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1
그래핀 나노 구조 용액의 제조방법에 있어서,
다층의 그래핀 위에 타겟 나노 구조를 흡착시키는 단계;
상기 흡착된 타겟 나노 구조를 마스크로 사용하여 비등방성 식각을 수행하고, 다층의 그래핀 나노 구조를 생성하는 단계;
상기 생성된 다층의 그래핀 나노 구조를 분산용매에 분산시켜, 그래핀 나노 구조가 분산된 용액을 생성하는 단계를 포함하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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2 |
2
제1항에 있어서,
상기 타겟 나노 구조는 산화물 나노 구조인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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3
제2항에 있어서,
상기 산화물 나노 구조는 반데르발스 힘으로 상기 다층의 그래핀 나노 구조 위에 흡착되는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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4
제2항에 있어서,
상기 산화물 나노 구조는 바나듐 옥사이드 나노선인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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5 |
5
제1항에 있어서,
상기 분산용매는
오-디클로벤젠인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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6 |
6
제1항에 있어서,
상기 분산용매는
1, 2, - 디클로로에탄인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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7 |
7
제1항에 있어서,
상기 분산용매는
폴리 (m-페닐렌비닐렌 -코-2,5-디오톡시-p-페닐렌비닐렌)인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 비등방성 식각은 상기 흡착된 타겟 나노 구조를 마스크로 사용하여 수행하는 이온 빔 식각인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 구조 용액의 제조방법
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9
그래핀 나노 소자의 제조방법에 있어서,
기판 위의 제1 영역에 소수성 분자막을 가지는 분자막 패턴을 형성하는 단계;
상기 소수성 분자막이 형성되지 않은 기판 위의 제2 영역에 그래핀 나노 구조를 정렬시키는 단계를 포함하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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10
제9항에 있어서,
상기 분자막 패턴은 포토리소그래피 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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11
제9항에 있어서,
상기 기판 위의 제2 영역에 친수성 분자막이 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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12 |
12
제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분자막 패턴이 형성된 기판을 그래핀 나노 구조가 분산된 용액에 침지하여, 상기 기판 위의 제2 영역에 그래핀 나노 구조를 정렬시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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13
그래핀 나노 소자의 제조방법에 있어서,
다층의 그래핀 위에 산화물 나노 구조를 흡착시키는 단계;
상기 흡착된 산화물 나노 구조를 마스크로 사용하여 비등방성 식각을 수행하고, 다층의 그래핀 나노 구조를 생성하는 단계;
상기 생성된 다층의 그래핀 나노 구조를 분산용매에 분산시켜, 그래핀 나노 구조가 분산된 용액을 생성하는 단계;
기판 위의 제1 영역에 소수성 분자막을 가지는 분자막 패턴을 형성하는 단계;
상기 분자막 패턴이 형성된 기판을 상기 그래핀 나노 구조가 분산된 용액에 침지하여, 상기 소수성 분자막이 형성되지 않은 기판 위의 제2 영역에 그래핀 나노 구조를 정렬시키는 단계를 포함하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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14
제13항에 있어서,
상기 산화물 나노 구조는 반데르발스 힘으로 상기 다층의 그래핀 나노 구조 위에 흡착되는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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15
제13항에 있어서,
상기 산화물 나노 구조는 바나듐 옥사이드 나노선인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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16
제13항에 있어서,
상기 분자막 패턴은 포토리소그래피 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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17
제13항에 있어서,
상기 기판 위의 제2 영역에 친수성 분자막이 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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18
제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 비등방성 식각은 상기 흡착된 산화물 나노구조를 마스크로 사용하여 수행하는 이온 빔 식각인 것을 특징으로 하는 그래핀 나노 소자의 제조방법
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