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이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치

  • 기술번호 : KST2015115222
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 광원, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트, 상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진, 상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라 및 상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01) B82B 3/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020110042776 (2011.05.06)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1286455-0000 (2013.07.10)
공개번호/일자 10-2012-0125580 (2012.11.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.06)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 공홍진 대한민국 대전광역시 유성구
2 정병제 대한민국 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인대한 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 부봉빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2011-0335784-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0047657-71
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0102269-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0261160-37
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0261146-08
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0425544-15
9 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2013.07.10 수리 (Accepted) 2-1-2013-0364703-46
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
펨토초 레이저 광원;상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부; 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트;상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진;상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지;2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라; 및상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광전달부는,상기 펨토초 레이저 광원에서 출력된 레이저광을 반사하여 출력하는 제 1미러;상기 제 1미러로부터 반사된 반사광의 출력을 제어하기 위한 제 1반파장판;상기 제 1반파장판에 의해 출력이 제어된 레이저광이 상기 광원으로 반사되는 것을 차단하는 아이솔레이터;상기 아이솔레이터를 통과한 광의 출력을 제어하는 제 2반파장판;상기 제 2반파장판을 통과한 레이저광의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 편광빔스플리터;상기 편광빔스플리터에서 투과된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 하는 갈바노 셔터;상기 광선확장기에서 확장된 레이저광의 X축 및 Y축 위치를 이동시켜주는 X, Y축 갈바노미러 스캐너;상기 광선확장기에서 확장된 레이저광만을 반사하여 출력하는 제 2미러; 및상기 제 2미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하여 상기 광섬유에 조사하는 대물렌즈;를 포함하여 구성되는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 광선확장기는,상기 갈바노 셔터에서 반사되는 광을 확장시키는 제 1광선확장기;와,상기 X, Y축 갈바노미러 스캐너에서 반사되는 광을 확장시키는 확장시켜 상기 제 2미러로 제공하는 제 2광선확장기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 광섬유 마운트는,X, Y, Z축 상의 이동과 2축 기울기 조절이 가능하고,상기 광섬유를 파지하는 척을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
5 5
제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 스테이지는,상기 광섬유 마운트를 Z축 이동시키기 위한 PZT스테이지인 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
6 6
제 3항에 있어서, 상기 제 1광선확장기는, 상기 갈바노 셔터가 경로를 바꾸었을 때 반사광을 차단시켜 주는 핀홀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
7 7
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
8 8
제 2항에 있어서,상기 카메라를 통해 광섬유 단면을 촬영하기 위하여 상기 제 2미러를 투과하는 광을 반사시키는 제 3미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
9 9
펨토초 레이저 광원;상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부; 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트;상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진;상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지; 및상기 광전달부, 스테이지를 제어하는 단말기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 광전달부는,상기 펨토초 레이저 광원에서 출력된 레이저광을 반사하여 출력하는 제 1미러;상기 제 1미러로부터 반사된 반사광의 출력을 제어하기 위한 제 1반파장판;상기 제 1반파장판에 의해 출력이 제어된 레이저광이 상기 광원으로 반사되는 것을 차단하는 아이솔레이터;상기 아이솔레이터를 통과한 광의 출력을 제어하는 제 2반파장판;상기 제 2반파장판을 통과한 레이저광의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 편광빔스플리터;상기 편광빔스플리터에서 투과된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 하는 갈바노 셔터;상기 광선확장기에서 확장된 레이저광의 X축 및 Y축 위치를 이동시켜주는 X, Y축 갈바노미러 스캐너;상기 광선확장기에서 확장된 레이저광만을 반사하여 출력하는 제 2미러; 및상기 제 2미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하여 상기 광섬유에 조사하는 대물렌즈;를 포함하여 구성되는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
11 11
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
12 12
제 9항에 있어서,카메라를 통해 광섬유 단면을 촬영하기 위하여 상기 제 2미러를 투과하는 광을 반사시키는 제 3미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.