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다중 미세형상을 제조하는 방법에 있어서,기판 위에 광경화 고분자를 도포한 후 광을 조사하여 광경화 고분자가 흐름성을 가지도록 하는 단계;흐름성을 가진 광경화 고분자 위에 연성몰드 하부에 원하는 형상을 얻을 수 있도록 스크린 마스크가 구비된 복합몰드를 접촉시켜 모세관 현상에 의해 광경화 고분자를 상기 복합몰드로 확산시켜 미세형상을 형성하는 단계;광경화 고분자가 복합몰드로 확산된 후 광을 조사하여 고분자를 경화시킨 다음 복합몰드를 제거하는 단계를 포함하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 기판은 실리콘, 반도체, 금속, 금속산화물, 유기물 중에서 선택된 어느 1종의 물질 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 광경화 고분자는 광개시제를 1
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제1항에 있어서, 광경화 고분자는 폴리스티렌, 폴리알파메틸스티렌, 폴리메틸메티크릴레이트, 폴리벤질메타크릴레이트, 폴리페닐메타크릴레이트, 폴리헥사네디올디아크릴레이트, 폴리우레탄 중에서 선택된 어느 하나 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 광경화 고분자는 메틸메타크릴레이트-벤질메타크릴레이트 공중합체, 스티렌-아크릴로니트릴 공중합체, 메틸메타크릴레이트-2,2,2트리플루오로에틸메타크릴레이트 공중합체, 메틸메타크릴레이트-2,2,3,3,3펜타플루오로프로필메타크릴레이트 공중합체, 2,2,2트리플루오로에틸메타크릴레이트-2,2,3,3,3펜타플루오로프로필메타크릴레이트 공중합체, 2,2,2트리플루오로에틸메타크릴레이트-(헥사플루오로이소메타크릴레이트) 공중합체, 스티렌-메틸메타크릴레이트 공중합체, 2,2,2트리플루오로에틸메타크릴레이트-(헵타플루오로부틸메타크릴레이트) 공중합체 중에서 선택된 어느 하나 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 광경화 고분자는 점도를 2000cP∼4000cP으로 유지하여 흐름성을 갖도록 함을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 복합몰드는 연성몰드와 스크린 마스크로 이루어진 것임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 연성몰드 하부에 스크린 마스크가 구비된 복합몰드를 광경화 고분자 위에 접촉시킴을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 복합몰드 중 스크린 마스크의 형상 크기는 연성몰드의 형상 크기 보다 큰 것을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 복합몰드 중 스크린 마스크의 형상 크기는 1∼200㎛ 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제1항에 있어서, 복합몰드 중 연성몰드의 형상 크기는 100nm∼20㎛ 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제7항에 있어서, 연성몰드의 재질은 폴리디메틸실록산, 폴리디헥실실록산, 폴리디페닐실록산, 폴리디프로필실록산, 폴리메틸페닐실록산, 폴리우레탄 중에서 선택된 어느 하나 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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제7항에 있어서, 스크린 마스크의 재질은 금속 또는 고분자 임을 특징으로 하는 다중 미세 형상의 제조방법
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다중 미세 형상을 기판에 전사하는 방법에 있어서, 특허청구범위 제1항의 방법에 의해 제조한 다중 미세 형상을 마스크로 사용함을 특징으로 하는 다중 미세 형상을 기판에 전사하는 방법
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다중 미세 형상을 기판에 전사하는 방법에 있어서, 특허청구범위 제1항의 방법에 의해 제조한 다중 미세 형상을 마스크로 사용함을 특징으로 하는 다중 미세 형상을 기판에 전사하는 방법
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