1 |
1
여과 필름; 상기 여과 필름 내부에 형성된 전도체; 및상기 여과 필름의 상기 전도체가 형성되지 아니하는 영역에 형성된 다수의 홀;을 포함하는 정전기 공기 필터에 있어서,상기 전도체는 유리질 탄소(glassy carbon)를 포함하는 것인,정전기 공기 필터
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 전도체는 상기 여과 필름의 일부가 탄화되어 상기 유리질 탄소로 변환되어 형성된 것인, 정전기 공기 필터
|
3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 전도체는 상기 여과 필름의 일부가 적외선 레이저 조사에 의한 광열효과(Photothermal Effect)에 의해 탄화되어 상기 유리질 탄소로 변환되어 형성된 것인, 정전기 공기 필터
|
4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 전도체 상에 전압이 인가되어 상기 홀 내부에 발생하는 전기장에 의해 미세 물질이 필터링 되는 것인, 정전기 공기 필터
|
5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 홀의 직경은 200 ㎛ 내지 2 mm 인 것인, 정전기 공기 필터
|
6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 여과 필름은 방향족 탄화 수소를 포함하는 것인, 정전기 공기 필터
|
7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 여과 필름은 폴리이미드, 폴리에테르이미드, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리노르보넨, 폴리아크릴레이트, 폴리비닐알콜, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르설폰, 폴리스타일렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리염화비닐, 폴리아미드, 폴리틸렌테레프탈레이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리디메틸실록산, 폴리페닐설파이드, 폴리에테르에테르케톤, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 정전기 공기 필터
|
8 |
8
여과 필름 상에 레이저를 조사하여 상기 여과 필름 내부에 전도체를 형성하는 단계; 및상기 여과 필름의 상기 전도체가 형성되지 아니하는 영역에 다수의 홀을 형성하는 단계를 포함하는 정전기 공기 필터의 제조 방법에 있어서,상기 레이저는 적외선 영역대의 파장을 가지는 것이고,상기 전도체는 상기 여과 필름의 일부가 탄화되어 형성된 유리질 탄소를 포함하는 것인,정전기 공기 필터의 제조 방법
|
9 |
9
제 8 항에 있어서, 상기 여과 필름(100)이 광열효과(Photothermal Effect)에 의해 탄화되어 유리질 탄소를 형성하는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
10 |
10
제 8 항에 있어서,상기 레이저의 레이저 포커스를 조절하여 상기 여과 필름 내에서 상기 전도체가 형성되는 깊이를 조절하는, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
11 |
11
제 8 항에 있어서,상기 레이저의 에너지 밀도에 따라 상기 여과 필름 내부에 형성되는 상기 전도체의 두께가 조절되는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
12 |
12
제 8 항에 있어서,상기 레이저를 이동시키며 조사하여 상기 전도체를 형성하는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
13 |
13
제 8 항에 있어서,상기 탄화된 전도체는 면저항이 감소하는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
14 |
14
제 13 항에 있어서,상기 레이저의 조사 시간에 따라 상기 면저항이 조절되는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
15 |
15
제 8 항에 있어서, 상기 홀을 형성하는 단계는 레이저 조사를 이용하여 수행되는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
16 |
16
제 15 항에 있어서,상기 레이저는 자외선 영역대의 파장을 가지는 것인, 정전기 공기 필터의 제조 방법
|
17 |
17
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 정전기 공기 필터를 포함하는, 공기 정화 장치
|
18 |
18
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 정전기 공기 필터를 포함하는, 마스크
|