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대규모 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광
- 기술번호 : KST2014046902
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명에 따른 마스크리스 노광 방법은 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키기 위해, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하고, 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하며, 패턴 인스턴스 내에서, 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하고, 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성한다. 마스크리스 노광 방법은 스캔 데이터 중에서 점등 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 이렇게 래스터화된 스캔 데이터에 따라 다수의 포인트 광들이 이동 및 점멸함으로써 기판을 노광시킨다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/027 (2006.01) |
| CPC | G03F 7/704(2013.01) G03F 7/704(2013.01) G03F 7/704(2013.01) G03F 7/704(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090081843 (2009.09.01) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1042195-0000 (2011.06.10) |
| 공개번호/일자 | 10-2011-0024007 (2011.03.09) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110616) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.09.01) |
| 심사청구항수 | 21 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 신하용 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 신용철 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
| 3 | 이일랑 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 박세연 | 대한민국 | 전라남도 순천시 |
| 5 | 정병덕 | 대한민국 | 경상남도 합천군 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김강욱 | 대한민국 | 전북 전주시 덕진구 틀못*길**, 은빛빌딩 ***호(장동)(특허법인다해(전라도분사무소)) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.09.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0537460-42 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.02.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0094482-27 |
| 3 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.03.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0208327-19 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.03.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0208326-63 |
| 5 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.05.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0296280-94 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계; 상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계; 상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 상기 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하는 단계; 및 상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 방법 |
| 2 |
2 청구항 1에 있어서, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는 상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계; 상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및 상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 3 |
3 청구항 2에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는 상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계; 상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계; 상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계; 및 다른 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들의 계산을 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 4 |
4 청구항 3에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는 상기 패턴이 상기 기판에 대해 시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 아래 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 위쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및 상기 패턴이 상기 기판에 대해 반시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 위 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 아래쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 5 |
5 청구항 1에 있어서, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 6 |
6 청구항 1에 있어서, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고, 상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 7 |
7 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계; 상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계; 상기 포인트 광이 지나는 스캔 라인마다, 상기 스캔 라인이 통과하는 모든 패턴 인스턴스들 내의 슬라브들의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들 사이의 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및 상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 방법 |
| 8 |
8 청구항 7에 있어서, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는 상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계; 상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및 상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 9 |
9 청구항 8에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계; 상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계; 및 상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 10 |
10 청구항 7에 있어서, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 11 |
11 청구항 7에 있어서, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고, 상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 12 |
12 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 청구항에 포함된 단계들을 수행하여 스캔 데이터를 생성하는 제어부; 및 상기 스캔 데이터에 따라, 적재된 기판을 노광시키는 노광부를 포함하는 마스크리스 노광 장치 |
| 13 |
13 포인트 광 어레이에서 발생시킨 다수의 포인트 광들을 스캔 방향으로 이동시키면서 기판을 노광시키는 마스크리스 노광 방법으로서, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하는 단계; 상기 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 상기 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하는 단계; 상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 상기 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하는 단계; 상기 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성하는 단계; 상기 포인트 광 어레이에서 상기 스캔 데이터를 수신하는 단계; 및 상기 포인트 광 어레이에서 상기 스캔 데이터에 기초하여 상기 다수의 포인트 광들을 점멸시키는 단계를 포함하는 마스크리스 노광 방법 |
| 14 |
14 청구항 13에 있어서, 상기 슬라브들을 생성하는 단계는 상기 폴리곤을 이루는 선분들을 구하는 단계; 상기 스캔 방향에 평행하게 상기 폴리곤의 꼭지점들을 지나는 직선들에 의해 상기 폴리곤을 분할하는 단계; 및 상기 폴리곤을 분할하는 선분들과, 양쪽 경계를 이루는 선분들로써 슬라브들을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 15 |
15 청구항 14에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는 상기 패턴 인스턴스 내에서, 상기 스캔 라인들을 상기 슬라브들 위에 중첩하는 단계; 상기 스캔 라인이 통과하는 슬라브를 식별하는 단계; 상기 슬라브의 양쪽 선분과 상기 스캔 라인이 교차하는 점들을 각각 상기 스캔 조각의 시작 위치 및 종료 위치로써 계산하는 단계; 및 다른 패턴 인스턴스 내에서 스캔 조각들의 계산을 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 16 |
16 청구항 15에 있어서, 상기 스캔 조각들을 계산하는 단계는 상기 패턴이 상기 기판에 대해 시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 아래 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 위쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계; 및 상기 패턴이 상기 기판에 대해 반시계 방향으로 회전한 정렬 오류가 있을 경우에는, 좌측 열의 맨 위 행에 있는 패턴 인스턴스부터 스캔 조각들의 계산을 시작하여 아래쪽의 패턴 인스턴스들, 이어서 오른쪽 열에 있는 패턴 인스턴스들 순으로 지그재그로 스캔 조각들을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 17 |
17 청구항 13에 있어서, 상기 스캔 방향의 해상도에 따라, 상기 스캔 데이터 중에서 점멸 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 상기 다수의 포인트 광들은 상기 래스터화된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 18 |
18 청구항 13에 있어서, 상기 다수의 포인트 광들이 소정의 점멸 위치에 도달하는 데에 걸리는 시간차를 반영하여, 상기 스캔 데이터의 점멸 위치 정보를 시간축에 따라 재정렬하는 단계를 더 포함하고, 상기 다수의 포인트 광들은 상기 시간축에 재정렬된 스캔 데이터에 따라 점멸되는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 19 |
19 청구항 13에 있어서, 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계는 각 시간 프레임마다 모든 포인트 광들의 점멸 상태를 지시하는 정보를 포함하도록 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 20 |
20 청구항 13에 있어서, 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계는 상기 포인트 광들의 점멸 상태의 변화를 지시하는 정보를 포함하도록 상기 스캔 데이터를 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 방법 |
| 21 |
21 청구항 13 내지 청구항 20 중 어느 한 청구항에 포함된 단계들을 수행하여 스캔 데이터를 생성하는 제어부; 및 상기 스캔 데이터를 수신하고, 수신된 스캔 데이터에 따라 포인트 광 어레이에서 다수의 포인트 광들을 점멸시킴으로써, 적재된 기판을 노광시키는 노광부를 포함하는 마스크리스 노광 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1042195-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090901 출원 번호 : 1020090081843 공고 연월일 : 20110616 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110531 청구범위의 항수 : 21 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 대규모 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 432,000 원 | 2011년 06월 10일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 502,000 원 | 2014년 05월 21일 | 납입 |
| 제 5 - 7 년분 | 금 액 | 1,520,760 원 | 2015년 05월 26일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 449,000 원 | 2018년 05월 25일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 449,000 원 | 2019년 06월 03일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 697,500 원 | 2020년 05월 25일 | 납입 |
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- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.09.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0537460-42 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2011.02.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0094482-27 |
| 3 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.03.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0208327-19 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.03.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0208326-63 |
| 5 | 등록결정서 | 2011.05.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0296280-94 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술번호 | KST2014046902 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술원 |
| 기술명 | 대규모 폴리곤의 래스터화를 통한 마스크리스 노광 |
| 기술개요 |
본 발명에 따른 마스크리스 노광 방법은 다수의 포인트 광들을 이용하여 기판을 노광시키기 위해, 입력된 패턴에서 반복되는 패턴 인스턴스를 추출하고, 패턴 인스턴스 내의 폴리곤을 스캔 방향에 평행하게 세분하여 슬라브들을 생성하며, 패턴 인스턴스 내에서, 포인트 광이 지나는 매 스캔 라인마다, 포인트 광이 점등되는 구간인 스캔 조각들을 상기 슬라브들로부터 계산하고, 스캔 조각들의 위치 정보를 가지는 스캔 데이터를 생성한다. 마스크리스 노광 방법은 스캔 데이터 중에서 점등 위치 정보를 반올림 처리하여 래스터화된 스캔 데이터를 생성하는 단계를 더 포함하고, 이렇게 래스터화된 스캔 데이터에 따라 다수의 포인트 광들이 이동 및 점멸함으로써 기판을 노광시킨다. |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 기타 광학 기술 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1345096476 |
|---|---|
| 세부과제번호 | Kaist_KI_2009_2 |
| 연구과제명 | Mask가없는노광장비를위한대용량폴리곤의신속래스터화기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200905~201004 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
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