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실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법

  • 기술번호 : KST2014046905
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 제조장치 및 실리콘 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실리콘 제조장치는, 챔버, 챔버의 내부에 설치되고, 실리콘 용융액을 담고 있는 도가니, 도가니의 외측에 설치되고, 도가니를 가열하는 히터, 챔버 내부의 상부 표면에 연결되는 지그와, 그 일면이 지그에 연결되고, 그 타면 상에 소정 간격으로 이격되어 그 하부 방향으로 돌출되도록 복수 개의 돌출부가 형성된 플레이트를 포함하는 그라파이트 플러그, 복수 개의 돌출부가 실리콘 용융액의 표면과 접촉되거나 실리콘 용융액의 표면으로부터 인상되도록 그라파이트 플러그를 상하로 이동시키는 이동부를 포함한다. 실리콘 용융액, 도가니, 그라파이트 플러그, 분리 챔버
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC C30B 29/06(2013.01) C30B 29/06(2013.01) C30B 29/06(2013.01)
출원번호/일자 1020090084062 (2009.09.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1023022-0000 (2011.03.10)
공개번호/일자 10-2011-0026251 (2011.03.15) 문서열기
공고번호/일자 (20110324) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전 유성구
2 김성범 대한민국 대전 유성구
3 윤홍석 대한민국 충북 청주시 상당구
4 전강민 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0549767-89
2 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2009.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0549955-66
3 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0795701-59
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.01.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.02.22 수리 (Accepted) 9-1-2011-0017286-53
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0131784-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되고, 실리콘 용융액을 담고 있는 도가니; 상기 도가니의 외측에 설치되고, 상기 도가니를 가열하는 히터; 상기 챔버 내부의 상부 표면에 연결되는 지그와, 그 일면이 상기 지그에 연결되고, 그 타면 상에 소정 간격으로 이격되어 그 하부 방향으로 돌출되도록 복수 개의 돌출부가 형성된 플레이트를 포함하는 그라파이트 플러그; 및 상기 복수 개의 돌출부가 상기 실리콘 용융액의 표면과 접촉되거나 상기 실리콘 용융액의 표면으로부터 인상되도록 상기 그라파이트 플러그를 상하로 이동시키는 이동부; 를 포함하는, 실리콘 제조장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 돌출부는, 원 기둥 또는 다각 기둥의 형상인, 실리콘 제조장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 돌출부의 끝 단은, Si3N4 또는 BN(Boron Nitride)로 코팅된, 실리콘 제조장치
4 4
챔버 내에서 실리콘 알갱이를 제조하는 실리콘 제조방법이고, 상기 챔버 내에 설치된 도가니 내에 실리콘을 장입하는 장입단계; 상기 도가니를 가열하여 상기 실리콘을 용융시켜 실리콘 용융액을 만드는 용융단계; 상기 실리콘 용융액의 표면에 그라파이트 플러그의 복수 개의 돌출부를 접촉시켜 상기 실리콘 용융액을 부착시키는 부착단계; 상기 실리콘 용융액이 부착된 상기 복수 개의 돌출부를 상기 실리콘 용융액의 표면으로부터 인상되도록 상기 그라파이트 플러그를 이동시키는 이동단계; 및 상기 복수 개의 돌출부에 부착된 상기 실리콘 용융액을 분리하는 분리단계 를 포함하는, 실리콘 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.