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탄소나노튜브 어레이의 제작방법

  • 기술번호 : KST2015112093
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기초분자의 자기조립(self-assembly)과 금속의 선택적 화학결합(stanning)을 이용하여 수 나노미터 이하의 사이즈를 가지는 요홈모양이나 기둥모양의 패턴을 형성한 다음, 상기 나노패턴에 금속을 증착하고, 상기 증착된 금속 위에 탄소 나노튜브(CNT)를 배열하는 것을 특징으로 하는 CNT 어레이를 제작하는 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 CNT 어레이에 바이오물질 또는 바이오물질과 결합하는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이의 제조방법에 관한 것이다. 나노패턴, 유기초분자, 자기조립, 스테이닝, 탄소나노튜브, 어레이
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82Y 5/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020030036530 (2003.06.05)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0549103-0000 (2006.01.26)
공개번호/일자 10-2004-0105319 (2004.12.16) 문서열기
공고번호/일자 (20060206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.06.05)
심사청구항수 26

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정희태 대한민국 대전광역시유성구
2 정대환 대한민국 대전광역시유성구
3 권기영 대한민국 경상북도포항시북구
4 이수림 대한민국 강원도양양군
5 최도환 대한민국 서울특별시성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이처영 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 (역삼동, 윤익빌딩)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2003-0203287-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.03.16 수리 (Accepted) 9-1-2005-0013018-44
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0353382-16
7 의견서
Written Opinion		 2005.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0515004-93
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0515009-10
9 등록결정서
Decision to grant		 2006.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0043664-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기의 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노미터 또는 그 이하 사이즈의 패턴에 탄소나노튜브(CNT) 어레이를 형성하는 방법:(a) 기판 상에 자기조립을 유발하는 디스크형 덴드리머 쐐기형(fan-shaped) 유기초분자 또는 원뿔형 유기초분자의 박막을 형성하는 단계;(b) 열처리(annealing)에 의해 상기 유기초분자들을 자기조립시켜 규칙적인 구조를 형성하는 단계;(c) 상기 유기초분자들의 자기조립에 의해 형성된 규칙적인 구조에 선택적으로 금속을 화학흡착시키는 단계;(d) 상기 선택적으로 금속이 화학흡착된 박막을 에칭하여 금속이 흡착되지 않은 부분을 제거하여 유기초분자의 나노패턴을 형성하는 단계; 및(e) 상기 유기초분자의 나노패턴에 CNT를 배열하는 단계
2 2
제1항에 있어서, (a) 단계 이전에 기질 상에 금속 및 비금속, 유기물 박막을 형성시키는 것을 특징으로 하는 방법
3 3
하기의 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노미터 또는 그 이하 사이즈의 패턴에 CNT 어레이를 형성하는 방법:(a) 기판 상에 자기조립을 유발하는 디스크형 덴드리머 쐐기형(fan-shaped) 유기초분자 또는 원뿔형 유기초분자의 박막을 형성하는 단계;(b) 열처리(annealing)에 의해 상기 유기초분자들을 자기조립시켜 규칙적인 구조를 형성하는 단계;(c) 상기 유기초분자들의 자기조립에 의해 형성된 규칙적인 구조에 선택적으로 금속을 화학흡착시키는 단계;(d) 상기 선택적으로 금속이 화학흡착된 박막을 에칭하여 금속이 흡착되지 않은 부분을 제거하여 유기초분자의 나노패턴을 형성하는 단계;(e) 상기 유기초분자의 나노패턴을 마스크로 하여 기판을 식각하여 기판에 나노패턴을 형성하는 단계;(f) 상기 나노패턴에 CNT를 배열하는 단계
4 4
제3항에 있어서, (a) 단계 이전에 기질 상에 금속 및 비금속, 유기물 박막을 형성시키는 것을 특징으로 하는 방법
5 5
삭제
6 6
제1항 또는 제3항에 있어서, 유기초분자는 화학식 1의 화합물인 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제1항 또는 제3항에 있어서, (a) 단계의 박막은 스핀코팅(spin-coating), 문지르기(rubbing), 또는 수면에 박막을 형성하여 뜨는 방식(solution spreading) 을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
8 8
제1항 또는 제3항에 있어서, (b) 단계는 사용한 유기초분자의 액정 상전이온도 이상으로 온도를 올린 후에 서냉하는 것을 특징으로 하는 방법
9 9
제1항 또는 제3항에 있어서, 선택적으로 금속을 화학흡착시키는 단계는 RuO₄(ruthenium tetraoxide) 화합물을 이용하는 것을 특징으로 하는 방법
10 10
제1항 또는 제3항에 있어서, (d) 단계는 반응성 이온 에칭을 이용하는 것을 특징으로 하는 방법
11 11
제1항에 있어서, (e) 단계는 유기초분자 나노패턴의 기판상에 금속촉매를 증착시킨 후, CNT를 배열하는 것을 특징으로 하는 방법
12 12
제11항에 있어서, 촉매는 철, 코발트 또는 니켈인 것을 특징으로 하는 방법
13 13
제3항에 있어서, (e) 단계는 아민기를 노출시킨 기판에 카르복실기를 갖는 CNT를 아미드 결합으로 기판에 배열하고, 두 개의 아민기를 갖는 화학물질을 링커로 사용하여 CNT를 적층시키는 것을 특징으로 하는 방법
14 14
제1항 또는 제2항의 방법에 의해 얻어진 CNT 어레이에 단백질, 펩티드, 아미노산, DNA, 효소기질, 리간드, 아미노산, 코펙터, 탄수화물, 지질, 올리고뉴클레오티드 및 RNA로 구성된 군에서 선택된 바이오물질 또는 바이오 리셉터를 부착하는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이의 제조방법
15 15
제14항에 있어서, CNT에 전기장을 인가하여 바이오물질 또는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 방법
16 16
제15항에 있어서, CNT에 바이오물질 또는 바이오 리셉터의 순 전하(net charge)와 반대되는 극성의 전하를 인가하는 것을 특징으로 하는 방법
17 17
제14항에 있어서, CNT 어레이에 결합보조제를 이용하여 바이오물질 또는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 방법
18 18
제17항에 있어서, 결합 보조제는 카본기 말단에 알데히드, 아민 또는 이민기가 붙어 있는 화학물질인 것을 특징으로 하는 방법
19 19
제3항 또는 제4항의 방법에 의해 얻어진 CNT 어레이에 단백질, 펩티드, 아미노산, DNA, 효소기질, 리간드, 아미노산, 코펙터, 탄수화물, 지질, 올리고뉴클레오티드 및 RNA로 구성된 군에서 선택된 바이오물질 또는 바이오 리셉터를 부착하는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이의 제조방법
20 20
제19항에 있어서, CNT에 전기장을 인가하여 바이오물질 또는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 방법
21 21
제20항에 있어서, CNT에 바이오물질 또는 바이오 리셉터의 순 전하(net charge)와 반대되는 극성의 전하를 인가하는 것을 특징으로 하는 방법
22 22
제19항에 있어서, CNT 어레이에 결합보조제를 이용하여 바이오물질 또는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 방법
23 23
제22항에 있어서, 결합 보조제는 카본기 말단에 알데히드, 아민 또는 이민기가 붙어 있는 화학물질인 것을 특징으로 하는 방법
24 24
제14항의 방법에 의해 제작되고, 나노패턴에 배열된 CNT 어레이에 단백질, 펩티드, 아미노산, DNA, 효소기질, 리간드, 아미노산, 코펙터, 탄수화물, 지질, 올리고뉴클레오티드 및 RNA로 구성된 군에서 선택된 바이오물질 또는 바이오 리셉터가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이 (nonoarray)
25 25
제19항의 방법에 의해 제작되고, 기판의 나노패턴에 배열된 CNT 어레이에 단백질, 펩티드, 아미노산, DNA, 효소기질, 리간드, 아미노산, 코펙터, 탄수화물, 지질, 올리고뉴클레오티드 및 RNA로 구성된 군에서 선택된 바이오물질 또는 바이오 리셉터가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이 (nonoarray)
26 26
제24항의 바이오 나노어레이를 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오물질과 바이오 리셉터간의 반응 검출방법
27 27
제25항의 바이오 나노어레이를 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오물질과 바이오 리셉터간의 반응 검출방법
28 27
제25항의 바이오 나노어레이를 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오물질과 바이오 리셉터간의 반응 검출방법
지정국 정보가 없습니다
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1 JP03951141 JP 일본 FAMILY
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3 US20040245209 US 미국 FAMILY

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1 CN1332270 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN1601383 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2005049334 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP3951141 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2004245209 US 미국 DOCDBFAMILY
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