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기판; 상기 기판 상에 배치되고 니오븀 이황화물(NbS2) 박막을 포함하는 가스 감지층; 및 상기 가스 감지층 상에 배치되는 전극을 포함하는 상온 구동형 가스 센서
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제1 항에 있어서,상기 가스 감지층은 2차원 니오븀 이황화물(NbS2) 박막으로 이루어진 상온 구동형 가스 센서
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제1 항에 있어서,상기 니오븀 이황화물(NbS2) 박막 상에 증착된 금속 나노 입자를 더 포함하는 상온 구동형 가스 센서
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제3 항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 주석(Sn), 인듐(In), 니켈(Ni), 구리(Cu), 코발트(Co) 및 크롬(Cr) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 상온 구동형 가스 센서
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제1 항에 있어서,상기 가스 감지층은 이산화질소(NO2)를 감지하는 상온 구동형 가스 센서
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제5 항에 있어서, 상기 이산화질소는 상기 니오븀 이황화물 박막을 구성하는 니오븀 이황화물 결정의 엣지 부분에 흡착되는 상온 구동형 가스 센서
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7
기판 및 상기 기판 상의 복수의 단위 가스 센서를 포함하는 가스 센서 어레이로서,상기 복수의 단위 가스 센서 각각은 상기 기판 상에 패턴된 니오븀 이황화물(NbS2) 박막층; 및 상기 니오븀 이황화물 박막층 상에 증착된 금속 나노 입자를 포함하는 가스 센서 어레이
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제7 항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 주석(Sn), 인듐(In), 니켈(Ni), 구리(Cu), 코발트(Co) 및 크롬(Cr) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 가스 센서 어레이
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제7 항에 있어서,상기 복수의 단위 가스 센서 각각은 서로 상이한 종류의 금속 나노 입자를 포함하는 가스 센서 어레이
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용매에 니오븀 전구체를 용해시켜 니오븀 전구체 용액을 제조하는 단계; 상기 니오븀 전구체 용액을 기판에 코팅하여 니오븀 전구체 코팅층을 형성하는 단계; 열 화학기상 증착법으로 상기 니오븀 전구체 코팅층과 황 함유 가스를 반응시켜 니오븀 이황화물 박막(NbS2)을 포함하는 가스 감지층을 형성하는 단계; 상기 가스 감지층이 형성된 상기 기판을 쿨링하는 단계; 및 상기 가스 감지층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제10 항에 있어서,상기 니오븀 전구체 코팅층을 형성하는 단계는 회전속도 3000rpm 내지 4000rpm으로 50초 내지 70초 동안 스핀 코팅을 수행하는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제10 항에 있어서, 상기 니오븀 전구체 박막 코팅층을 형성하는 단계와 상기 가스 감지층을 형성하는 단계의 사이에, 상기 니오븀 전구체 코팅층이 형성된 기판을 프리-어닐링(pre-annealing)하는 단계를 더 포함하는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제10 항에 있어서, 상기 가스 감지층을 형성하는 단계는 650℃ 내지 1000℃에서 30분 내지 120분간 수행되는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제10 항에 있어서,상기 가스 감지층을 형성하는 단계는 불활성 기체 및 수소 분위기하에 수행되는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제14 항에 있어서, 상기 불활성 기체의 유량은 500 sccm 내지 1500 sccm이고, 상기 수소의 유량은 80 내지 120 sccm인 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제10 항에 있어서, 상기 니오븀 이황화물 박막 상에 금속 나노 입자를 증착하는 단계를 더 포함하는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 금속 나노 입자를 증착하는 단계는, 물리적 기상 증착법을 이용하여 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 주석(Sn), 인듐(In), 니켈(Ni), 구리(Cu), 코발트(Co) 및 크롬(Cr) 중에서 선택된 1종 이상을 상기 니오븀 이황화물 박막 상에 증착하는 상온 구동형 가스 센서의 제조방법
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