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강유전체 폴리머 나노도트 소자 및 그 제조를 위한 디웨팅 프로세스

  • 기술번호 : KST2015118424
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 강유전체 폴리머(Ferroelectric Polymer)인 P(VDF-TrFE)로 이루어져, 소자의 특성을 개선시킨 강유전체 폴리머 나노도트 소자 및 그 제조를 위한 디웨팅 프로세스(Dewetting Process)에 관한 것으로, 강유전체 폴리머 나노도트 소자는 절연물질로 이루어진 기판, 기판 상면에 형성된 하부 전극, 하부 전극 상면의 일부 영역에 요철 구조로 형성되고, P(VDF-TrFE)로 이루어진 P(VDF-TrFE) 나노도트 및 P(VDF-TrFE) 나노도트 상면에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.나아가, 본 발명에 따른 강유전체 폴리머 나노도트 소자 제조를 위한 디웨팅 프로세스(Dewetting process)는 기판을 준비하는 단계, 기판 상면에 하부 전극을 형성하는 단계, P(VDF-TrFE) 폴리머 용액을 획득하는 단계, 하부 전극 상면에 P(VDF-TrFE) 폴리머 용액을 도포하는 단계, 어닐링(Annealing) 공정으로 P(VDF-TrFE) 나노도트를 획득하는 단계 및 P(VDF-TrFE) 나노도트 표면에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01) B82B 1/008(2013.01)
출원번호/일자 1020110023698 (2011.03.17)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1276560-0000 (2013.06.13)
공개번호/일자 10-2012-0105951 (2012.09.26) 문서열기
공고번호/일자 (20130624) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노광수 대한민국 대전광역시 유성구
2 최윤영 대한민국 대전광역시 유성구
3 오세훈 대한민국 대전광역시 유성구
4 김동진 대한민국 대전광역시 유성구
5 안건 대한민국 대전광역시 유성구
6 김연태 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0194173-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.25 수리 (Accepted) 9-1-2012-0051811-56
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0571265-72
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0971637-88
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0971647-34
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0212402-01
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.04.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0374585-44
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0374577-89
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0374359-89
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
절연물질로 이루어진 기판;상기 기판 상면에 형성된 하부 전극;상기 기판과 하부 전극 사이에 TiO2, ZrO2, Cr, Ti 중 어느 하나로 형성된 접착층;상기 하부 전극 상면의 일부 영역에 요철 구조로 형성되고, 150℃에서 어닐링(Annealing)하여 형성된 P(VDF-TrFE) 폴리머로 이루어진 P(VDF-TrFE) 나노도트를 포함하되,상기 P(VDF-TrFE) 나노도트는,표면 거칠기(Surface roughness)가 10㎚~25㎚ 범위에 속하고, 높이가 40㎚~100㎚ 범위에 속하며, 지름과 높이의 비가 2:1~4:1이고, 지름과 상기 나노도트의 간격비(Pitch)가 1:1~1:3인 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자
2 2
제 1항에 있어서, 상기 강유전체 폴리머 나노도트 소자는,상기 나노도트 표면에 상부 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자
3 3
제 1항에 있어서, 상기 하부 전극은,TI, Cr, Al, Ni, Ag, Pt, Au, La, In 또는 Sn 중 하나 또는 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자
4 4
제 1항에 있어서, 상기 P(VDF-TrFE) 나노도트는,지름이 100㎚~300㎚ 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자
5 5
제 4항에 있어서, 상기 P(VDF-TrFE) 나노도트는,상기 하부 전극 상면에 반 구 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
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10 10
제 2항에 있어서, 상기 상부 전극은,TI, Cr, Al, Ni, Ag, Pt, Au, La, In 또는 Sn 중 하나 또는 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 폴리머 나노도트 소자
11 11
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12 12
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13 13
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14 14
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15 15
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16 16
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17 17
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18 18
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