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나노 와이어 배열 소자 제조방법

  • 기술번호 : KST2014000734
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노 와이어 배열소자의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 나노와이어 배열소자 제조방법은, (a)기판 상에 나노 와이어가 포함된 나노 와이어 용액을 도포하는 단계; (b)상기 기판 상에 형성된 나노 와이어를 스트라이프 형태로 패터닝하고 기판을 노출시켜 상기 스트라이프 형태의 제 1 식각 영역을 형성하는 단계; (c)상기 패터닝된 나노 와이어를 사이에 두고 드레인 전극선과 소스 전극선을 평행하게 형성하는 단계; (d)일단은 상기 드레인 전극선에 연결되며 적어도 하나의 나노 와이어와 접촉하는 복수의 드레인 전극 및 일단은 상기 소스 전극선에 연결되며 상기 드레인 전극과 접촉하는 나노 와이어에 접촉하는 복수의 소스 전극을 형성하는 단계; (e)한 쌍의 상기 드레인 전극 및 소스 전극 쌍들이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 드레인 전극 및 소스 전극 쌍 사이에 제 2 식각 영역을 형성하는 단계; (f)상기 기판상에 절연층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 절연층 상에 상기 나노 와이어와 접촉하는 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함한다.본 발명에 의하면 나노 와이어를 전극선과 평행하게 정렬하지 못하더라도 대규모 나노와이어 배열 소자를 구현할 수 있으므로, 정렬시키기 힘든 나노 와이어를 이용한 집적소자 및 디스플레이에도 본 발명을 적용할 수 있다. 나아가 플렉서블(flexible) 기판을 응용한 소자 분야에도 본 발명을 적용할 수 있다.나노 와이어, 트랜지스터 어레이, 선택적 식각, 선태적 패터닝
Int. CL H01L 29/78 (2011.01) B82Y 10/00 (2011.01)
CPC H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01)
출원번호/일자 1020070061440 (2007.06.22)
출원인 한국전자통신연구원, 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0877690-0000 (2008.12.31)
공개번호/일자 10-2008-0052250 (2008.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20090108) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020060122349   |   2006.12.05
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.22)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍열 대한민국 대전 유성구
2 문승언 대한민국 대전 유성구
3 김은경 대한민국 대전 유성구
4 박종혁 대한민국 대전 유성구
5 박강호 대한민국 대전 유성구
6 김종대 대한민국 대전 유성구
7 김규태 대한민국 서울 성북구
8 이재우 대한민국 서울 성북구
9 유혜연 대한민국 서울 성북구
10 허정환 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0452987-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5034712-96
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2008-0041226-49
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0395007-08
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0629159-59
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0629166-79
8 등록결정서
Decision to grant		 2008.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0645972-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.06.09 수리 (Accepted) 4-1-2009-5111177-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149278-93
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018243-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049934-62
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a)기판 상에 나노 와이어가 포함된 나노 와이어 용액을 도포하는 단계;(b)상기 기판 상에 형성된 나노 와이어를 스트라이프 형태로 패터닝하고 기판을 노출시켜 상기 스트라이프 형태의 제 1 식각 영역을 형성하는 단계;(c)상기 패터닝된 나노 와이어를 사이에 두고 드레인 전극선과 소스 전극선을 평행하게 형성하는 단계;(d)일단은 상기 드레인 전극선에 연결되며 적어도 하나의 나노 와이어와 접촉하는 복수의 드레인 전극 및 일단은 상기 소스 전극선에 연결되며 상기 드레인 전극과 접촉하는 나노 와이어에 접촉하는 복수의 소스 전극을 형성하는 단계;(e)한 쌍의 상기 드레인 전극 및 소스 전극 쌍들이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 드레인 전극 및 소스 전극 쌍 사이에 제 2 식각 영역을 형성하는 단계; (f)상기 기판상에 절연층을 형성하는 단계; 및(g)상기 절연층 상에 상기 나노 와이어와 접촉하는 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하는 나노 와이어 배열 소자 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 나노 와이어는 ZnO, GaN, SnO2, In2O3, V2O5 및 SiO2 중 어느 하나로 이루어지는 나노 와이어 배열 소자 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 드레인 전극선, 상기 소스 전극선, 상기 드레인 전극 및 상기 소스 전극은 Ti,Al,Ag,Au 및 Pt 중 어느 하나로 이루어지는 나노 와이어 배열 소자 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 나노 와이어 용액은 복수의 나노 와이어와 유기 용매가 혼합된 나노 와이어 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 유기 용매는 알코올 또는 이소프로필 알코올인 나노 와이어 소자 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 (b)단계 및 (e) 단계에서의 식각은E-빔 리소그래피 방법을 이용하여 이방성 식각을 하는 나노 와이어 소자 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 드레인 전극선, 소스 전극선, 드레인 전극, 소스 전극 및 게이트 전극은 E-빔 리소그래피 방법을 이용하여 형성하는 나노 와이어 소자 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 (c)단계에서 상기 드레인 및 소스 전극선 사이의 나노 와이어 중 일부 영역을 추가로 식각하는 단계를 더 포함하는 나노 와이어 소자 제조방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 식각은 E-빔 리소그래피 방법을 이용하여 이방성 식각을 하는 나노 와이어 소자 제조방법
10 10
제 1항에 있어서, 상기 (d)단계의 상기 드레인 전극과 소스 전극은 상기 드레인 전극선과 소스 전극선에 각각 수직으로 연결되고 상기 드레인 전극선과 소스 전극선 간 거리의 절반을 넘는 길이를 가지는 나노 와이어 소자 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07846786 US 미국 FAMILY
2 US20080233675 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2008233675 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7846786 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.