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진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법

  • 기술번호 : KST2015112954
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이 발명의 패턴제작방법은, 몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료(수지)를 진동을 부가하면서 충진하는 충진단계와, 액상의 패턴 재료가 충진된 몰드를 기판과 압착하는 압착단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 경화단계, 및 경화된 고상의 패턴을 몰드와 이형시키는 이형단계를 포함한다. 이 발명은 몰드를 이용하여 패턴을 형성하는 전사법(transfer method)에서 수지에 진동을 부가하여 수지와 몰드와의 계면에서의 마찰특성을 활성화시켜 효과적으로 수지를 충진시킴으로써 고종횡비의 미세패턴을 제작할 수 있다. 전사법, 몰드, 미세패턴, 모세관, 진동, 충진
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080036558 (2008.04.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0955453-0000 (2010.04.22)
공개번호/일자 10-2009-0111014 (2009.10.26) 문서열기
공고번호/일자 (20100429) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양동열 대한민국 대전 유성구
2 류승민 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0281343-92
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0445121-46
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0807496-96
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.12.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0807495-40
5 등록결정서
Decision to grant		 2010.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0031152-21
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료를 진동을 부가하면서 충진하되 상기 몰드 상에서 점진적으로 이동하면서 충진하는 충진단계와, 상기 액상의 패턴 재료가 충진된 상기 몰드를 기판과 압착하는 압착단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 경화단계, 및 경화된 고상의 패턴을 상기 몰드와 이형시키는 이형단계를 포함하며, 상기 충진단계에서는 상부에 진동을 부가하기 위한 진동자가 설치된 제1 코터(coater)를 사용하여 충진하고, 상기 충진단계를 통해 상기 액상의 패턴 재료를 상기 몰드 내에 충진한 후, 제2 코터를 사용해 잔류층 두께를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 제1 코터는 블레이드 코터(blade coater), 슬릿 코터(slit coater), 롤 코터(roll coater) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 진동자는 그 주기가 100Hz ∼ 100,000Hz 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법
5 5
삭제
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 충진단계에서는 상기 진동자가 상부에 각각 설치된 다수개의 제1 코터를 서로 겹치도록 배열한 상태에서, 상기 액상의 패턴 재료를 진동을 부가하면서 상기 몰드 내에 충진하는 것을 특징으로 하는 진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 충진단계는 롤러의 둘레면을 따라 형성된 패턴 내에 상기 액상의 패턴 재료를 진동을 부가하면서 충진하는 것을 특징으로 하는 진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.