요약 | 본 발명은 강유전체 폴리머(Ferroelectric Polymer)인 P(VDF-TrFE)로 이루어져, 소자의 특성을 개선시킨 강유전체 폴리머 나노도트 소자 및 그 제조를 위한 디웨팅 프로세스(Dewetting Process)에 관한 것으로, 강유전체 폴리머 나노도트 소자는 절연물질로 이루어진 기판, 기판 상면에 형성된 하부 전극, 하부 전극 상면의 일부 영역에 요철 구조로 형성되고, P(VDF-TrFE)로 이루어진 P(VDF-TrFE) 나노도트 및 P(VDF-TrFE) 나노도트 상면에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.나아가, 본 발명에 따른 강유전체 폴리머 나노도트 소자 제조를 위한 디웨팅 프로세스(Dewetting process)는 기판을 준비하는 단계, 기판 상면에 하부 전극을 형성하는 단계, P(VDF-TrFE) 폴리머 용액을 획득하는 단계, 하부 전극 상면에 P(VDF-TrFE) 폴리머 용액을 도포하는 단계, 어닐링(Annealing) 공정으로 P(VDF-TrFE) 나노도트를 획득하는 단계 및 P(VDF-TrFE) 나노도트 표면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
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Int. CL | B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020110023698 (2011.03.17) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-1276560-0000 (2013.06.13) |
공개번호/일자 | 10-2012-0105951 (2012.09.26) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20130624) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2011.03.17) |
심사청구항수 | 6 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 노광수 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 최윤영 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 오세훈 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
4 | 김동진 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
5 | 안건 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
6 | 김연태 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이준성 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0194173-01 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.05.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.06.25 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0051811-56 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.09.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0571265-72 |
5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.11.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0971637-88 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0971647-34 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
8 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2013.03.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0212402-01 |
9 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2013.04.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2013-0374585-44 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.04.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0374577-89 |
11 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2013.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0374359-89 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 절연물질로 이루어진 기판;상기 기판 상면에 형성된 하부 전극;상기 기판과 하부 전극 사이에 TiO2, ZrO2, Cr, Ti 중 어느 하나로 형성된 접착층;상기 하부 전극 상면의 일부 영역에 요철 구조로 형성되고, 150℃에서 어닐링(Annealing)하여 형성된 P(VDF-TrFE) 폴리머로 이루어진 P(VDF-TrFE) 나노도트를 포함하되,상기 P(VDF-TrFE) 나노도트는,표면 거칠기(Surface roughness)가 10㎚~25㎚ 범위에 속하고, 높이가 40㎚~100㎚ 범위에 속하며, 지름과 높이의 비가 2:1~4:1이고, 지름과 상기 나노도트의 간격비(Pitch)가 1:1~1:3인 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자 |
2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 강유전체 폴리머 나노도트 소자는,상기 나노도트 표면에 상부 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자 |
3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 하부 전극은,TI, Cr, Al, Ni, Ag, Pt, Au, La, In 또는 Sn 중 하나 또는 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자 |
4 |
4 제 1항에 있어서, 상기 P(VDF-TrFE) 나노도트는,지름이 100㎚~300㎚ 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자 |
5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 P(VDF-TrFE) 나노도트는,상기 하부 전극 상면에 반 구 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자 |
6 |
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10 |
10 제 2항에 있어서, 상기 상부 전극은,TI, Cr, Al, Ni, Ag, Pt, Au, La, In 또는 Sn 중 하나 또는 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자 |
11 |
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지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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특허 등록번호 | 10-1276560-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20110317 출원 번호 : 1020110023698 공고 연월일 : 20130624 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130530 청구범위의 항수 : 6 유별 : B82B 1/00 발명의 명칭 : 강유전체 폴리머 나노도트 소자 및 그 제조를 위한 디웨팅 프로세스 존속기간(예정)만료일 : 20170614 |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 139,500 원 | 2013년 06월 13일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 120,400 원 | 2016년 05월 26일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0194173-01 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.05.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2012.06.25 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0051811-56 |
4 | 의견제출통지서 | 2012.09.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0571265-72 |
5 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.11.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0971637-88 |
6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0971647-34 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
8 | 거절결정서 | 2013.03.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0212402-01 |
9 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2013.04.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2013-0374585-44 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.04.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0374577-89 |
11 | 등록결정서 | 2013.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0374359-89 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345076925 |
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세부과제번호 | 2008-314-D00172 |
연구과제명 | 고 압전 계수 물질의 1차원 나노 구조체 제작 및 에너지 발생 시스템 구현 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | SECRET PROJECT |
연구주관기관명 | SECRET PROJECT |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200807~201106 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345147940 |
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세부과제번호 | 2009-0081946 |
연구과제명 | 에너지 소자용 산화물 나노와이어 기술 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200906~201205 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345150316 |
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세부과제번호 | 2010-0015063 |
연구과제명 | 나노 구조를 이용한 고 전력밀도 polymer 압전체 소재 제조 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 201005~201504 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1345157378 |
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세부과제번호 | 2010-50223 |
연구과제명 | 휴먼인터페이스를 위한 촉각센서 및 제시기술 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200907~201406 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1415120574 |
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세부과제번호 | 20103020060010 |
연구과제명 | 압전 하베스팅을 이용한 미활용 수력에너지 회수기술 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한양대학교 산학협력단 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 201012~201211 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
[1020130060478] | 열전소자 집합체, 열전모듈, 온도센서, 펠티어 장치 및 열전모듈 제조방법 | 새창보기 |
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