맞춤기술찾기

이전대상기술

CNTnt 상에 형성된 금속 박막을 가지는 독립한 금속성마이크로메카니컬 구조 및 이를 이용한 공진기 구조

  • 기술번호 : KST2015159702
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CNTnt 상에 형성된 일정한 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조 및 이를 이용한 공진기 구조에 관한 것으로, 이를 위하여 소정의 두께를 가지되 바람직하게는 0.41 nm 이하의 두께를 갖는 CNTnt 상에 금속 박막으로써 바람직하게는 Al 박막이 소정의 두께를 가지되 바람직하게는 50 - 100 nm 증착된 이중층 라미네이트를 포함하는 CNTnt 상에 형성된 일정한 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조를 제시한다. 또한, 본 발명은 CNTnt 상에 형성된 일정한 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조를 이용한 공진기 구조에 관한 것으로, 이를 위하여 소정의 폭과 소정의 길이를 가지되, 바람직하게는 2~3㎛ 의 폭과 5~50㎛ 의 길이를 갖는 현수된 이중 고정보 마이크로공진기(suspended doubly-clamped beam microresonators) 구조를 제시한다. CNT, CNTnt,탄성계수,박막,나노튜브
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 41/08 (2006.01)
CPC H01L 41/08(2013.01) H01L 41/08(2013.01) H01L 41/08(2013.01)
출원번호/일자 1020070097693 (2007.09.28)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단, 삼성전자주식회사
등록번호/일자 10-1399793-0000 (2014.05.20)
공개번호/일자 10-2009-0032437 (2009.04.01) 문서열기
공고번호/일자 (20140526) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.24)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
2 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박윤 미국 서울특별시 서초구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김학제 대한민국 서울특별시 서초구 매헌로 ** 하이브랜드빌딩 **층 (양재동)(피닉스국제특허법률사무소)
2 문혜정 대한민국 서울특별시 서초구 매헌로 **, 하이브랜드빌딩 **층 (양재동)(피닉스국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 서울특별시 관악구
2 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0698554-42
2 보정요구서
Request for Amendment
2007.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0144627-87
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0806874-04
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0890667-52
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0014529-92
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0044093-24
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0774392-76
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.26 수리 (Accepted) 9-1-2013-0070106-11
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0682120-76
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-1096413-91
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1096564-76
15 등록결정서
Decision to grant
2014.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0259480-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄소나노튜브 네트워크 템플릿(CNTnt) 상에 금속박막이 일정 두께를 가지고 적층되어 구성되며, 상기 탄소나노튜브 네트워크 템플릿은 일정 두께로 적층된 금속박막 상에 CNT(carbon nano tube)의 자기조립체가 적층되어 구성됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브 네트워크 템플릿 상에 형성된 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 CNT(carbon nano tube)의 자기조립체는 일정 두께의 단일층, 이중층 및 삼중층이 순차 적층되어 구성됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브 네트워크 템플릿 상에 형성된 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조
4 4
제 1항 또는 제 3항에 있어서,상기 금속박막은 알루미늄(Al)으로 구성됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브 네트워크 템플릿 상에 형성된 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조
5 5
제 1항 또는 제 3항에 있어서,상기 적층은 스퍼터링 증착에 의해 적층됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브 네트워크 템플릿 상에 형성된 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조
6 6
제 1항 또는 제3항에 의한 구조를 이용한 공진기 구조
7 7
제 4항에 의한 구조를 이용한 공진기 구조
8 8
제 5항에 의한 구조를 이용한 공진기 구조
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101421721 KR 대한민국 FAMILY
2 US20090087663 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2009087663 US 미국 DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 서울대학교 산학협력재단 서울시 산학연 협력사업(기술기반구축사업) 나노바이오 시스템 및 응용 소재