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다공성 알루미나 나노틀을 이용하여 제조한 탄소나노튜브가스센서의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015160244
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다공성 알루미나 나노틀을 이용하여 제조한 탄소나노튜브를 가스센서 감지 재료로 사용한 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 탄소나노튜브 가스센서는 탄소나노튜브의 안쪽으로 가스가 흘러 들어가 나노튜브 안쪽벽에 흡착되므로 높은 감지 특성을 가지며, 상온에서 작동가능하고, 크기를 소형화시킬 수 있는 것을 특징으로 하고 있다. 또한 본 발명에 의한 탄소나노튜브 가스센서는 탄소나노튜브에 직접 전극을 연결하여 저항값의 변화를 감지하므로 간단하게 센서장치를 제작할 수 있으며 탄소나노튜브에 회복전압을 가하여 회복속도를 빠르게 하므로 반복적으로 사용할 수 있는 장점을 갖는다. 다공성 알루미나 나노틀, 탄소나노튜브, 가스센서
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01)
출원번호/일자 1020060036934 (2006.04.24)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0775412-0000 (2007.11.05)
공개번호/일자 10-2007-0104810 (2007.10.29) 문서열기
공고번호/일자 (20071112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서정쌍 대한민국 서울 구로구
2 정현영 대한민국 전남 순천시
3 정성미 대한민국 부산 해운대구
4 김주래 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
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최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0287003-44
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0171053-66
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-5054064-94
4 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0515111-96
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
1 1
막 형태의 다공성 알루미나 나노틀을 제조하는 단계; 탄화수소 기체를 열분해시켜 상기 나노틀의 세공에 탄소나노튜브를 제조하는 단계; 상기 탄소나노튜브가 제조된 나노틀 표면의 무정형 탄소층을 제거한후 팁을 노출시키는 단계; 상기 탄소나노튜브를 사이에 두고 가운데 부분에서 겹치도록 상기 나노틀의 윗면과 아랫면의 대각선이 되는 표면에 진공증착으로 금속을 증착하는 단계; 상기 탄소나노튜브의 구멍을 막은 얇은 금속층을 이온 밀링으로 제거하는 단계; 상기 탄소나노튜브에 증착된 금속이 겹치는 가운데 부분을 제외한 윗면과 아랫면의 금속에 전극을 형성시키는 단계; 상기 증착된 금속이 겹치는 가운데 부분의 탄소나노튜브를 제외한 나머지 부분을 가스차단 및 보호를 위한 틀로 패키징하는 단계; 상기 전극에 신호측정부, 감지전원부, 가변스위치 그리고 회복전원부를 연결하는 단계; 상기 가운데 부분의 탄소나노튜브의 안쪽벽으로 가스를 흘려보내 흡착된 가스의 저항변화를 측정하는 단계; 를 포함하는 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 탄소나노튜브는 직선형 탄소나노튜브 또는 지름이 다른 두 나노튜브가 직선으로 연결된 탄소나노튜브(linearly joined carbon nanotube)인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 가스차단 및 보호를 위한 틀은 유리 또는 플라스틱을 사용하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 감지전원부는 가스의 검지를 위한 전원을 공급하고 회복전원부는 가스 탈착을 위한 회복전원을 공급하는것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 회복전원부는 감지전원부의 전압보다 높은 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 가변스위치는 감지전원부에서 회복전원부로 전환시키는 장치인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 가스센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.