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진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법

  • 기술번호 : KST2015119268
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 기재의 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법은, 임의의 인쇄 패턴이 형성된 인쇄부와 상기 인쇄부의 외곽을 따라 형성되며 상기 인쇄부보다 더 높게 돌출된 외곽부를 포함하는 가요성 스탬프를 준비하는 단계와, 상기 인쇄 패턴이 상기 기판과 대향하도록 상기 가요성 스탬프를 위치시키고, 상기 인쇄부는 상기 기판으로부터 이격되고 상기 외곽부는 상기 기판에 접촉하도록 안착시키는 단계와, 상기 가요성 스탬프의 일측으로부터 상기 인쇄부 내부의 공기를 배출시켜 상기 인쇄부를 상기 기판 상에 접촉시키는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020130020717 (2013.02.26)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1458074-0000 (2014.10.29)
공개번호/일자 10-2014-0106318 (2014.09.03) 문서열기
공고번호/일자 (20141105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성형진 대한민국 대전 유성구
2 강현욱 대한민국 대전 유성구
3 임주영 대한민국 대전 유성구
4 고승환 대한민국 대전 유성구
5 윤상열 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0173138-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0091552-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0270990-08
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0484630-48
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0484631-94
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0723311-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
임의의 인쇄 패턴이 형성된 인쇄부와 상기 인쇄부의 외곽을 따라 형성되며 상기 인쇄부보다 더 높게 돌출된 외곽부를 포함하는 가요성 스탬프를 준비하는 단계;상기 인쇄 패턴이 기판과 대향하도록 상기 가요성 스탬프를 위치시키고, 상기 인쇄부는 상기 기판으로부터 이격되고 상기 외곽부는 상기 기판에 접촉하도록 안착시키는 단계;상기 가요성 스탬프의 일측으로부터 상기 인쇄부 내부의 공기를 배출시켜 상기 인쇄부를 상기 기판 상에 접촉시키는 단계;를 포함하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 인쇄부는 오목부와 볼록부를 포함하고,상기 외곽부는 상기 인쇄부의 볼록부보다 더 높게 돌출된 것을 특징으로 하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 가요성 스탬프는 탄성중합체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 인쇄부를 상기 기판 상에 접촉시키는 단계는,상기 가요성 스탬프의 일측에 상기 인쇄부와 연통되는 배기구를 형성하고, 상기 배기구에 주사기를 연결하여 상기 인쇄부 내부의 공기를 배출시키는 것을 특징으로 하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 가요성 스탬프의 배기구는 마이크로 튜브를 통하여 상기 주사기와 연결되는 것을 특징으로 하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
6 6
제 4 항에 있어서,상기 주사기는 주사기 부피 컨트롤러에 연결되어 상기 인쇄부의 압력을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 기판 상에 마이크로 또는 나노 구조물의 돌출부를 형성하고, 상기 인쇄부는 평탄면으로 이루어지며,상기 인쇄부를 상기 기판 상에 접촉시키는 단계는,상기 인쇄부를 상기 돌출부에 접촉시키는 것을 포함하는 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.