요약 | 본 발명은 바이오 센서에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 투명 게이트 영역을 갖는 트랜지스터를 이용한 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 소스와 드레인이 이격되어 형성된 기판, 상기 기판의 상기 소스와 드레인 사이의 영역 상에 형성된 투명 게이트 영역 및 상기 투명 게이트 영역 상에 형성된 바이오 분자를 포함하는 것을 특징으로 한다. 투명 게이트, 트랜지스터, 바이오 센서, 광학적 검출, 전기적 검출 |
---|---|
Int. CL | G01N 35/00 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01) G01N 33/53 (2006.01) |
CPC | G01N 33/5302(2013.01)G01N 33/5302(2013.01)G01N 33/5302(2013.01)G01N 33/5302(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080107504 (2008.10.31) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-0997205-0000 (2010.11.23) |
공개번호/일자 | 10-2010-0048380 (2010.05.11) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20101129) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.10.31) |
심사청구항수 | 38 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 최양규 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 김창훈 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 이유준 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.10.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0757122-95 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.03.04 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.04.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0023099-73 |
4 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.11.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0514239-45 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 소스와 드레인이 이격되어 형성된 기판; 상기 기판의 상기 소스와 드레인 사이의 영역 상에 형성된 투명 게이트 영역; 및 상기 투명 게이트 영역 상에 형성된 바이오 분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은, 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로만 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은, 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체가 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
5 |
5 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 두 가지 이상의 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
6 |
6 제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역의 최 하단부는 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
7 |
7 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체는 산화규소(SiO2), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
8 |
8 제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 전도성을 갖는 투명 게이트 물질은 산화아연(ZnO), ITO(Indium Tin Oxide), 다이아몬드(Diamond) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
9 |
9 제 1 항에 있어서, 상기 바이오 분자는 DNA, RNA, 단백질, 리간드, 항원-항체 물질, 효소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
10 |
10 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자 사이에 링커(linker)가 더 포함되고, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
11 |
11 제 10 항에 있어서, 상기 링커(linker)는 아민(amine), 알데히드(aldehyde), 에폭시드(epoxide), 말레이미드(maleimide), 티올(thiol), 히드라진(hydrazine), NHS(N-hydroxysuccinimide) 중 적어도 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
12 |
12 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되기 전에, 상기 바이오 분자가 광 블로킹(blocking)층과 결합되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
13 |
13 제 12 항에 있어서, 상기 광 블로킹(blocking)층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr)중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
14 |
14 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 소스와 드레인 상에 광 투명성이 없는 보호층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
15 |
15 제 14 항에 있어서, 상기 보호층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr) 중 어느 하나인 금속, 상기 금속과 실리콘(Silicon)이 결합된 실러사이드(Silicide) 또는 비금속인 융기형 폴리실리콘(Polysilicon)중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
16 |
16 제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 투명 게이트 영역의 양 측부에 절연층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
17 |
17 제 16 항에 있어서, 상기 절연층은 산화규소(SiO2), 질화실리콘(Si3N4), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중 적어도 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
18 |
18 제 14 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 보호층이 형성된 후 상기 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
19 |
19 제 14 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 절연층이 형성된 후 상기 보호층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서 |
20 |
20 (a)기판에 소스와 드레인을 이격하여 형성하는 단계; (b)상기 기판의 상기 소스와 드레인 사이의 영역 상에 투명 물질로 투명 게이트 영역을 형성하는 단계; 및 (c)상기 투명 게이트 영역 상에 바이오 분자를 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
21 |
21 제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로만 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
22 |
22 제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
23 |
23 제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체가 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
24 |
24 제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 두 가지 이상의 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
25 |
25 제 22 항 또는 제 24 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역의 최 하단부는 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
26 |
26 제 21 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체는 산화규소(SiO2), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
27 |
27 제 22 항 또는 제 24 항에 있어서, 상기 전도성을 갖는 투명 게이트 물질은 산화아연(ZnO), ITO(Indium Tin Oxide), 다이아몬드(Diamond) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
28 |
28 제 20 항에 있어서, 상기 바이오 분자는 DNA, RNA, 단백질, 리간드, 항원-항체 물질, 효소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
29 |
29 제 20 항에 있어서, 상기 (b)단계 후 (c)단계 전에, 상기 투명 게이트 영역 상에 링커(linker)를 형성하는 단계를 더 포함하도록 하여, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
30 |
30 제 29 항에 있어서, 상기 링커(linker)는 아민(amine), 알데히드(aldehyde), 에폭시드(epoxide), 말레이미드(maleimide), 티올(thiol), 히드라진(hydrazine), NHS(N-hydroxysuccinimide) 중 적어도 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
31 |
31 제 20 항에 있어서, 상기 (c)단계 전이고, 또한 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되기 전에, 상기 바이오 분자가 광 블로킹(blocking)층과 결합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
32 |
32 제 31 항에 있어서, 상기 광 블로킹(blocking)층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr) 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
33 |
33 제 20 항에 있어서, 상기 (b)단계 후 (c)단계 전이고, 상기 투명 게이트 영역 상에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 소스와 드레인 상에 광 투명성이 없는 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
34 |
34 제 33 항에 있어서, 상기 보호층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr) 중 어느 하나인 금속, 상기 금속과 실리콘(Silicon)이 결합된 실러사이드(Silicide) 또는 비금속인 융기형 폴리실리콘(Polysilicon) 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
35 |
35 제 20 항에 있어서, 상기 (b)단계 후 (c)단계 전이고, 또한 상기 투명 게이트 영역에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 투명 게이트 영역의 양 측부에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
36 |
36 제 35 항에 있어서, 상기 절연층은 산화규소(SiO2), 질화실리콘(Si3N4), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중 적어도 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
37 |
37 제 33 항에 있어서, 상기 보호층이 형성된 후 상기 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
38 |
38 제 35 항에 있어서, 상기 절연층이 형성된 후 상기 보호층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0997205-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20081031 출원 번호 : 1020080107504 공고 연월일 : 20101129 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101112 청구범위의 항수 : 38 유별 : G01N 33/48 발명의 명칭 : 바이오 센서 및 그 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 763,500 원 | 2010년 11월 24일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 876,000 원 | 2013년 10월 30일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 613,200 원 | 2014년 10월 29일 | 납입 |
제 6 - 7 년분 | 금 액 | 2,175,590 원 | 2015년 12월 08일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 1,080,800 원 | 2017년 10월 27일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 772,000 원 | 2018년 11월 01일 | 납입 |
제 10 년분 | 금 액 | 1,165,000 원 | 2019년 11월 01일 | 납입 |
제 11 년분 | 금 액 | 1,165,000 원 | 2020년 10월 26일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.10.31 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0757122-95 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.03.04 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2010.04.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0023099-73 |
4 | 등록결정서 | 2010.11.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0514239-45 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345119673 |
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세부과제번호 | 2005-2001274 |
연구과제명 | 생체기능 모니터링을 위한 바이오센서 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200504~201403 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
과제고유번호 | 1345072327 |
---|---|
세부과제번호 | R0A-2007-000-20028-0 |
연구과제명 | 나노소자를위한trans-scale융합기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200707~201206 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1350010507 |
---|---|
세부과제번호 | 2005-01274 |
연구과제명 | 생체기능모니터링을위한바이오센서연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200504~200703 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
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