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금속 층이 증착된 시트 상에 폴리머를 포함하는 전기방사용액을 전기방사하여 나노섬유 패턴을 형성하는 단계;상기 나노섬유 패턴이 형성된 상기 시트의 금속 층이 형성된 면에 대하여 이온 빔을 조사하여 상기 금속 층을 연마하는 것에 의해 상기 나노섬유의 표면에 표면 금속 층을 형성하는 단계; 및상기 표면 금속 층의 내부의 나노섬유를 제거하여 표면 금속 층들로 이루어지는 금속 나노 패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 시트 상에 증착된 금속 층은,SSL(Secondary sputtering lithography)이 가능한 금속을 증착하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 시트 상에 증착된 금속 층은,Pd, Au, Cu, Ag, Pt, Cr, Ti, SiO2, ITO, FTO, AZO, Zno 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나로 5 nm 내지 500 nm의 두께를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 전기방사용액은,용매에 상기 폴리머 2 % 내지 12 %를 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 표면 금속 층을 형성하는 단계는,이온밀링에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴을 형성하는 단계는,반응성 이온 식각(RIE: Reactive ion Etching) 또는 습식 식각에 의해 상기 나노섬유를 제거하여 상기 표면 금속 층에 나노섬유의 외형에 대응하는 요입홈을 가지는 금속 나노 패턴을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴을 형성하는 단계는,상기 나노섬유를 기계적 방법에 의해 제거하는 것에 의해 평판형 금속 나노 패턴으로 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴 형성 방법
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중심부에 나노섬유의 외형에 대응하는 요입홈을 가지는 표면 금속 층들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴
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제8항에 있어서, 상기 표면 금속 층을 형성하는 금속은,상기 표면 금속 층을 형성하는 금속은 Pd, Au, Cu, Ag, Pt, Cr, Ti, SiO2, ITO, FTO, AZO, Zno 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴
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제8항에 있어서, 상기 요입홈은,폴리머와 용매가 혼합된 전기방사용액을 상기 금속 층의 상부에 전기방사하여 나노섬유를 형성한 후, 이온밀링에 의해 연마된 금속 층의 금속이 상기 나노섬유의 표면에 부착되어 표면 금속 층으로 형성된 후, 식각에 의해 상기 나노섬유를 제거하는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴
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제8항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴은, 면저항이 2
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금속 층이 흡착된 중심부의 나노섬유를 기계적 방법에 의해 제거하여 평판형의 표면 금속 층들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴
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제12항에 있어서, 상기 표면 금속 층을 형성하는 금속은,상기 표면 금속 층을 형성하는 금속은 Pd, Au, Cu, Ag, Pt, Cr, Ti, SiO2, ITO, FTO, AZO, Zno 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속 나노 패턴
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제12항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴은, 면저항이 2
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