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공간 광변조기를 이용한 리소그라피 방법

  • 기술번호 : KST2015113885
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공간 광변조기를 이용한 리소그라피 장치를 이용한 리소그라피 방법에 관한 것으로, 대상물에 일정 간격으로 빔을 조사하고, 일정 간격들의 사이 공간들에 추가로 빔을 조사하는 단계를 구비하며, 조사된 빔들이 임계 치를 넘는 부분만 전사되는 방식으로 광의 분해능의 한계 보다 미세한 패턴을 형성할 수 있는 리소그라피 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01)
출원번호/일자 1020100025301 (2010.03.22)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1250446-0000 (2013.03.28)
공개번호/일자 10-2011-0106079 (2011.09.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130408) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 Isnaeni 인도네시아 (***-***)대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정태훈 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
2 진수정 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
3 배성호 대한민국 경상북도 경산시 박물관로*길**, ***호(사동, 태화타워팰리스)(특허법인 티앤아이(경상북도분사무소))
4 오용수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0179846-88
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0416622-98
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0754272-03
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0843731-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0843732-69
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0181818-28
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0428547-85
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0517841-69
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0517839-77
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0732643-15
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0094360-99
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
13 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0203850-20
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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3 3
공간 광변조기를 이용한 리소그라피 방법에 있어서,대상물의 제1 영역에 공간 광변조된 빔을 조사하는 단계;추가로, 상기 대상물의 제2 영역에 공간 광변조된 빔을 조사하는 단계로서, 상기 제1 영역과 제2 영역은 적어도 일부분이 입체적으로 연결되어 있는 단계; 및 빔이 조사된 상기 대상물의 상기 제1 및 제2 영역 이외의 영역을 제거함으로써, 상기 대상물에 입체적인 형상을 전사하는 단계를 구비하는 공간 광변조기를 이용한 리소그라피 방법
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제3 항에 있어서,상기 대상물은 폴리머 계열 수지이고, 빔에 의해 조사된 상기 대상물의 상기 제1 및 제2 영역은 경화되는 공간 광변조기를 이용한 리소그라피 방법
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6 6
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.