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마이크로플루이딕 채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 마이크로플루이딕 채널 및 그 응용

  • 기술번호 : KST2015114047
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로플루이딕 채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 마이크로플루이딕 채널 및 그 응용이 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로플루이딕 채널 제조방법은 상부, 하부가 유체 연통하는 곡면 구조의 마이크로플루이딕 채널 제조방법으로서, 상기 방법은 곡면 형상을 포함하는 주형 패턴에 폴리머 전사층을 상기 주형 패턴 높이보다 두꺼운 두께로 적층하여, 상기 곡면 형상을 상기 폴리머 전사층에 전사시키는 단계; 상기 전사된 폴리머 전사층의 두께를 감소시켜, 상기 주형 패턴의 일부가 노출되도록 하는 단계; 및 상기 주형 패턴으로부터 상기 폴리머 전사층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 마이크로플루이딕 채널은 하부에 소정 크기의 홀이 형성된 곡면 구조로서, 채널 하부에 구비되는 홀보다 큰 크기를 갖는 유체 내 시료는 상기 곡면 형태의 마이크로플루이딕 채널 내에서 포획되어, 유체로부터 분리될 수 있다. 또한, 하부 홀의 크기를 폴리머 전사층 높이의 식각 조절만으로 간단히 조절할 수 있으므로, 다양한 크기의 유체 내 시료를 효과적으로 분리할 수 있다.
Int. CL G01N 35/08 (2006.01) G01N 35/00 (2006.01)
CPC B01L 3/5027(2013.01) B01L 3/5027(2013.01) B01L 3/5027(2013.01) B01L 3/5027(2013.01) B01L 3/5027(2013.01)
출원번호/일자 1020100033294 (2010.04.12)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1148592-0000 (2012.05.10)
공개번호/일자 10-2011-0113939 (2011.10.19) 문서열기
공고번호/일자 (20120522) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020120003142;
심사청구여부/일자 Y (2010.04.12)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서태석 대한민국 대전광역시 유성구
2 최종섭 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0231314-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.12.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.01.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0004558-73
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0661275-27
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0024913-28
6 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2012.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0025714-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0024911-37
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0260857-85
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부, 하부가 유체 연통하며, 하부에 홀이 형성된 곡면 구조로서, 시료가 함유된 유체를 상기 곡면 구조의 상부에서 하부로 흘림으로써 상기 곡면 구조 내에 시료를 포획하기 위한 마이크로플루이딕 채널 제조방법으로서, 상기 방법은곡면 형상을 포함하는 주형 패턴에 폴리머 전사층을 상기 주형 패턴 높이보다 두꺼운 두께로 적층하여, 상기 곡면 형상을 상기 폴리머 전사층에 전사시키는 단계;상기 전사된 폴리머 전사층의 두께를 감소시켜 상기 주형 패턴의 일부가 노출되도록 하여, 폴리머 전사층에 전사된 상기 곡면 형상에 상기 하부에 홀이 형성된 곡면 구조를 형성시키는 단계; 및상기 주형 패턴으로부터 상기 폴리머 전사층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 폴리머 전사층의 두께 감소는 반응성 이온 식각 공정에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 주형 패턴은 유리 또는 실리콘인 것을 특징으로 하는 마이크로플루이딕 채널 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 폴리머 전사층은 폴리디메틸실록산(PDMS) 또는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)인 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 폴리머 전사층은 광경화성 또는 열경화성 수지인 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 곡면 형상은 반구 형상인 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
7 7
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조되며, 곡면 구조로서 상부, 하부가 유체 연통하도록 하부에 소정 크기의 홀이 형성된 마이크로플루이딕 채널
8 8
제 7항에 있어서, 상기 마이크로플루이딕 채널은 반구 형상인 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널
9 9
상부, 하부가 유체 연통하는 반구 구조로서, 상기 반구의 하부에 홀이 형성되며, 시료가 함유된 유체를 상기 반구 구조의 상부에서 하부로 흘림으로써 상기 반구 구조 내에 시료를 포획하기 위한 마이크로플루이딕 채널 제조방법으로, 상기 방법은 반구 형상을 포함하는 폴리머 주형 패턴을 제조하는 단계;상기 폴리머 주형 패턴에 금속 박막을 적층시키는 단계;상기 금속 박막 상에 상기 주형 패턴 높이보다 두꺼운 두께로 폴리머 전사층을 적층하여, 상기 반구 형상을 상기 폴리머 전사층에 전사시키는 단계;상기 전사된 폴리머 전사층의 두께를 상기 주형 패턴 높이 미만으로 감소시켜 상기 주형 패턴의 일부가 노출되도록 하여, 상기 폴리머 전사층의 반구 형상에 상기 하부에 홀이 형성된 반구 구조를 형성시키는 단계; 및 상기 주형 패턴으로부터 상기 폴리머 전사층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
10 10
제 9항에 있어서, 반구 형상의 폴리머 주형 패턴의 제조는,수직 구조의 폴리머 패턴을 열처리하여 리플로우시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
11 11
제 10항에 있어서, 상기 폴리머 주형은 포토레지스트 주형이며, 상기 수직 구조의 폴리머 패턴은 기판에 도포된 포토레지스트를 노광, 현상시킴으로써 제조되는 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
12 12
제 9항에 있어서, 상기 폴리머 전사층은 폴리디메틸실록산(PDMS) 또는 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)인 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
13 13
제 9항에 있어서, 상기 폴리머 전사층은 광경화성 또는 열경화성 수지인 것을 특징으로 하는, 마이크로플루이딕 채널 제조방법
14 14
제 9항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조되며, 곡면 구조로서 상부, 하부가 유체 연통하도록 하부에 소정 크기의 홀이 형성된 마이크로플루이딕 채널
15 15
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