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1
제 1 전극;상기 제 1 전극 상에 형성된 실리콘 산화물층; 및상기 실리콘 산화물층 상에 형성된 이차원 물질층을 포함하는,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극은 메쉬(mesh) 전극인,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 전이금속 칼코게나이드계 물질 또는 rGO로 이루어진,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 실리콘 산화물층의 두께는 200nm 이하인,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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5 |
5
제 1 전극;상기 제 1 전극 상에 형성된 실리콘층;상기 실리콘층 상의 실리콘 산화물층; 및상기 실리콘 산화물층 상에 형성된 이차원 물질층을 포함하는,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 제 1 전극은 메쉬 전극인,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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7 |
7
제 5 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 전이금속 칼코게나이드계 물질 또는 rGO로 이루어진,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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8
제 5 항에 있어서,상기 실리콘 산화물층의 두께는 200nm 이하인,마찰전기 발전소자용 양전하 대전체
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9 |
9
제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 형성된 실리콘 산화물층; 및 상기 실리콘 산화물층 상에 형성된 이차원 물질층을 포함하는, 양전하 대전체; 및제 2 전극 상에 형성된 음전하 대전체를 포함하고,상기 양전하 대전체 및 상기 음전하 대전체는 짝을 이루며 서로 접촉 가능하도록 배치되는,마찰전기 발전소자
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 전극은 메쉬 전극인,마찰전기 발전소자
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제 9 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 전이금속 칼코게나이드계 물질 또는 rGO로 이루어진,마찰전기 발전소자
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12
제 9 항에 있어서,상기 실리콘 산화물층의 두께는 200nm 이하인,마찰전기 발전소자
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13
제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 형성된 실리콘층; 상기 실리콘층 상의 실리콘 산화물층; 및 상기 실리콘 산화물층 상에 형성된 이차원 물질층을 포함하는, 양전하 대전체; 및제 2 전극 상에 형성된 음전하 대전체를 포함하고,상기 양전하 대전체 및 상기 음전하 대전체는 짝을 이루며 서로 접촉 가능하도록 배치되는,마찰전기 발전소자
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제 13 항에 있어서,상기 제 1 전극은 메쉬 전극인,마찰전기 발전소자
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제 13 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 전이금속 칼코게나이드계 물질 또는 rGO로 이루어진,마찰전기 발전소자
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16
제 13 항에 있어서,상기 실리콘 산화물층의 두께는 200nm 이하인,마찰전기 발전소자
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