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물체 형상 측정장치
- 기술번호 : KST2015157478
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 본 발명에 따른 물체 형상 측정장치는, 피검사체를 수용하는 검사대; 입사광을 조사하는 광원부과, 광을 반사시키는 반사부와, 상기 입사광을 상기 검사대와 상기 반사부로 분배하며 상기 검사대와 반사부로부터 되돌아온 광의 간섭이 일어나는 분배부와, 상기 피검사체의 간섭 무늬를 감지하는 감지부를 포함하는 간섭계; 및 상기 검사대 및 상기 간섭계 중 적어도 하나에 대하여 회전운동 및 병진운동 중 적어도 하나가 이루어지도록 하여 다양한 각도에서 상기 피검체의 간섭 무늬를 감지할 수 있도록 하는 구동수단을 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01B 11/00 (2006.01) G01B 11/25 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) |
| CPC | G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080044445 (2008.05.14) |
| 출원인 | 삼성전기주식회사, 인하대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0992329-0000 (2010.10.29) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0118573 (2009.11.18) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20101105) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.05.14) |
| 심사청구항수 | 2 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전기주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 인하대학교 산학협력단 | 대한민국 | 인천광역시 미추홀구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 오범환 | 대한민국 | 인천광역시 연수구 |
| 2 | 이욱희 | 대한민국 | 경기 용인시 |
| 3 | 이민우 | 대한민국 | 인천광역시 부평구 |
| 4 | 임해동 | 대한민국 | 인천광역시 부평구 |
| 5 | 지원수 | 대한민국 | 경기도 안양시 동안구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인씨엔에스 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 인하대학교 산학협력단 | 대한민국 | 인천광역시 남구 |
| 2 | 삼성전기주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.05.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0341025-74 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5093865-89 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.02.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.03.18 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0015932-45 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220324-82 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.04.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0164821-43 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.06.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0396385-10 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.06.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0396384-75 |
| 9 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.10.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0460134-50 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5050935-32 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.07.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5098802-16 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.09.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5127132-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.03.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5036549-31 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266647-91 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5200786-38 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 피검사체를 수용하며, 회전 및 이동이 가능하도록 구성되는 검사대; 입사광을 조사하는 광원부와, 광을 반사시키는 반사부와, 상기 검사대와 상기 반사부로 입사광을 분배하며 상기 검사대와 반사부로부터 되돌아오는 광의 간섭을 일으키는 분배부와, 상기 분배부로부터 입사되는 간섭광에 의해 피검사체의 형상에 의해 발생하는 간섭 무늬를 감지하는 감지부를 포함하며, 회전 및 이동이 가능하도록 구성되는 간섭계; 다양한 각도에서 상기 피검사체에 의한 간섭 무늬가 발생하도록 상기 검사대 및 상기 간섭계가 회전 및 이동이 이루어지도록 하는 구동수단; 상기 감지부 및 구동수단과 연결되며, 상기 검사대 및 간섭계가 회전 및 이동 이 이루어지면서 발생시키는 간섭 무늬의 정보를 상기 감지부로부터 제공받고, 상기 검사대 및 간섭계 중 적어도 하나 이상이 회전 및 이동되는 정보를 구동수단으로부터 제공받아 상기 피검사체의 형상을 구현하는 제어부; 를 포함하는 물체 형상 검사장치 |
| 2 |
2 제1항에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 검사대를 복수개의 축 방향에 대한 자유도로 회전 및 이동시키는 제1구동장치 및 상기 간섭계를 복수개의 축 방향에 대한 자유도로 회전 및 이동시키는 제2구동장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 물체 형상 검사장치 |
| 3 |
3 삭제 |
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4 삭제 |
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5 삭제 |
| 6 |
6 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0992329-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080514 출원 번호 : 1020080044445 공고 연월일 : 20101105 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101015 청구범위의 항수 : 2 유별 : G01B 11/25 발명의 명칭 : 물체 형상 측정장치 존속기간(예정)만료일 : 20171030 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 인하대학교 산학협력단 인천광역시 남구... |
| 1 |
(권리자) 삼성전기주식회사 경기도 수원시 영통구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 123,000 원 | 2010년 10월 29일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 100,800 원 | 2013년 11월 21일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 84,000 원 | 2014년 08월 18일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 84,000 원 | 2015년 10월 01일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 176,000 원 | 2016년 10월 31일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.05.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0341025-74 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5093865-89 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.02.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2009.03.18 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0015932-45 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.11.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5220324-82 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2010.04.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0164821-43 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.06.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0396385-10 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.06.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0396384-75 |
| 9 | 등록결정서 | 2010.10.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0460134-50 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5050935-32 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.07.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5098802-16 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.09.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5127132-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.03.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5036549-31 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266647-91 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5200786-38 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1350021749 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R11-2003-022-01002-0 |
| 연구과제명 | VLSI-Photonics요소기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 인하대학교 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200308~200902 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1345119765 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0079531 |
| 연구과제명 | VLSI형 나노 광자회로 O-PCB 요소기술 개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 인하대학교 산학협력단 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200308~201202 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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