000-10083-0 |
| 연구과제명 | 멀티스케일융합기계시스템설계및제작기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 서울대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200812~201308 |
| 기여율 | 0.33333334 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 |
| 과제고유번호 | 1345099523 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2006-0051698 |
| 연구과제명 | 물질제조를위한나노입자생성및제어기술연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 서울대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200606~201102 |
| 기여율 | 0.33333334 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1615000749 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 50264 |
| 연구과제명 | 바이오/나노기술을활용한자연친화적건설신마감재개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 국토해양부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국건설교통기술평가원 |
| 연구주관기관명 | 성균관대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200807~201306 |
| 기여율 | 0.33333334 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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