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더미 웨이퍼와 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015116992
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 더미 웨이퍼와 상기 더미 웨이퍼를 제조하는 방법에 관한 것으로, 접착성 수지재에 섬유재가 일렬로 함침되어 이루어진 복합재료를 소정크기의 금속박판에 상호 등방성을 갖도록 적층하고, 경면처리된 금형의 경면이 상기 복합재료에 전사되도록 가압 및 가열함으로써 더미 웨이퍼를 완성하는 더미웨이퍼와 그 제조방법에 관한 것이다.더미, 웨이퍼, 반도체, 경면, 복합재료, 금속박판, 오토클레이브, 진공처리
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/7685(2013.01) H01L 21/7685(2013.01) H01L 21/7685(2013.01) H01L 21/7685(2013.01)
출원번호/일자 1020010039130 (2001.06.30)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0437264-0000 (2004.06.14)
공개번호/일자 10-2003-0003393 (2003.01.10) 문서열기
공고번호/일자 (20040623) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.06.30)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대길 대한민국 대전광역시유성구
2 장승환 대한민국 서울특별시은평구
3 김진국 대한민국 부산광역시부산진구
4 임태성 대한민국 대전광역시유성구
5 김일영 대한민국 경상남도진주시
6 최진경 대한민국 경기도용인시구
7 임진현 대한민국 경기도의정부시가

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2001-0162249-32
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0363468-54
3 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.11.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0428758-01
4 의견서
Written Opinion		 2003.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2003-0428757-55
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
7 등록결정서
Decision to grant		 2004.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0184814-95
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

접착성 수지재에 섬유재가 일렬로 함침되어 이루어진 복합재료(20)를 소정크기의 금속박판(10)에 상호 등방성을 갖도록 적층하는 단계(S110);

경면처리된 금형(30)에 탈형재를 도포한 뒤, 상기 복합재료(20)의 노출면에 압착하는 단계(S120);

상기 금형(30)과 더불어 상기 복합재료(20) 및 금속박판(10)이 포함되도록 진공백(40)으로 포장하고, 진공펌프로 상기 진공백(40) 안측의 공기를 뽑아내어 진공처리한 뒤, 오토클레이브(50)내에 정착하는 단계(S130);

상기 오토클레이브(50) 내의 압력 및 온도를 상승시켜 금형(30)의 경면이 복합재료(20)에 전사되도록 가압하는 동시에 상기 접착성 수지재가 경화되도록 가열하는 단계(S140);

상기 금형(30)으로부터 상기 복합재료(20) 및 금속박판(10)을 탈형한 뒤, 소망하는 치수 및 형상에 맞게 레이져 절단기 또는 워터젯 커팅기로 절단하여 더미 웨이퍼로 완성하는 단계(S150);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

2 2

제 1항에 있어서,

상기 더미 웨이퍼의 표면에 무전해도금(Electroless Plating)으로 니켈 또는 구리를 전착시킨 뒤, 상기 니켈 또는 구리에 전자기적으로 상응하는 크롬을 전해도금(Electrochemical Plating)으로 전착하여 도체화하는 단계(S160);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

3 3

제 1항에 있어서,

상기 섬유재는 탄소섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

4 4

제 1항에 있어서,

상기 섬유재는 유리섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

5 5

제 1항에 있어서,

상기 수지재는 에폭시 또는 페놀수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

6 6

제 1항에 있어서,

상기 금속박판(10)은 구리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

7 7

제 1항의 방법에 기초하여 제조되는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼

8 8

제 2항의 방법에 기초하여 제조되는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼

9 9

접착성 수지재에 섬유재가 일렬로 함침된 복합재료(20) 및 소정크기의 금속박판(10)을 동일한 형상 및 치수로 절단한 뒤, 상호 등방성을 갖도록 적층하는 단계(S210);

경면처리된 금형(30)에 탈형재를 도포한 뒤, 상기 복합재료(20)의 노출면에 압착하는 단계(S220);

상기 금형(30)과 더불어 상기 복합재료(20) 및 금속박판(10)이 포함되도록 진공백(40)으로 포장하고, 진공펌프로 상기 진공백(40) 안측의 공기를 뽑아내어 진공처리한 뒤, 오토클레이브(50)내에 정착하는 단계(S230);

상기 오토클레이브(50) 내의 압력 및 온도를 상승시켜 금형(30)의 경면이 복합재료(20)에 전사되도록 가압하는 동시에 상기 접착성 수지재가 경화되도록 가열하는 단계(S240);

상기 금형(30)으로부터 상기 복합재료(20) 및 금속박판(10)을 탈형하여 더미 웨이퍼로 완성하는 단계(S250);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

10 10

제 9항에 있어서,

상기 더미 웨이퍼의 표면에 무전해도금(Electroless Plating)으로 니켈 또는 구리를 전착시킨 뒤, 상기 니켈 또는 구리에 전자기적으로 상응하는 크롬을 전해도금(Electrochemical Plating)으로 전착하여 도체화하는 단계(S260);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

11 11

제 9항에 있어서,

상기 섬유재는 탄소섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

12 12

제 9항에 있어서,

상기 섬유재는 유리섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

13 13

제 9항에 있어서,

상기 수지재는 에폭시 또는 페놀수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

14 14

제 9항에 있어서,

상기 금속박판(10)은 구리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼 제조방법

15 15

제 9항의 방법에 기초하여 제조되는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼

16 16

제 10항의 방법에 기초하여 제조되는 것을 특징으로 하는 더미 웨이퍼

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.