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기판;상기 기판 상에 배치된 제1 전극;상기 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극과 이격되어 배치된 제2 전극;상기 제1 전극에 전기적으로 연결되어 고정된 일 단과 상기 기판 상에서 공중부유된 타단을 포함하는 제1 나노와이어, 상기 제1 나노와이어의 상면에 배치된 절연 부재, 및 상기 절연 부재의 상면에 배치된 제2 나노와이어를 포함하는 공중부유형 나노와이어; 및상기 제2 전극으로부터 연장되고, 상기 제2 나노와이어 상에 배치된 연장 전극;을 포함하는, 공중부유형 나노와이어 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 절연 부재의 길이는, 상기 제1 나노와이어보다 더 짧고,상기 제2 나노와이어의 길이는, 상기 절연 부재의 길이와 같거나 더 짧은, 공중부유형 나노와이어 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 제1 나노와이어는 발열체인, 공중부유형 나노와이어 어레이
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제 1 항에 있어서, 상기 공중부유형 나노와이어는 복수이고,상기 복수의 공중부유형 나노와이어 중 인접한 두 개의 공중부유형 나노와이어는 소정 간격만큼 떨어져 배치되고,상기 두 개의 공중부유형 나노와이어의 두 개의 제1 나노와이어 사이의 듀티비는 2
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제 1 항에 있어서,상기 제1 나노와이어와 상기 제2 나노와이어의 재질은, 금속 또는 금속산화물이고,상기 제1 나노와이어의 재질과 상기 제2 나노와이어의 재질은 서로 다른, 공중부유형 나노와이어 어레이
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제 1 항에 있어서,상기 절연 부재는, 절연 와이어이고,상기 절연 와이어는, 상기 제1 나노와이어의 상면 전체와 측면의 일부를 커버하고, 상기 제2 나노와이어는 상기 절연 부재의 상면에 배치된, 공중부유형 나노와이어 어레이
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7
제 1 항에 있어서,상기 절연 부재는, 절연 박막이고,상기 공중부유형 나노와이어는 복수이고,상기 절연 박막은 위로 볼록한 제1 볼록부와 아래로 볼록한 제2 볼록부를 포함하고,상기 제1 볼록부는 복수의 제1 나노와이어 상에 배치되고, 상기 제2 볼록부는 인접한 두 개의 제1 나노와이어 사이에 배치된, 공중부유형 나노와이어 어레이
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8
제 1 항에 있어서,상기 공중부유형 나노와이어는 복수이고,상기 복수의 공중부유형 나노와이어의 제1 나노와이어들 상에 배치된 제1 공중부유형 전극; 및 상기 복수의 공중부유형 나노와이어의 제2 나노와이어들 상에 배치된 제2 공중부유형 전극;을 더 포함하는, 공중부유형 나노와이어 어레이
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삭제
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 기판은, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 각각 배치된 돌출부들을 포함하는, 공중부유형 나노와이어 어레이
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13
나노그레이팅 기판의 소정 개수의 돌출부 상에 포토리소그래피 기법 또는 섀도 마스크 기법을 사용하여 제1 나노와이어를 형성하고, 상기 제1 나노와이어 상에 상기 포토리소그래피 기법 또는 상기 섀도 마스크 기법을 사용하여 순차적으로 절연 부재와 제2 나노와이어를 증착하는 나노와이어 형성 단계;패터닝 기법 또는 상기 섀도 마스크 기법을 사용하여 상기 제1 나노와이어들과 전기적으로 연결되는 제1 전극부와 상기 제2 나노와이어들과 전기적으로 연결되는 제2 전극부를 형성하는 전극 형성 단계; 및상기 나노그레이팅 기판을 상면에서 하면 방향으로 소정 두께만큼 식각하는 식각 단계;를 포함하는, 공중부유형 나노와이어 어레이의 제조 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 전극 형성 단계는,상기 제1 나노와이어들 상에 제1 도킹 전극을 형성하고, 상기 제2 나노와이어들 상에 제2 도킹 전극을 형성하고,상기 제1 전극부에 상기 제1 나노와이어들 각각의 일단이 연결되도록 하고,상기 제2 나노와이어들 상에 상기 제2 전극부으로부터 연장된 연장 전극을 형성하는, 공중부유형 나노와이어 어레이의 제조 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 전극 형성 단계는,상기 제1 나노와이어들 각각의 일단을 상기 제1 전극부의 제1 전극과 연결하고, 타단을 상기 제1 전극부의 제2 전극과 연결시키고,상기 제2 나노와이어들 상에 상기 제2 전극부으로부터 연장된 연장 전극을 형성하는, 공중부유형 나노와이어 어레이의 제조 방법
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