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코어-쉘 나노와이어 어레이, 코어-쉘 나노와이어 어레이 제조방법 및 그 응용소자
- 기술번호 : KST2015115890
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 코어-쉘 나노와이어가 제공된다. 본 발명에 따른 코어-쉘 나노와이어 어레이는, 기판과 평행한 형태의 나노와이어; 및 상기 나노와이어 상부에 코팅된 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따르면, 포토 리쏘그래피(Photo lithography)와 임프린트(imprint) 등과 같이, 기존의 모든 나노 스케일이 가능한 리쏘그래피(Lithography)를 이용하여 나노와이어 어레이 구조를 형성한 후 코어-쉘 나노와이어 어레이 구조를 형성할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/027 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120061067 (2012.06.07) |
| 출원인 | 한국과학기술원, 한국기계연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1398623-0000 (2014.05.16) |
| 공개번호/일자 | 10-2013-0137441 (2013.12.17) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140527) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.06.07) |
| 심사청구항수 | 10 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박인규 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 엄현진 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 정준호 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 정주연 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 다해 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 | |
| 2 | 한국기계연구원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.06.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0454192-24 |
| 2 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.06.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0460292-88 |
| 3 | 보정요구서 Request for Amendment |
2012.06.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2012-0076968-74 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0512202-43 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.09.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0670199-35 |
| 7 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.09.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0884543-11 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.11.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1085510-64 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.11.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1085514-46 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.04.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0288528-93 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 코어-쉘 나노와이어 제조방법으로, 상기 나노와이어 제조방법은, 하부 기판 및 상기 하부 기판 상에 적층된 수지층을 포함하는 기판의 상기 수지층 상에 양각 형태의 나노와이어 패턴을 형성하는 단계; 상기 나노와이어 패턴 상에 제 1 물질을 적층하여, 제 1 물질로 이루어진 나노와이어를 제조하는 단계; 및 상기 나노와이어 상부 및 측면에 제 2 물질을 코팅하여, 코어-쉘 구조의 나노와이어를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노와이어 제조방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 나노와이어 제조방법은,상기 코어-쉘 구조의 나노와이어를 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노와이어 제조방법 |
| 3 |
3 제 2항에 있어서, 상기 열처리하는 단계의 온도가 상기 수지층 녹는 점 이상인 경우, 상기 수지층은 녹아내림으로써, 상기 코어-쉘 구조의 나노와이어가 상기 기판에 바로 접합하는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노와이어 제조방법 |
| 4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 코어-쉘 나노와이어 제조방법은, 상기 제 1 물질로 이루어진 나노와이어를 제조하는 단계 이전, 상기 기판 상에 제 2 물질을 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노와이어 제조방법 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 제 2 물질은 상기 제 1 물질로 이루어진 나노와이어 하부면과 상부면을 포함하는 전면에 코팅되는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노와이어 제조방법 |
| 6 |
6 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 코어-쉘 나노와이어 |
| 7 |
7 제 6항에 따른 코어-쉘 나노와이어를 포함하는 응용소자로서, 상기 응용소자는 광촉매, 편광판, 투명전극, 태양전지 전극 및 염료감응태양전지 전극, 플렉서블 소자 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 응용소자 |
| 8 |
8 기판 상에 제 1 물질로 이루어진 나노와이어를 제조하는 단계; 및 상기 나노와이어 상부 및 측면에 제 2 물질을 코팅하여 열처리하는 단계를 포함하는 나노구조체 제조방법으로, 상기 방법은 상기 제 2 물질의 코팅 영역에 따라 상기 나노구조체 형태가 결정되며, 상기 열처리하는 단계에서, 상기 제 2 물질이 코팅되지 않는 상기 제 1 물질의 나노와이어는 절단되는 것을 특징으로 하는 나노구조체 제조방법 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서, 상기 열처리 온도는 상기 제 1 물질의 녹는 점 이상인 것을 특징으로 하는 나노구조체 제조방법 |
| 10 |
10 제 9항에 있어서, 상기 열처리 온도는 상기 제 2 물질의 녹는 점 미만인 것을 특징으로 하는 나노구조체 제조방법 |
| 11 |
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| 13 |
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| 15 |
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| 20 |
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| 21 |
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| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 한국기계연구원 | 교과부-국가연구개발사업(II) | 다층 대면적 멀티스케일 플라즈모닉스 나노구조 공정기술개발 |
| 2 | 교육과학기술부 | 한국과학기술원 | 교과부-기초과학연구사업 | 다기능성 고밀도 나노와이어 어레이 소자의 개발 및 바이오/환경에의 응용 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1398623-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120607 출원 번호 : 1020120061067 공고 연월일 : 20140527 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140428 청구범위의 항수 : 10 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 코어-쉘 나노와이어 어레이, 코어-쉘 나노와이어 어레이 제조방법 및 그 응용소자 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국기계연구원 대전광역시 유성구... |
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 217,500 원 | 2014년 05월 19일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 182,000 원 | 2017년 03월 08일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 130,000 원 | 2018년 04월 16일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 130,000 원 | 2019년 03월 11일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2020년 03월 09일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.06.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0454192-24 |
| 2 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.06.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0460292-88 |
| 3 | 보정요구서 | 2012.06.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2012-0076968-74 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 | 2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0512202-43 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2013.09.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0670199-35 |
| 7 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.09.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0884543-11 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.11.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1085510-64 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.11.27 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1085514-46 |
| 10 | 등록결정서 | 2014.04.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0288528-93 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345176335 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011-0031563 |
| 연구과제명 | 다층 대면적 멀티스케일 플라즈모닉스 나노구조 공정기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원(대전) |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201109~202008 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1415122441 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10033636 |
| 연구과제명 | 비노광 기반 나노구조체 제작기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 200906~201405 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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