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광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법, 이에 의하여 제조된 나노구조체 및 그 응용

  • 기술번호 : KST2015119176
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 투명 기판상에 방향성 광유체화 특성을 갖는 고분자로 이루어진 3차원 마이크로 패턴을 형성시키는 단계; 및 상기 형성된 3차원 마이크로 패턴에 광을 조사, 상기 고분자를 광유체화시켜 나노구조체를 형성하는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 조사되는 광의 종류, 조사 방향 또는 조사 각도에 따라 상기 3차원 고분자 패턴 상에 제조되는 나노구조체의 영역 또는 패턴이 제어되는 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법이 제공된다. 본 발명에 따르면, 높이가 다른 마이크로 패턴 표면에 방향성 광유체화 현상을 이용, 나노구조체를 선택적으로 기록/삭제할 수 있으며, 이로써 여러 개의 플라즈모닉 특성을 한곳으로 집적시켜, 규칙적으로 배열된 플라즈모닉 칼라필터/디스플레이의 실용화에 기여할 수 있다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0095(2013.01) B82B 3/0095(2013.01)
출원번호/일자 1020130075912 (2013.06.28)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1447085-0000 (2014.09.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141006) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.28)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정기 대한민국 대전광역시 유성구
2 강홍석 대한민국 대전광역시 유성구
3 이승우 대한민국 대전광역시 유성구
4 이솔아 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0585101-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0036790-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0445075-06
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0817075-29
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0817074-84
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0643901-04
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2014.09.26 수리 (Accepted) 2-1-2014-0530528-92
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명 기판 상에 방향성 광유체화 특성을 갖는 고분자로 이루어진 3차원 마이크로 패턴을 형성시키는 단계; 및상기 형성된 3차원 마이크로 패턴에 광을 조사, 상기 고분자를 광유체화시켜 나노구조체를 형성하는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 조사되는 광의 종류, 조사 방향 또는 조사 각도에 따라 상기 3차원 고분자 패턴 상에 제조되는 나노구조체의 영역 또는 패턴이 제어되며,상기 형성된 3차원 마이크로 패턴의 두께는 상기 조사되는 광을 투과시키지 않는 수준의 두께이며,상기 조사되는 광은 선형 편광 또는 원형 편광 중 어느 하나이며, 상기 조사되는 광이 선형 편광인 경우, 상기 선형 편광의 방향과 평행하게 상기 고분자가 광유체화되어 나노구조체가 형성되고, 상기 광이 원형 편광인 경우에는, 상기 형성된 나노구조체는 제거되며,상기 나노구조체의 형성 단계는 상기 3차원 마이크로 패턴 상에 상기 선형 편광을 조사함으로써 1차원의 나노 구조체를 형성하고, 상기 1차원의 나노 구조체가 형성된 마이크로 패턴을 90도 회전한 상태에서 상기 선형 편광을 다시 조사함으로써 상기 마이크로 패턴 상에 2차원 돔 형태의 나노 구조체를 형성하는 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
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제 1항에 있어서, 상기 투명 기판의 후면에 광을 조사하는 경우, 상기 광은 투명 기판의 상부에만 조사되는 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법
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제 5항에 있어서, 상기 방향성 광유체화 특성을 갖는 고분자로 이루어진 3차원 마이크로 패턴을 형성시키는 단계는, 상기 고분자를 상기 투명 기판 상에 도포하는 단계; 및 상기 도포된 고분자에 몰드를 임프린트하는 단계로 진행되는 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법
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제 1항에 있어서, 상기 조사 방향은 상기 투명 기판의 전면 또는 후면 방향인 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 조사 각도에 따라 상기 선형 편광에 의하여 형성되는 나노구조체의 주기가 결정되는 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법
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제 1항에 있어서, 상기 고분자는 아조벤젠기를 포함하는 선형고분자인 것을 특징으로 하는, 광유체화를 이용하여 마이크로 패턴 상에 나노구조체를 제조하는 방법
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제 1항 및 제 5항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 3차원 나노구조체
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제 1항 및 제 5항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 방법에 따라 3차원 나노구조체를 제조하는 단계; 및 상기 제조된 3차원 나노구조체 상에 금속을 적층하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 3차원 플라즈모닉 구조체 제조방법
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제 10항에 따른 3차원 나노구조체; 및 상기 3차원 나노구조체 상에 적층된 금속을 포함하며, 3차원 플라즈몬 구조체로서, 상기 플라즈몬 구조체는 조사되는 광에 대한 표면 플라즈몬 편광 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 3차원 플라즈몬 구조체
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제 12항에 있어서, 상기 플라즈몬 구조체는, 적어도 2개 이상의 상이한 플라즈몬 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 3차원 플라즈몬 구조체
14 14
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국과학기술원 일반연구자지원 패턴화된 극미세 나노 팁 어레이를 이용하여 SERS 기반의 바이오 이미징 소자 제작