| 1 |
1
기판 위에 박막을 증착하는 단계; 목표 패턴의 박막을 얻기 위해 레이저 또는 도구를 이용하여 상기 박막에 패터닝하는 단계; 상기 목표 패턴의 박막에 마스킹(Masking)을 하는 단계; 마스킹이 완료된 후, 상기 박막에 표면처리를 하여 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하는 단계; 선택적으로 표면처리가 완료되어 젖음 특성이 달라진 상기 박막의 표면을 액상 물질에 담금에 따라 상기 박막과 상기 기판 사이의 계면을 박리할 수 있는 균열 열림 힘이 가해져 상기 목표 패턴의 박막이 박리되는 단계; 및 상기 목표 패턴의 박막이 상기 액상 물질에 플로팅(Floating) 상태일 때, 목표 기판을 상기 액상 물질에 담근 후 들어올리면서 플로팅된 상기 목표 패턴의 박막을 떠올려(Scoop-up) 전사하는 단계를 포함하는, 선택적 전사 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 목표 패턴의 박막에 마스킹을 하는 단계는, 표면처리 효과를 차단할 수 있는 물질을 이용하여 상기 목표 패턴의 박막에 마스킹을 하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 박막에 표면처리를 하여 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하는 단계는, 마스킹이 완료된 시료에 표면처리를 함에 따라 상기 마스킹이 완료되어 표면처리에 노출되지 않는 상기 목표 패턴의 박막은 본래의 소수성(Hydrophobic) 특성을 보유하도록 하고, 표면처리에 노출되는 상기 목표 패턴 형상을 제외한 영역의 박막은 친수성(Hydrophilic) 특성을 갖게 되어, 박막의 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 목표 패턴의 박막이 박리되는 단계는, 소수성(Hydrophobic) 특성의 상기 목표 패턴의 박막의 경우, 상기 액상 물질에 의해 상기 목표 패턴의 박막과 상기 기판 사이의 계면을 박리할 수 있는 충분한 균열 열림 힘이 가해져 박리가 진행되고, 친수성(Hydrophilic) 특성의 상기 목표 패턴 형상을 제외한 영역의 박막의 경우, 상기 액상 물질과 박막 표면 사이의 메니스커스 라인(Meniscus Line)의 형성 각도가 변화되어 균열을 개시하기 위한 힘이 줄어들게 되어 박리가 진행되지 않는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 목표 기판을 상기 액상 물질에 담근 후 들어올리면서 플로팅된 상기 목표 패턴의 박막을 떠올려(Scoop-up) 전사하는 단계는, 소정 두께 이하의 얇은 이차원 재료의 경우, 단일 박막층이 균열 없이 물 위에 플로팅하기에 불안정하여 PMMA(poly-methyl methacrylate)의 희생층을 활용하여 보호 후 전사하며, 전사 공정 후 희생층을 제거하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,선택적 전사 공정을 반복적으로 수행하여 다양한 형상의 특수 패턴을 적층한 2D 이종구조를 획득하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 목표 패턴의 박막이 박리되는 단계는, 복수개의 박막에 대해 박리 과정을 반복적으로 수행하여 수면 위에 플로팅 시키는 단계; 및 플로팅된 상기 복수개의 박막을 수면 위에서 조립하는 단계를 포함하고, 상기 목표 기판을 상기 액상 물질에 담근 후 들어올리면서 플로팅된 상기 목표 패턴의 박막을 떠올려(Scoop-up) 전사하는 단계는, 상기 목표 기판을 상기 액상 물질에 담근 후 들어올리면서 플로팅 후 조립된 상기 복수개의 박막을 떠올려(Scoop-up) 전사하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 8 |
8
기판 위에 박막을 증착하는 단계; 목표 패턴의 박막을 얻기 위해 레이저 또는 도구를 이용하여 상기 박막에 패터닝하는 단계; 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막에 마스킹(Masking)을 하는 단계; 마스킹이 완료된 후 상기 박막에 표면처리를 하여 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하는 단계; 선택적으로 표면처리가 완료되어 젖음 특성이 달라진 상기 박막의 표면을 액상 물질에 담금에 따라 상기 박막과 상기 기판 사이의 계면을 박리할 수 있는 균열 열림 힘이 가해져 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막이 박리되는 단계; 및 상기 기판 위에 남아 있는 상기 목표 패턴의 박막을 접착력의 차이를 이용하여 전사하는 단계 를 포함하는, 선택적 전사 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막에 마스킹을 하는 단계는, 표면처리 효과를 차단할 수 있는 물질을 이용하여 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막에 마스킹을 하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서,상기 박막에 표면처리를 하여 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하는 단계는, 마스킹이 완료된 시료에 표면처리를 함에 따라 상기 마스킹이 완료되어 표면처리에 노출되지 않는 상기 목표 패턴 형상을 제외한 영역의 박막은 본래의 소수성(Hydrophobic) 특성을 보유하도록 하고, 표면처리에 노출되는 상기 목표 패턴의 박막은 친수성(Hydrophilic) 특성을 갖게 되어, 박막의 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 11 |
11
제8항에 있어서,상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막이 박리되는 단계는, 소수성(Hydrophobic) 특성의 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막의 경우, 상기 액상 물질에 의해 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막과 상기 기판 사이의 계면을 박리할 수 있는 충분한 균열 열림 힘이 가해져 박리가 진행되고, 친수성(Hydrophilic) 특성의 상기 목표 패턴 형상의 박막의 경우, 상기 액상 물질과 박막 표면 사이의 메니스커스 라인(Meniscus Line)의 형성 각도가 변화되어 균열을 개시하기 위한 힘이 줄어들게 되어 박리가 진행되지 않는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 12 |
12
제8항에 있어서,상기 기판 위에 남아 있는 상기 목표 패턴의 박막을 접착력의 차이를 이용하여 전사하는 단계는, 상기 목표 패턴의 박막과 목표 기판 사이의 반데르발스(van der Waals) 힘을 이용하거나 접착제를 도포하여 상기 목표 패턴의 박막과 상기 목표 기판 사이의 접착력을 증대시켜, 상기 목표 패턴의 박막을 상기 목표 기판에 전사하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 13 |
13
제8항에 있어서,선택적 전사 공정을 반복적으로 수행하여 다양한 형상의 특수 패턴을 적층한 2D 이종구조를 획득하는 것을 특징으로 하는, 선택적 전사 방법
|
| 14 |
14
목표 패턴의 박막을 얻기 위해 레이저 또는 도구를 이용하여 기판 위에 증착된 박막에 패터닝 후 상기 목표 패턴의 박막에 마스킹(Masking)을 하고, 마스킹이 완료된 후 상기 박막에 표면처리를 하여 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하며, 선택적으로 표면처리가 완료되어 젖음 특성이 달라진 상기 박막의 표면을 액상 물질에 담금에 따라 상기 박막과 상기 기판 사이의 계면을 박리할 수 있는 균열 열림 힘이 가해져 박리되는 목표 패턴의 박막; 및 상기 목표 패턴의 박막이 상기 액상 물질에 플로팅(Floating) 상태일 때, 상기 액상 물질에 담근 후 들어올리면서 플로팅된 상기 목표 패턴의 박막을 떠올려(Scoop-up) 전사하는 목표 기판을 포함하는, 목표 기판에 선택적 전사되는 박막
|
| 15 |
15
목표 패턴의 박막을 얻기 위해 레이저 또는 도구를 이용하여 기판 위에 증착된 박막에 패터닝 후 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막에 마스킹(Masking)을 하고, 마스킹이 완료된 후 상기 박막에 표면처리를 하여 표면 젖음 특성을 선택적으로 제어하며, 선택적으로 표면처리가 완료되어 젖음 특성이 달라진 상기 박막의 표면을 액상 물질에 담금에 따라 상기 박막과 상기 기판 사이의 계면을 박리할 수 있는 균열 열림 힘이 가해져 상기 목표 패턴의 형상을 제외한 영역의 박막이 박리되어, 상기 기판 위에 남아있는 목표 패턴의 박막; 및 상기 기판 위에 남아 있는 상기 목표 패턴의 박막을 접착력의 차이를 이용하여 전사하는 목표 기판을 포함하는, 목표 기판에 선택적 전사되는 박막
|
