1 |
1
반응로의 전단부에 위치한 할로겐화철을 함유하는 제1선구물질, 상기 반응로의 후단부에 위치한 규소(Si) 및 탄소(C)를 함유하는 제2선구물질, 상기 반응로의 후단부에 위치한 기판을 불활성 기체가 흐르는 분위기에서 열처리하여 상기 기판 상에 규화철 나노와이어가 제조되며, 상기 제2선구물질의 규소:탄소의 질량비에 의해 상기 기판상 형성되는 상기 규화철 나노와이어의 단축 방향과 장축 방향의 상대적 성장 속도가 제어되는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 제2선구물질의 규소:탄소의 질량비에 의해 상기 규화철 나노와이어의 단축 직경이 제어되는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
3 |
3
제 2항에 있어서,상기 제2선구물질의 규소:탄소의 질량비의 변화에 의해 일정한 조성 및 결정구조가 유지되며 단축 직경이 제어된 규화철 나노와이어가 제조되는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
4 |
4
제 1항에 있어서,상기 제2선구물질의 규소 함유량을 감소시켜 상기 규화철 나노와이어의 단축 직경을 감소시키는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
5 |
5
제 3항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 Fe1Si1인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
6 |
6
제 3항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 입방정계 B20형 구조(space group P213)인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
7 |
7
제 3항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 트윈을 포함한 면결함이 없는 단결정체인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
8 |
8
제 1항에 있어서,상기 제2선구물질의 규소 : 탄소의 질량비는 1:8~20인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
9 |
9
제 8항에 있어서,상기 규화철 나노와이어의 단축 직경은 50 내지 350nm인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
10 |
10
제 1항에 있어서,상기 기판 하부에 상기 제2선구물질이 위치하는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
11 |
11
제 1항에 있어서,상기 반응로 전단부는 450 ℃ 내지 600 ℃로 유지되며, 상기 반응로 후단부는 900 ℃ 내지 1000 ℃로 유지되는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
12 |
12
제 11항에 있어서,상기 불활성 기체는 반응로 전단부에서 반응로 후단부로 흐르며, 상기 불활성 기체의 유량은 100 내지 300 sccm인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
13 |
13
제 8항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 상기 기판 상에 에피텍샬(epitaxial) 성장한 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
14 |
14
제 13항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 상기 기판의 표면에 대해 일정한 배향성을 갖는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
15 |
15
제 13항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 상기 기판 상에 독립적으로 서 있는(free-standing)것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어의 제조방법
|
16 |
16
반응로의 전단부에 위치한 할로겐화철을 함유하는 제1선구물질, 상기 반응로의 후단부에 위치한 규소(Si) 및 탄소(C)를 함유하는 제2선구물질, 상기 반응로의 후단부에 위치한 기판을 불활성 기체가 흐르는 분위기에서 열처리하여 제조되며, 상기 제2선구물질의 규소:탄소의 질량비에 의해 단축 직경이 제어된 규화철 나노와이어이며, 상기 규화철 나노와이어는 상기 기판 상에 에피텍샬(epitaxial) 성장하여, 상기 규화철 나노와이어와 상기 기판이 에피텍샬 관계를 가지며, 상기 규화철 나노와이어는 상기 기판의 표면에 대해 둘 이상의 방향으로 서로 평행하게 배열된 배향성을 갖는 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어
|
17 |
17
제 16항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 Fe1Si1인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어
|
18 |
18
제 16항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 입방정계 B20형 구조(space group P213)인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어
|
19 |
19
제 16항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 트윈을 포함한 면결함이 없는 단결정체인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어
|
20 |
20
제 18항에 있어서,상기 규화철 나노와이어의 장축 방향은 [110]이며, 단축 직경은 50 내지 350nm인 것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어
|
21 |
21
삭제
|
22 |
22
제 16항에 있어서,상기 규화철 나노와이어는 상기 기판 상에 독립적으로 서 있는(free-standing)것을 특징으로 하는 규화철 나노와이어
|