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임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015128356
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법은 공정시간과 비용을 단축하고, 표면 강도가 향상된 스탬프를 제작할 수 있도록, 제 1 기판 상에 제1 폴리머층을 형성하는 단계와 미리 구비된 원본 스탬프를 이용하여 상기 제1 폴리머층에 패턴을 형성하는 단계, 패턴이 형성된 상기 제1 폴리머층의 위에 강화 표면층을 형성하여 중간 스탬프를 제작하는 단계, 미리 구비된 제 2 기판 상에 제2 폴리머층을 형성하는 단계, 상기 중간 스탬프를 상기 제2 폴리머층에 부착하는 단계, 및 상기 제1 폴리머층을 용해시켜 제1 기판을 분리하는 단계를 포함한다.임프린트 리소그래피, 스탬프, DLC, 용해
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0015(2013.01) G03F 7/0015(2013.01) G03F 7/0015(2013.01) G03F 7/0015(2013.01)
출원번호/일자 1020060104467 (2006.10.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0755044-0000 (2007.08.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070906) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.26)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기돈 대한민국 서울특별시 송파구
2 정준호 대한민국 대전 유성구
3 알리 알툰 터어키 대전 유성구
4 김종현 대한민국 충북 청주시 상당구
5 최대근 대한민국 대전광역시 유성구
6 이응숙 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0777479-67
2 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430444-11
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.07.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0046651-67
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0440952-29
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 기판 상에 제1 폴리머층을 형성하는 단계;미리 구비된 원본 스탬프를 이용하여 상기 제1 폴리머층에 패턴을 형성하는 단계;패턴이 형성된 상기 제1 폴리머층의 위에 강화 표면층을 형성하여 중간 스탬프를 제작하는 단계;미리 구비된 제 2 기판 상에 제2 폴리머층을 형성하는 단계;상기 중간 스탬프를 상기 제2 폴리머층에 부착하는 단계; 및상기 제1 폴리머층을 용해시켜 제1 기판을 분리하는 단계;를 포함하는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 제1 폴리머층은 물 또는 화학약품에 용해 가능한 폴리머로 이루어지는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 제1 폴리머층은 폴리비닐알콜(PVA; Polyvinyl Alcohl), 수용성 우레탄, 수용성 폴리페닐린비닐린(PPV; Polyphenylene Vinylene), 수용성 티오펜 폴리머(Thiophene Polymer)로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 소재로 이루어지는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 강화 표면층은 다이아몬드상 카본막(DLC: Diamond Like Carbon)으로 이루어지는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
5 5
제4 항에 있어서,상기 강화 표면층은 진공 증착법에 의해 형성되는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
6 6
제1 항에 있어서,상기 제2 폴리머층은 자외선 경화 접착제로 이루어지는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
7 7
제1 항에 있어서,상기 중간 스탬프를 상기 제2 폴리머층에 부착한 후, 상기 제2 폴리머층에 자외선을 조사하는 단계를 포함하는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
8 8
제1 기판 상에 제1 폴리머층을 형성하는 단계;미리 구비된 스탬프를 이용하여 상기 제1 폴리머층에 패턴을 형성하는 단계;패턴이 형성된 상기 제1 폴리머층의 위에 다이아몬드상 카본막(DLC: Diamond Like Carbon)을 형성하여 중간 스탬프를 제작하는 단계;미리 구비된 제 2 기판 상에 제2 폴리머층을 형성하는 단계;상기 중간 스탬프로 제2 폴리머층에 압력을 가하여 패턴을 형성하는 단계;상기 중간 스탬프가 제2 폴리머층에 결합된 상태에서 제1 기판을 분리하는 단계; 및상기 제1 폴리머층을 제거하는 단계;를 포함하는 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.