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바이오 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015117116
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 바이오 센서에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 투명 게이트 영역을 갖는 트랜지스터를 이용한 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오 센서는 소스와 드레인이 이격되어 형성된 기판, 상기 기판의 상기 소스와 드레인 사이의 영역 상에 형성된 투명 게이트 영역 및 상기 투명 게이트 영역 상에 형성된 바이오 분자를 포함하는 것을 특징으로 한다. 투명 게이트, 트랜지스터, 바이오 센서, 광학적 검출, 전기적 검출
Int. CL G01N 35/00 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01) G01N 33/53 (2006.01)
CPC G01N 33/5302(2013.01)G01N 33/5302(2013.01)G01N 33/5302(2013.01)G01N 33/5302(2013.01)
출원번호/일자 1020080107504 (2008.10.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0997205-0000 (2010.11.23)
공개번호/일자 10-2010-0048380 (2010.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20101129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.31)
심사청구항수 38

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최양규 대한민국 대전 유성구
2 김창훈 대한민국 대전광역시 유성구
3 이유준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0757122-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.03.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0023099-73
4 등록결정서
Decision to grant
2010.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0514239-45
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소스와 드레인이 이격되어 형성된 기판; 상기 기판의 상기 소스와 드레인 사이의 영역 상에 형성된 투명 게이트 영역; 및 상기 투명 게이트 영역 상에 형성된 바이오 분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은, 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로만 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은, 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체가 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 두 가지 이상의 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
6 6
제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역의 최 하단부는 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
7 7
제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체는 산화규소(SiO2), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
8 8
제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 전도성을 갖는 투명 게이트 물질은 산화아연(ZnO), ITO(Indium Tin Oxide), 다이아몬드(Diamond) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 바이오 분자는 DNA, RNA, 단백질, 리간드, 항원-항체 물질, 효소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자 사이에 링커(linker)가 더 포함되고, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 링커(linker)는 아민(amine), 알데히드(aldehyde), 에폭시드(epoxide), 말레이미드(maleimide), 티올(thiol), 히드라진(hydrazine), NHS(N-hydroxysuccinimide) 중 적어도 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되기 전에, 상기 바이오 분자가 광 블로킹(blocking)층과 결합되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 광 블로킹(blocking)층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr)중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
14 14
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 소스와 드레인 상에 광 투명성이 없는 보호층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 보호층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr) 중 어느 하나인 금속, 상기 금속과 실리콘(Silicon)이 결합된 실러사이드(Silicide) 또는 비금속인 융기형 폴리실리콘(Polysilicon)중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
16 16
제 1 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 투명 게이트 영역의 양 측부에 절연층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
17 17
제 16 항에 있어서, 상기 절연층은 산화규소(SiO2), 질화실리콘(Si3N4), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중 적어도 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서
18 18
제 14 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 보호층이 형성된 후 상기 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
19 19
제 14 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 절연층이 형성된 후 상기 보호층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
20 20
(a)기판에 소스와 드레인을 이격하여 형성하는 단계; (b)상기 기판의 상기 소스와 드레인 사이의 영역 상에 투명 물질로 투명 게이트 영역을 형성하는 단계; 및 (c)상기 투명 게이트 영역 상에 바이오 분자를 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
21 21
제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로만 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
22 22
제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
23 23
제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체가 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
24 24
제 20 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역은 두 가지 이상의 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체와 두 가지 이상의 전도성을 갖는 투명 게이트 물질이 순차적으로 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
25 25
제 22 항 또는 제 24 항에 있어서, 상기 투명 게이트 영역의 최 하단부는 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
26 26
제 21 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절연 특성을 갖는 투명 게이트 유전체는 산화규소(SiO2), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
27 27
제 22 항 또는 제 24 항에 있어서, 상기 전도성을 갖는 투명 게이트 물질은 산화아연(ZnO), ITO(Indium Tin Oxide), 다이아몬드(Diamond) 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
28 28
제 20 항에 있어서, 상기 바이오 분자는 DNA, RNA, 단백질, 리간드, 항원-항체 물질, 효소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
29 29
제 20 항에 있어서, 상기 (b)단계 후 (c)단계 전에, 상기 투명 게이트 영역 상에 링커(linker)를 형성하는 단계를 더 포함하도록 하여, 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
30 30
제 29 항에 있어서, 상기 링커(linker)는 아민(amine), 알데히드(aldehyde), 에폭시드(epoxide), 말레이미드(maleimide), 티올(thiol), 히드라진(hydrazine), NHS(N-hydroxysuccinimide) 중 적어도 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
31 31
제 20 항에 있어서, 상기 (c)단계 전이고, 또한 상기 투명 게이트 영역과 상기 바이오 분자가 상기 링커(linker)에 의해 연결되기 전에, 상기 바이오 분자가 광 블로킹(blocking)층과 결합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
32 32
제 31 항에 있어서, 상기 광 블로킹(blocking)층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr) 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
33 33
제 20 항에 있어서, 상기 (b)단계 후 (c)단계 전이고, 상기 투명 게이트 영역 상에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 소스와 드레인 상에 광 투명성이 없는 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
34 34
제 33 항에 있어서, 상기 보호층은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 백금(Pt), 금(Au), 니켈(Ni), 에르븀(Er), 은(Ag), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd), 텅스텐(W), 탄탈(Ta), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 지르코늄(Zr) 중 어느 하나인 금속, 상기 금속과 실리콘(Silicon)이 결합된 실러사이드(Silicide) 또는 비금속인 융기형 폴리실리콘(Polysilicon) 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
35 35
제 20 항에 있어서, 상기 (b)단계 후 (c)단계 전이고, 또한 상기 투명 게이트 영역에 상기 바이오 분자 또는 상기 링커(linker)가 결합되기 전에, 상기 투명 게이트 영역의 양 측부에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
36 36
제 35 항에 있어서, 상기 절연층은 산화규소(SiO2), 질화실리콘(Si3N4), 알루미나(Al2O3), 하프늄 디옥사이드(HfO2), 지르코니아(ZrO2) 중 적어도 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
37 37
제 33 항에 있어서, 상기 보호층이 형성된 후 상기 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
38 38
제 35 항에 있어서, 상기 절연층이 형성된 후 상기 보호층이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.