요약 | 본 발명은 초소수성 및 초발수성 표면을 갖는 패턴 및 그 형성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초소수성 및 초발수성 표면을 갖는 패턴은 1㎛ 내지 50㎛의 지름과 0.5㎛ 내지 100㎛의 깊이를 갖는 복수의 마이크로보울이 균일하게 배열된 마이크로보울어레이를 포함한다. 본 발명에 따르면, 마이크로렌즈어레이 또는 마이크로보울어레이의 구조를 이용하여 초소수성 및 초발수성 표면을 구현할 수 있다. 초소수성, 초발수성, 나노구조, 마이크로렌즈, 마이크로보울, 마이크로-나노복합체, 표면개질 |
---|---|
Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01) |
CPC | G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080069132 (2008.07.16) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-0981313-0000 (2010.09.03) |
공개번호/일자 | 10-2010-0008579 (2010.01.26) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20100910) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.07.16) |
심사청구항수 | 8 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 최양규 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 윤준보 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 임매순 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
4 | 이주형 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
5 | 김동한 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.07.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0511568-31 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.10.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.11.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0062904-68 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.12.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0506590-00 |
5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.12.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0774359-86 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0774324-99 |
7 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2010.06.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0276589-93 |
8 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2010.07.06 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2010-0028658-99 |
9 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.09.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0390444-23 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 삭제 |
2 |
2 복수의 마이크로보울이 균일하게 배열된 마이크로보울어레이; 및 상기 마이크보울의 표면상에 형성된 나노구조체 또는 마이크로-나노복합체를 포함하고, 상기 마이크로보울의 지름과 깊이의 비율을 나타내는 종횡비는 0 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 삭제 |
5 |
5 삭제 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 복수의 마이크로렌즈가 균일하게 배열된 마이크로렌즈어레이; 및 상기 마이크렌즈의 표면상에 형성된 나노구조체 또는 마이크로-나노복합체를 포함하고, 상기 마이크로렌즈의 지름과 높이의 비율을 나타내는 종횡비는 0 |
9 |
9 삭제 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 삭제 |
12 |
12 삭제 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 (a) 포토 리소그래피 공정을 이용하여, 0 |
15 |
15 (a) 포토 리소그래피 공정을 이용하여, 0 |
16 |
16 삭제 |
17 |
17 (a) 포토 리소그래피 공정을 이용하여, 0 |
18 |
18 (a) 포토 리소그래피 공정을 이용하여, 0 |
19 |
19 삭제 |
20 |
20 (a) 기판 상에 마스킹 물질을 패터닝하고, 상기 패터닝된 마스킹 물질을 통해 상기 기판의 일면을 등방성 식각하여, 0 |
21 |
21 (a) 기판 상에 마스킹 물질을 패터닝하고, 상기 패터닝된 마스킹 물질을 통해 상기 기판의 일면을 등방성 식각하여, 0 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-0981313-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20080716 출원 번호 : 1020080069132 공고 연월일 : 20100910 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100902 청구범위의 항수 : 8 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 초소수성 및 초발수성 표면을 갖는 패턴 및 그 형성방법 존속기간(예정)만료일 : 20180904 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 178,500 원 | 2010년 09월 06일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 216,000 원 | 2013년 08월 30일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2014년 08월 27일 | 납입 |
제 6 - 7 년분 | 금 액 | 555,200 원 | 2015년 08월 26일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 282,800 원 | 2017년 08월 25일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.07.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0511568-31 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.10.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2009.11.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0062904-68 |
4 | 의견제출통지서 | 2009.12.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0506590-00 |
5 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.12.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0774359-86 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.12.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0774324-99 |
7 | 거절결정서 | 2010.06.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0276589-93 |
8 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2010.07.06 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2010-0028658-99 |
9 | 등록결정서 | 2010.09.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0390444-23 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1345072327 |
---|---|
세부과제번호 | R0A-2007-000-20028-0 |
연구과제명 | 나노소자를위한trans-scale융합기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200707~201206 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1350010507 |
---|---|
세부과제번호 | 2005-01274 |
연구과제명 | 생체기능모니터링을위한바이오센서연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200504~200703 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
과제고유번호 | 1345119673 |
---|---|
세부과제번호 | 2005-2001274 |
연구과제명 | 생체기능 모니터링을 위한 바이오센서 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200504~201403 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | BT(생명공학기술) |
[1020100036741] | 전계효과 트랜지스터의 게이트 유기 드레인 누설전류를 이용한 바이오센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020100019832] | 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080123751] | 융합 메모리 소자, 융합 메모리 소자의 제조방법 및 동작방법 | 새창보기 |
[1020080121159] | 커패시터리스 디램 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080107504] | 바이오 센서 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080103983] | 전계효과 트랜지스터의 기생 게이트 전계효과를 이용한 바이오 센서 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080095719] | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080080675] | 비휘발성 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080079567] | 비휘발성 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080069132] | 초소수성 및 초발수성 표면을 갖는 패턴 및 그 형성방법 | 새창보기 |
[1020080051403] | 저항변화메모리 및 제조방법 | 새창보기 |
[1020080049992] | 비휘발성 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020070116410] | 나노갭 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070096697] | 유전율 변화 전계효과 트랜지스터를 이용하는 바이오센서를갖는 약물 전달 장치 | 새창보기 |
[1020070096674] | 유전율 - 변화 전계효과 트랜지스터 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020070077740] | 커패시터리스 디램 특성과 저항변화물질에 의한 비휘발성메모리 특성을 갖는 비휘발성 디램 | 새창보기 |
[1020070045116] | 커패시터리스 디램 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020070042524] | 핀펫 구조의 디램 셀 트랜지스터 제조 방법 | 새창보기 |
[1020070036124] | [비휘발성 메모리 기반 저장장치]3차원 전면 게이트 구조를 갖는 비휘발성 디램 소자 기술 | 새창보기 |
[1020070012606] | 비휘발성 메모리 소자의 구동방법 | 새창보기 |
[1020060120333] | 비휘발성 메모리 소자와 그 제조방법 및 구동방법 | 새창보기 |
[1020060119559] | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020060083271] | 비 휘발성 메모리 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020060003922] | 폴리머 메모리 소자 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015117696][한국과학기술원] | 액적을 이용하여 나노 입자로부터 마이크로미터 크기의단분산 구형 입자를 제조하는 방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015112597][한국과학기술원] | ECAP 공정용 저하중 분리형 금형 | 새창보기 |
[KST2015112209][한국과학기술원] | 미세한 3차원 자유곡면 형성방법 | 새창보기 |
[KST2014061406][한국과학기술원] | 표면에 기능기를 가지는 전이금속 나노선 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015115320][한국과학기술원] | 나노 구조체의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015112812][한국과학기술원] | 블록공중합체의 나노구조와 일치하지 않는 형태의 표면패턴상에 형성되는 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014011526][한국과학기술원] | 1차원적 나노 구조체, 액정상 펩타이드 나노 구조체 및 이들의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015113610][한국과학기술원] | 타이타네이트 나노구조체 및 그의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015114766][한국과학기술원] | 사방십이면체 금 나노입자의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015118116][한국과학기술원] | 상압 플라스마를 이용한 수소저장용 카본나노튜브의 구조변화 방법 | 새창보기 |
[KST2015113158][한국과학기술원] | 단결정 게르마늄코발트 나노와이어, 게르마늄코발트 나노와이어 구조체, 및 이들의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015114361][한국과학기술원] | 유기물 포토레지스트 교차패턴을 이용하여 배향이 제어된 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015113270][한국과학기술원] | 고체상 자기조립을 이용한 펩타이드 나노구조체의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014046919][한국과학기술원] | 패턴형성방법 | 새창보기 |
[KST2015112500][한국과학기술원] | 무기질로 캡슐화한 광변색성 메조포러스 미립자 및 그제조방법 | 새창보기 |
[KST2017016972][한국과학기술원] | 전기방사 나노/마이크로 섬유 네트를 포함하는 나노구조체 필름 제조장치 및 이를 이용한 나노/마이크로 섬유 네트를 포함하는 나노구조체 필름 제조방법(A apparatus for manufacturing the film having nano-structure including nano/micro fiber network formed by electrospinning and a method for manufacturing the film having nano-structure including nano/micro fiber network formed by electrospinning) | 새창보기 |
[KST2015112334][한국과학기술원] | 탄소나노튜브 제조 방법 및 장치 | 새창보기 |
[KST2015113118][한국과학기술원] | 나노 결정질의 나노 다공성 전이금속 산화물의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015112243][한국과학기술원] | 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노입자 생성방법 및 생성장치 | 새창보기 |
[KST2015114427][한국과학기술원] | ITO 기판을 이용한 산화아연 나노선의 수직성장 방법 | 새창보기 |
[KST2015112392][한국과학기술원] | 미세바늘 어레이 제작방법 | 새창보기 |
[KST2015111519][한국과학기술원] | 금속간의 치환 반응을 이용한 코어-쉘 구조 및 혼합된합금 구조의 금속 나노 입자의 제조 방법과 그 응용 | 새창보기 |
[KST2015115222][한국과학기술원] | 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치 | 새창보기 |
[KST2015113280][한국과학기술원] | 패턴화된 구조를 가지는 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2017009390][한국과학기술원] | 나노 재료의 제조 방법(Method of fabricating nano material) | 새창보기 |
[KST2015115791][한국과학기술원] | 3차원 미세유체집속채널구조를 이용하는 균일한 미세 액적 및 단분산성 입자의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015115262][한국과학기술원] | 나노튜브 제조방법, 나노튜브 패턴 형성방법 및 그 방법에 의해 제조된 나노튜브 | 새창보기 |
[KST2015115060][한국과학기술원] | 미세유체채널 내의 나노선 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노선 및 이를 포함하는 미세유체소자 | 새창보기 |
[KST2015112930][한국과학기술원] | 에멀젼 화염 분무 열분해법을 이용한 입자 크기의 제어방법 | 새창보기 |
[KST2015114768][한국과학기술원] | 금속패턴 형성방법 | 새창보기 |
번호 | 심판번호(숫자) | 심판번호(문자) | 사건의표시 | 청구일 | 심결일자 |
---|---|---|---|---|---|
1 | 2010101005224 | 2010원5224 | 2008년 특허출원 제0069132호 거절결정불복 | 2010.07.06 | 2010.09.02 |