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나노 구조체의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015115320
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 구조체의 제조 방법은 볼록부와 오목부를 가지는 나노 패턴 틀 위에 복수개의 나노 입자를 도포하는 단계, 상기 나노 패턴 틀의 볼록부 위에 도포된 나노 입자를 대상 기판 위에 전사하여 나노 시드층 패턴을 형성하는 단계, 상기 대상 기판 위의 나노 시드층 패턴을 성장시켜 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020110042095 (2011.05.03)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1303855-0000 (2013.08.29)
공개번호/일자 10-2012-0124284 (2012.11.13) 문서열기
공고번호/일자 (20130904) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.03)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강현욱 대한민국 대전광역시 유성구
2 고승환 대한민국 대전광역시 유성구
3 성형진 대한민국 대전광역시 유성구
4 여준엽 대한민국 대전광역시 유성구
5 홍석준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0330580-27
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0095739-14
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0295199-47
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0295202-08
6 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0554872-67
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
볼록부와 오목부를 가지는 나노 패턴 틀 위에 복수개의 나노 입자를 도포하는 단계,상기 나노 패턴 틀의 볼록부 위에 도포된 나노 입자를 대상 기판 위에 전사하여 나노 시드층 패턴을 형성하는 단계,상기 대상 기판 위의 나노 시드층 패턴을 성장시켜 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하고,상기 나노 패턴 틀은 틀 형성용 기판 위에 감광막 패턴을 형성하는 단계,상기 틀 형성용 기판 및 감광막 패턴 위에 탄성 중합체를 도포하는 단계,상기 탄성 중합체를 경화시키고, 상기 틀 형성용 기판으로부터 분리하여 상기 나노 패턴 틀을 완성하는 단계를 포함하여 형성하는 나노 구조체의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에서,상기 나노 패턴 틀 위에 복수개의 나노 입자를 도포하는 단계는 상기 복수개의 나노 입자를 포함하는 시드 용액이 채워진 시드 용기 내부에 나노 패턴 틀을 위치시켜 나노 패턴 틀의 볼록부와 오목부 위에 나노 입자를 부착시키는 단계,상기 나노 패턴 틀을 세척하는 단계,상기 나노 패턴틀을 건조시키는 단계를 포함하는 나노 구조체의 제조 방법
4 4
제1항에서,상기 나노 시드층 패턴은 상기 나노 패턴 틀의 볼록부와 동일한 패턴을 가지는 나노 구조체의 제조 방법
5 5
제4항에서,상기 나노 시드층 패턴은 복수개의 나노 입자로 이루어진 나노 입자 유닛을 포함하며, 상기 나노 입자 유닛은 서로 이격되어 패턴을 이루는 나노 구조체의 제조 방법
6 6
제5항에서,상기 나노 입자는 성장하여 나노선을 형성하며, 상기 나노 입자 유닛은 성장하여 나노선 유닛을 형성하는 나노 구조체의 제조 방법
7 7
제6항에서,상기 나노 구조체는 상기 나노선 유닛의 패턴인 나노 구조체의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.