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레이저 조사를 이용한 나노패턴의 형성방법 및 이에 따라 형성되는 나노패턴

  • 기술번호 : KST2015115637
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저 조사를 이용한 나노패턴의 형성방법 및 이에 따라 형성되는 나노패턴에 관한 것으로, 상세하게는 나노입자 분산액을 이용하여 나노입자를 기판 상에 도포하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 나노입자가 도포된 기판을 건조시키는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 건조가 수행된 기판에 소정의 패턴영역을 따라 레이저를 조사하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 3에서 레이저가 조사된 기판을 세척하는 단계(단계 4);를 포함하는 나노패턴의 형성방법을 제공한다. 본 발명에 따른 레이저 조사를 이용한 나노패턴의 형성방법은 각각의 공정이 간단하고, 상온·대기압 조건에서 공정을 수행할 수 있어 공정비용을 절감할 수 있으며, 패턴 형성에 사용되는 물질에 제한이 없어 다양한 원료물질을 이용하여 패턴을 형성할 수 있다. 또한, Bottom-up 방식으로 나노패턴을 형성함에 따라 표면거칠기가 우수하고, 마스크나 마스터 금형과 같은 종래의 방식과는 달리 반복 정밀도가 우수하며, 패턴의 형상을 자유로이 변형시킬 수 있다. 나아가, 제조공정 중 발생하는 유해물질이 없으며, 잔여 나노입자를 재활용하는 것이 가능하며, 기판과 나노입자가 서로 상이한 재질이더라도 나노패턴을 용이하게 형성시킬 수 있다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) G02B 1/12 (2006.01)
CPC G02B 1/12(2013.01) G02B 1/12(2013.01) G02B 1/12(2013.01) G02B 1/12(2013.01) G02B 1/12(2013.01)
출원번호/일자 1020120002942 (2012.01.10)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1360086-0000 (2014.02.03)
공개번호/일자 10-2013-0081870 (2013.07.18) 문서열기
공고번호/일자 (20140212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전 유성구
2 강봉철 대한민국 대전 유성구
3 한승용 대한민국 대전 유성구
4 이후승 대한민국 대전 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0024425-59
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.03.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0014523-34
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0510043-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0796711-98
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0796712-33
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0058651-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노입자 분산액을 이용하여 나노입자를 기판상에 도포하되, 상기 나노입자는 TiO2, SiO2, MnO2, Fe2O3, ATO(Antimony Tin Oxide), BaSO4, BiOCl, CaCO3, Ca3(PO4)2, Co0
2 2
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 나노입자 분산액은 휘발성 유기용매에 나노입자를 분산시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 반사 방지용 나노패턴의 형성방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 휘발성 유기용매는 이소프로판올(Isopropanol), 1-부탄올(1-butanol), 톨루엔(toluene), 디클로로메탄(Dichloromethane), 테트라하이드로퓨란(Tetrahydrofuran, THF), 2-프로판올(2-propanol), 아세톤(Acetone) 및 디메틸포름아미드(dimethyformamide)를 포함하는 군으로부터 선택되는 1종 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 반사 방지용 나노패턴의 형성방법
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 기판의 재질은 SiO2, TiO2, ZnO, 유리, 실리콘 웨이퍼, 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트 및 폴리카보네이트를 포함하는 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 반사 방지용 나노패턴의 형성방법
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 단계 3의 레이저는 나노입자가 가지는 밴드갭보다 낮은 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 반사 방지용 나노패턴의 형성방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 단계 4의 세척은 세척용액 내에서 초음파를 가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 반사 방지용 나노패턴의 형성방법
9 9
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10 10
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11 11
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12 12
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13 13
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14 14
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15 15
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.