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나노소재 전사방법, 나노소재 필름 제조방법, 장치 및 이에 의하여 제조된 나노소재 필름

  • 기술번호 : KST2015115076
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노소재 필름 전사방법, 나노소재 필름 제조방법, 장치 및 이에 의하여 제조된 나노소재 필름이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노소재 필름 전사방법은 나노소재가 여과물 형태로 흡착된 멤브레인 필터 전면을 기판에 접촉시키는 단계; 상기 멤브레인 필터 후면으로 진공을 인가하여, 상기 기판을 멤브레인 필터로 가압하는 단계; 및 상기 멤브레인 필터를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 진공박리(Vacuum Release) 방식의 전사공정을 포함한다. 즉, 멤브레인의 기공을 통해 제거된 공기압 저하에 따라 전체적으로 균일한 압력을 기판과 나소소재가 흡착된 멤브레인 필름에 전달 함으로써 나노와이어 및 나노소재를 원하는 기판으로 거의 100%에 가까운 효율로 전사할 수 있다는 장점이 있다.
Int. CL B29C 59/02 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B29C 59/026(2013.01) B29C 59/026(2013.01) B29C 59/026(2013.01) B29C 59/026(2013.01)
출원번호/일자 1020100126085 (2010.12.10)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1249593-0000 (2013.03.26)
공개번호/일자 10-2012-0064848 (2012.06.20) 문서열기
공고번호/일자 (20130401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.10)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고승환 대한민국 대전광역시 유성구
2 이승섭 대한민국 대전광역시 유성구
3 이필립 대한민국 대전광역시 유성구
4 이형만 대한민국 대전광역시 유성구
5 이진환 대한민국 대전광역시 유성구
6 여준엽 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0814380-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0014200-68
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0463510-19
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0749344-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0749343-63
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0058526-84
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2013.02.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0174373-36
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0174372-91
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2013.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0191373-26
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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나노소재 필름 제조방법으로, 상기 방법은멤브레인 필터로 용액 상태의 나노소재를 여과시키는 단계;기판을 전처리하여, 상기 나노소재와 상기 기판 사이의 접착력을 증가시키는 단계;상기 나노소재가 흡착된 멤브레인 필터 전면에 상기 기판을 접촉시키는 단계;상기 멤브레인 필터 후면으로 진공을 인가하여, 상기 기판을 멤브레인 필터로 가압하는 단계; 및 상기 멤브레인 필터를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 전처리는 상기 기판을 이온빔 처리하여 상기 나노소재와 기판과의 접착력을 증가시키는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 나노소재는 나노선, 나노튜브, 나노결정, 그래핀으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 멤브레인 필터 전면과 기판의 접촉은 상기 멤브레인 필터에 흡착된 나노소재가 상기 기판으로 전사되지 않는 수준에서 진행되는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 인가되는 진공은 상기 멤브레인 필터의 필터 기공을 통하여 상기 기판 상부와 멤브레인 필터 하부 사이의 압력차를 발생시키는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
11 11
제 10항에 있어서, 상기 멤브레인 필터 후면에는 다공성 지지대가 더 구비되며, 상기 지지대의 다공을 통하여 멤브레인 필터에 진공이 인가되는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
12 12
제 11항에 있어서, 상기 멤브레인 필터를 상기 기판으로부터 분리하는 단계는 상기 멤브레인 필터 후면으로 분리가스를 주입하는 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
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제 12항에 있어서, 상기 분리가스는 비활성가스 또는 공기인 것을 특징으로 하는 나노소재 필름 제조방법
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