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Ｘ-선 마스크 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015146443
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 X-선 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것으로, X-선 흡수체 하부에 형성되어 마스크 기저막으로서 사용되는 수㎛ 정도의 얇은 막(membrane)막 대신에 두꺼운 두께의 폴리머 필름 특히, 폴리이미드 필름을 사용함으로써, X-선 마스크에서 윈도우(window)로써 작용하는 면적을 획기적으로 넓혀 대면적의 윈도우가 요구되는 X-선 사진 식각 공정 분야에서도 사용이 가능하도록 한다. 대면적, X-선, 마스크, 폴리머, 폴리이미드, 필름
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 1/22(2013.01)
출원번호/일자 1020020070800 (2002.11.14)
출원인 전자부품연구원, 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0505014-0000 (2005.07.22)
공개번호/일자 10-2004-0042491 (2004.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20050801) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.11.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정석원 대한민국 경기도오산시
2 조진우 대한민국 경기도성남시분당구
3 오현석 대한민국 경기도수원시팔달구
4 박석호 대한민국 서울특별시송파구
5 최영준 대한민국 서울특별시관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창남 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, *층 (서초동, 명지빌딩)(나이스국제특허법률사무소)
2 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
3 장재용 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **-*, *층(역삼동, 대명빌딩)(휴피아국제특허법률사무소)
4 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
5 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
6 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2002-0376421-32
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2003-0055522-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.10.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.11.19 수리 (Accepted) 9-1-2004-0068889-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0517243-46
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0050834-32
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2005-0109931-24
8 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 2005.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2005-0174808-29
9 의견서
Written Opinion		 2005.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2005-0174836-08
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0174837-43
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
12 등록결정서
Decision to grant		 2005.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0340874-74
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유리 기판 상부에 드라이 필름(Dry film)으로 이루어진 양면 접착 필름의 일면이 접착되고, 상기 양면 접착 필름의 타면에는 마스크 기저막으로 폴리머 필름이 접착되는 제 1 단계;상기 제 1 단계에 따라 양면 접착 필름 상부에 접착된 폴리머 필름 상부에 도금 기저막(plating base)이 형성되는 제 2 단계;상기 제 2 단계에 따라 형성된 도금 기저막 상부에 포토레지스트가 도포되고 패터닝되어 상기 도금 기저막의 일부가 노출되는 제 3 단계;상기 제 3 단계에 따라 노출된 도금 기저막의 상부에 X-선 흡수체가 형성되고, 상기 도포되어 패터닝된 포토 레지스트가 제거되어 상기 제거된 포토 레지스트 하부에 형성된 도금 기저막이 노출되는 제 4 단계;상기 제 4 단계에 따라 노출된 도금 기저막이 제거되고, 상기 마스크 기저층의 양면 접착 필름이 폴리머 필름으로부터 분리되는 제 5 단계로 이루어진, X-선 마스크 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 폴리머 필름은; 폴리이미드 필름인 것을 특징으로 하는, X-선 마스크 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 폴리머 필름은; 두께가 100㎛ ~ 200㎛인 것을 특징으로 하는, X-선 마스크 제조 방법
4 4
삭제
5 5
제 1 항의 방법으로 제조된 X-선 마스크
6 5
제 1 항의 방법으로 제조된 X-선 마스크
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.