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플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법(Alloy nano islands forming method for surface plasmon resonance)

  • 기술번호 : KST2018000222
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 비젖음 현상을 이용하여 나노 구조체를 형성하되 복수의 박막이 적층된 상태에서 비젖음 현상이 일어나도록 함으로써 자연스럽게 합금 나노 섬이 형성되도록 하는, 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법을 제공함에 있다. 더 나아가서는, 본 발명의 목적은, 상술한 바와 같은 방식을 통해 합금 재질을 원하는 대로 조절할 수 있도록 함으로써 궁극적으로는 단일 표면 플라즈몬 공명 밴드를 원하는 대로 변조할 수 있도록 하는, 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법을 제공함에 있다.
Int. CL B82B 3/00 (2016.07.28) B82Y 15/00 (2016.07.28) C22F 1/00 (2016.07.28) G01J 3/44 (2016.07.28) G01N 21/552 (2016.07.28)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020160079003 (2016.06.24)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0000831 (2018.01.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정기훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 강민희 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영섭 대한민국 대전광역시 유성구
4 안명수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0610696-98
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2016-0615781-32
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0824405-18
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0075260-14
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0189503-10
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0285055-86
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0285070-61
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0513068-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판(100) 상에 플라즈몬 공명을 위한 금속 나노섬을 형성하되, 나노섬의 재질인 금속이 합금으로 되는 합금 나노섬 형성 방법에 있어서,상기 기판(100) 상에 나노 레벨의 1차 금속 박막(101)이 형성되는 단계; 상기 1차 금속 박막(101) 상에 나노 레벨의 2차 금속 박막(102)이 형성되는 단계; 를 포함하는 복수 박막 적층 단계와,상기 복수 박막 적층 단계에 의해 상기 기판(100) 상에 형성된 금속 박막 적층체(110)에 열처리 공정이 수행되어 비젖음 현상이 유발되는 단계; 상기 금속 박막 적층체(110)를 이루는 금속 나노 입자들이 비젖음 현상에 의해 혼합 및 응집되어 합금 나노섬(120)이 형성되는 단계; 를 포함하는 합금 나노섬 형성 단계를 포함하되,상기 1차 금속 박막(101)을 이루는 금속과 상기 2차 금속 박막(102)을 이루는 금속은 상이하고,상기 금속 박막 적층체(110)를 이루는 각 금속의 박막 두께를 조절함으로써 플라즈몬 공명 파장이 변조되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 복수 박막 적층 단계는,n차 금속 박막 상에 나노 레벨의 n+1차 금속 박막이 형성되는 단계(n은 2 이상의 자연수);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 합금 나노섬 형성 방법은,상기 금속 박막 적층체(110)를 이루는 각 금속 재질에 따른 표면 플라즈몬 공명 파장 값들 사이에서 플라즈몬 공명 파장이 변조되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 복수 박막 적층 단계는,열 증착, 전자빔 증착, 스퍼터링 증착 중 선택되는 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 금속 박막 적층체(110)가 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 합금 나노섬 형성 방법은,히터로 열을 가하거나 또는 레이저를 주사하여 열처리 공정이 수행되어 상기 합금 나노섬(120)이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 합금 나노섬 형성 방법은,상기 금속 박막 적층체(110)를 이루는 각 금속이 금, 은, 백금, 팔라듐, 알루미늄, 철, 아연, 구리, 주석, 청동, 황동, 니켈 중 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈몬 공명을 위한 합금 나노섬 형성 방법
8 8
삭제
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1 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플랫폼 개발(2단계/2차년)
2 보건복지부 한국과학기술원 의료기기기술개발사업 초소형 광학생검용 현미내시경 프루브 및 다기능 광학이미징 시스템 및 마이크로광학기술 개발
3 미래창조과학부 고려대학교 글로벌프론티어사업 스마트 내시현미경센서 시스템