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미세유체채널 내의 나노선 제조방법으로, 상기 방법은 성장시키고자 하는 나노선 물질의 종자입자가 도포된 미세유체채널로 전구체 용액을 흘리는 단계; 상기 미세유체채널에 열을 인가하는 단계; 및 상기 미세유체채널 내에서 나노선을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 열 인가는 상기 미세유체채널 전체 영역에 대하여 수행되는 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 열 인가는 상기 미세유체채널의 특정 지점에 국소적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 나노선은 금속산화물 나노선인 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 금속산화물은 ZnO이며, 이때 상기 종자입자는 ZnO인 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 나노선 성장시 상기 미세유체채널 내의 전구체 용액은 끓는점 미만의 온도인 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조방법
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제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 미세유체 채널 내의 나노선
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제 7항의 미세유체채널 내의 나노선을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서
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제 8항에 있어서, 상기 센서는 상기 미세유체채널을 흐르는 용액의 화학 물질 또는 바이오 물질을 검출하는 것을 특징으로 하는 센서
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미세유체채널 내의 나노선 제조장치로서, 상기 장치는 가열 플레이트; 상기 가열 플레이트상에 구비된 하부 기판(210); 및 상기 하부 기판(210)에 결합됨으로써 미세유체채널(230)을 형성할 수 있는 일측 개방 채널이 형성된 상부 기재(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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제 10항에 있어서,상기 하부 기판(210)에는 성장시키고자 하는 나노선 물질의 종자입자가 도포된 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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제 11항에 있어서, 상기 종자입자는 용액 상태로 상기 하부 기판(210)상에 도포된 후 열처리된 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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제 11항에 있어서, 상기 종자입자는 전자빔증착방식으로 상기 하부 기판(210) 상에 도포된 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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제 10항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세유체채널의 양 단부에는 전구체 용액이 주입되는 주입부 및 배출부가 각각 수직 연결되는 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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미세유체채널 내의 나노선 제조장치로서, 상기 장치는 하부 기판(210); 및 상기 하부 기판(210)에 결합됨으로써 미세유체채널(230)을 형성할 수 있는 일측 개방 채널이 형성된 상부 기재(220); 및 상기 하부 기판(210) 상에 구비되어 상기 미세유체채널(230)을 가로지르는 하나 이상의 전극(310)을 포함하며, 여기에서 상기 전극으로 인가되는 전압에 의하여 상기 전극(310)에는 줄-열이 발생하는 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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제 15항에 있어서,상기 전극(310)에는 성장시키고자 하는 나노선 물질의 종자입자가 도포된 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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제 16항에 있어서, 상기 나노선은 ZnO인 것을 특징으로 하는 미세유체채널 내의 나노선 제조장치
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