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강유전체 나노 튜브 어레이 고밀도 기록 매체

  • 기술번호 : KST2014051507
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 강유전체의 잔류분극을 이용한 나노 스토리지 기록 매체에 관한 것이다. 본 발명의 강유전체 나노 튜브 어레이의 형성 방법은 기판 상의 알루미늄의 표면을 전기연마 처리하는 단계, 표면 처리된 알루미늄 전체 표면을 1차 아노다이징하여 불규칙적인 알루미나 나노 기공을 형성하는 단계, 불규칙적인 알루미나 나노 기공을 제거하는 단계, 알루미늄을 2차 아노다이징하는 단계, 알루미나 나노 기공이 형성된 기판을 졸겔 용액에 침지하여 나노 기공 속으로 졸겔 용액을 충전시키는 단계, 기판을 건조시킨 후 겔 상태의 기판을 열처리한 후 냉각하는 단계, 기판 상부에 부가적으로 형성된 강유전체 상부 박막을 제거하는 단계를 포함한다.강유전체, 나노 튜브 어레이, 나노 스토리지, 고밀도 기록 매체
Int. CL H01L 27/105 (2011.01) B82Y 10/00 (2011.01)
CPC H01L 21/02258(2013.01) H01L 21/02258(2013.01) H01L 21/02258(2013.01) H01L 21/02258(2013.01) H01L 21/02258(2013.01)
출원번호/일자 1020050024423 (2005.03.24)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0611683-0000 (2006.08.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20060814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.03.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이전국 대한민국 경기 성남시 분당구
2 강성철 대한민국 부산 영도구
3 정원용 대한민국 서울 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)캐즈테크 서울특별시 금천구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2005-0154527-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.04.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.05.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0033740-94
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0304035-96
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.07.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0513694-53
6 의견서
Written Opinion		 2006.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0513745-94
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0427575-24
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판 상에 형성된 알루미늄의 표면을 전기연마 처리하는 단계,표면 처리된 알루미늄 전체 표면을 1차 아노다이징하여 불규칙적인 알루미나 나노 기공을 형성하는 단계,불규칙적인 알루미나 나노 기공을 제거하는 단계,알루미늄을 2차 아노다이징하는 단계,상기 단계에서 제조된 알루미나 나노 기공이 형성된 기판을 졸겔 용액에 침지하여 나노 기공 속으로 졸겔 용액을 충전시키는 단계,기판을 건조시킨 후 겔 상태의 기판을 열처리한 후 냉각하는 단계,기판 상부에 부가적으로 형성된 강유전체 상부 박막을 플라즈마 에칭에 의해 제거하는 단계를 포함하는 강유전체 나노 튜브 어레이의 형성 방법
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제1항에 있어서, 기판이 HDD용 알루미늄 합금 디스크인 방법
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제1항에 있어서, 아노다이징 용액에 노출되는 부분만 알루미나 나노 기공을 형성시키기 위해 알루미늄 표면의 전기연마 처리 단계 후에 반도체 포토 리소그라피 공정을 이용하여 알루미늄 표면의 일부에 용액이 접촉되지 않는 패턴을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 방법
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삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.